固态成像装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN101283453A

    公开(公告)日:2008-10-08

    申请号:CN200680037634.8

    申请日:2006-07-13

    CPC classification number: H01L27/14627 H01L27/14621

    Abstract: 本发明公开一种固态成像装置,包括:多个光电二极管区域(2),其以阵列方式排列;不透光分界区域(6),其存在于每个光电二极管区域周围;以及微透镜阵列(8a),其包括与所述多个光电二极管区域对应地以阵列方式排列的多个微透镜;其中,每个微透镜用于使得朝向对应光电二极管区域周围的不透光分界区域直线传播的入射光会聚到所述光电二极管区域内,微透镜阵列是使用透光类金刚石碳(DLC)膜而形成的,所述DLC膜包括与各微透镜对应的折射率受调制的区域,当光束通过所述折射率受调制的区域时产生光会聚效应。

    DLC薄膜及其形成方法
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101010604A

    公开(公告)日:2007-08-01

    申请号:CN200580029156.1

    申请日:2005-07-06

    CPC classification number: G02B5/1857 G02B3/0087

    Abstract: 本发明提供一种具有光学元件的功能并且可以容易地小型化或集成化的DLC薄膜、以及用于形成该DLC薄膜的方法。一种DLC薄膜的折射率在该DLC薄膜的至少一个宽度方向上从该DLC薄膜的中心O开始连续变化。更具体地说,一种DLC薄膜的折射率在该DLC薄膜的至少一个宽度方向上从该DLC薄膜的中心O开始连续减小,从而该DLC薄膜具有凸透镜的功能。一种DLC薄膜的折射率在该DLC薄膜至少一个宽度方向上从该DLC薄膜的中心开始连续增大,从而该DLC薄膜具有凹透镜的功能。一种DLC薄膜的折射率在厚度方向上连续变化。另外,一种用于形成DLC薄膜的方法包括:用能量束照射该DLC薄膜,从而所述DLC薄膜的折射率在该DLC薄膜的至少一个宽度方向上从该DLC薄膜的中心开始连续地改变和/或在所述DLC薄膜的厚度方向上连续地改变。

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