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公开(公告)号：CN105493236B
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201480047347.X
申请日：2014-08-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/50
CPC classification number: C08F2/50 , C09D4/00 , G02B1/12 , G03F7/0002 , G03F7/031 , H01L21/31144 , H01L21/31155 , C08F2220/1875 , C08F2220/185 , C08F2222/1013 , C08F2222/102
Abstract: 一种光压印用固化性组合物，其至少包括聚合性化合物组分(A)和光聚合引发剂组分(B)，并满足式(1)和(2)：0.800≤Er10/Er200(1)，2.55GPa≤Er10(2)，其中，Er10表示通过使光压印用固化性组合物的膜曝光于10mJ/cm2的光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)；和Er200表示通过使光压印用固化性组合物的膜曝光于200mJ/cm2的光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)。
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公开(公告)号：CN105493236A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201480047347.X
申请日：2014-08-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/50
CPC classification number: C08F2/50 , C09D4/00 , G02B1/12 , G03F7/0002 , G03F7/031 , H01L21/31144 , H01L21/31155 , C08F2220/1875 , C08F2220/185 , C08F2222/1013 , C08F2222/102
Abstract: 一种光压印用固化性组合物，其至少包括聚合性化合物组分(A)和光聚合引发剂组分(B)，并满足式(1)和(2)：0.800≤Er10/Er200(1)，2.55GPa≤Er10(2)，其中，Er10表示通过使光压印用固化性组合物的膜曝光于10mJ/cm2的光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)；和Er200表示通过使光压印用固化性组合物的膜曝光于200mJ/cm2的光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)。
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公开(公告)号：CN110546734B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN201880026809.8
申请日：2018-03-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 提供了以高的生产量在基板的注料区域中具有均匀物理性质的固化物图案的制造方法。固化物图案的制造方法包括第一步骤(配置步骤)，在基板上配置由固化性组合物(α1)的液膜形成的层，该固化性组合物(α1)至少含有作为聚合性化合物的成分(A1)，和第二步骤(分配步骤)，将固化性组合物(α2)的液滴离散地分配至由除了作为溶剂的成分(D1)之外的固化性组合物(α1)的成分的组合物(α1')形成的层上，该固化性组合物(α2)至少含有作为聚合性化合物的成分(A2)，其中：混合组合物(α1')和固化性组合物(α2)是放热的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116348207A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202180066711.7
申请日：2021-09-03
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 加藤顺
IPC: B05C11/10
Abstract: 在基板上形成膜的膜形成方法中，所述基板包括：包含第一凹陷部分和第二凹陷部分的区域，所述第一凹陷部分的宽度大于所述第二凹陷部分的宽度，并且所述膜形成方法包括：第一步骤，将第一材料选择性地供应到所述第一凹陷部分中，并对所述第一材料进行成型；以及第二步骤，将第二材料供应到所述区域上，并对所述第二材料进行成型，使得所述第二凹陷部分被所述第二材料填充，并且在整个所述区域上形成所述第二材料的平坦化膜。
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公开(公告)号：CN110546734A
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201880026809.8
申请日：2018-03-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 提供了以高的生产量在基板的注料区域中具有均匀物理性质的固化物图案的制造方法。固化物图案的制造方法包括第一步骤(配置步骤)，在基板上配置由固化性组合物(α1)的液膜形成的层，该固化性组合物(α1)至少含有作为聚合性化合物的成分(A1)，和第二步骤(分配步骤)，将固化性组合物(α2)的液滴离散地分配至由除了作为溶剂的成分(D1)之外的固化性组合物(α1)的成分的组合物(α1')形成的层上，该固化性组合物(α2)至少含有作为聚合性化合物的成分(A2)，其中：混合组合物(α1')和固化性组合物(α2)是放热的。
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公开(公告)号：CN109075034A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780022394.2
申请日：2017-03-31
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 一种固化物图案的制造方法，所述方法包括：第一步骤(配置步骤)，将包含固化性组合物(α1)的层配置于基板上；和第二步骤(施加步骤)，将固化性组合物(α2)的液滴离散地施加在包含固化性组合物(α1′)的层上，所述固化性组合物(α1′)包含除了溶剂组分(D)以外的所述固化性组合物(α1)中的组分；其中所述固化性组合物(α1)的粒径为0.07μm以上的颗粒的个数浓度为小于2021个/mL，并且所述固化性组合物(α1′)具有比所述固化性组合物(α2)大的表面张力。
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公开(公告)号：CN107251193A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201680012435.5
申请日：2016-02-23
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/005 , B29C59/02 , B29D11/00269 , B29D11/00769 , B29K2033/08 , C08L35/02 , C08L2205/02 , C08L2205/03 , G02B1/04 , G03F7/027 , G03F7/029 , G03F7/16 , H01L21/266 , H01L21/3105 , H01L21/481 , H05K3/0017 , H05K3/0079
Abstract: 提供一种纳米压印液体材料，其中粒径为0.07μm以上的颗粒的粒子数浓度小于310个/mL。
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公开(公告)号：CN106463356A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580024398.5
申请日：2015-04-28
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/50 , H01L21/3065
CPC classification number: C08F222/1006 , C08F2/50 , C08F220/10 , C08F222/10 , C08F2222/1026 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/029 , G03F7/031 , H01L21/0332 , H01L21/0337 , H01L21/266 , H01L21/3065 , H01L21/3081 , H01L21/3086 , H01L21/4846 , H05K3/0017 , H05K3/061 , H05K2203/092
Abstract: 提供一种纳米压印用固化性组合物，其即使当在低曝光量下通过光纳米压印方法使所述固化性组合物固化时，也能够形成具有充分固化的表面且图案倒塌缺陷倾向较小的固化产物。提供形成此类固化产物的纳米压印方法。提供即使在低曝光量下固化时图案倒塌缺陷倾向也较小的固化产物，此类固化产物的制造方法，光学组件的制造方法，电路板的制造方法和电子组件的制造方法。一种固化性组合物，其在固化状态下满足式(1)：Er1/Er2≧1.10(1)，其中，Er1表示所述固化性组合物的固化产物的表面折减弹性模量(GPa)，和Er2表示所述固化产物的内部折减弹性模量(GPa)。
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