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公开(公告)号:CN102791451A
公开(公告)日:2012-11-21
申请号:CN201180013503.7
申请日:2011-03-02
Applicant: 住友电木株式会社
CPC classification number: H01L23/3107 , B02C19/061 , C08G59/621 , C08J3/12 , C08J3/122 , C08J2463/00 , C08K3/013 , C08L63/00 , H01L21/56 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 粉碎装置1是气流式粉碎装置,具备粉碎第1组合物的粉碎部2、冷却装置3、高压空气发生装置4、以及贮留被粉碎的第1组合物的贮留部5。粉碎部2具备腔6,在腔6的底部形成有排出被粉碎的第1组合物的出口62,在出口62的附近形成有包围出口的周围的壁部。在腔6的侧部设有多个喷嘴71和喷嘴72,在喷嘴72的上部设有连通至喷嘴72内的供给部73。将供给至腔6内的空气的压力设为0.3MPa以上,将温度设为20℃以下,将湿度设为40%RH以下。