公开(公告)号：CN107251192B

公开(公告)日：2020-11-03

申请号：CN201680011970.9

申请日：2016-02-15

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  本间猛 ,  米泽诗织 ,  大谷智教 ,  岩下和美

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

Abstract: 为了提供用于在反转工艺中形成期望的图案的图案化方法。图案化方法包括反转工艺。光固化性组合物至少包含聚合性化合物(A)组分和光聚合引发剂(B)组分。所述(A)组分的摩尔分数加权平均分子量为200以上且1000以下。所述(A)组分的大西参数(OP)为3.80以上。所述(A)组分的大西参数(OP)为N/(NC‑NO)的摩尔分数加权平均值，其中N表示分子中的原子总数，NC表示该分子中的碳原子数，并且NO表示该分子中的氧原子数。

公开(公告)号：CN105340062A

公开(公告)日：2016-02-17

申请号：CN201480036784.1

申请日：2014-06-19

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 本间猛 ,  伊藤俊树 ,  米泽诗织 ,  千叶启子 ,  山下敬司

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50

CPC classification number: B29C59/026 ,  B29C33/62 ,  B29C59/002 ,  B29C59/005 ,  B29K2033/08 ,  B29K2105/0005 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50 ,  C08F220/18 ,  C08F222/1006 ,  C08K2201/00 ,  C08L33/08 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/266 ,  C08F2220/1875 ,  C08F2222/1013

Abstract: 在冷凝性气体气氛中的压印方法中，将模具与抗蚀剂固化膜分离(脱模)所需的力(脱模力)大。用于在含冷凝性气体的气氛中进行压印的光固化性组合物包括组分(A)，其为(甲基)丙烯酸酯单体；组分(B)，其为光聚合引发剂；和组分(C)，其为脱模剂。在5度(摄氏)和1个大气压下组分(C)在冷凝性气体中的饱和溶解度为50重量％以上，冷凝性气体在5度(摄氏)和1个大气压下为液态。

公开(公告)号：CN107078025A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580045586.6

申请日：2015-08-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  本间猛 ,  米泽诗织

IPC: H01L21/027 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50

Abstract: 一种光固化性组合物，其含有满足OA＝NA/(NC,A‑NO,A)的聚合性化合物(A)，其中NA、NC,A和NO,A分别表示(A)中的原子总数、碳原子数和氧原子数；和含有至少一种包括光聚合引发剂(B)的化合物(X)的非聚合性组分(E)，比例在相对于(A)和(E)的总重量为10％至50％的范围内。组分(E)具有250以下的重均分子量。化合物(X)满足OX＝NX/(NC,X‑NO,X)。NX、NC,X和NO,X分别表示相应化合物(X)中的原子总数、碳原子数和氧原子数。组合物满足：OA‑OE>1.00且OAE

公开(公告)号：CN106463356A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580024398.5

申请日：2015-04-28

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 加藤顺 ,  川崎阳司 ,  米泽诗织 ,  伊藤俊树

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08F2/50 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C08F222/1006 ,  C08F2/50 ,  C08F220/10 ,  C08F222/10 ,  C08F2222/1026 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/027 ,  G03F7/029 ,  G03F7/031 ,  H01L21/0332 ,  H01L21/0337 ,  H01L21/266 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/3081 ,  H01L21/3086 ,  H01L21/4846 ,  H05K3/0017 ,  H05K3/061 ,  H05K2203/092

Abstract: 提供一种纳米压印用固化性组合物，其即使当在低曝光量下通过光纳米压印方法使所述固化性组合物固化时，也能够形成具有充分固化的表面且图案倒塌缺陷倾向较小的固化产物。提供形成此类固化产物的纳米压印方法。提供即使在低曝光量下固化时图案倒塌缺陷倾向也较小的固化产物，此类固化产物的制造方法，光学组件的制造方法，电路板的制造方法和电子组件的制造方法。一种固化性组合物，其在固化状态下满足式(1)：Er1/Er2≧1.10(1)，其中，Er1表示所述固化性组合物的固化产物的表面折减弹性模量(GPa)，和Er2表示所述固化产物的内部折减弹性模量(GPa)。

公开(公告)号：CN106574007B

公开(公告)日：2023-04-14

申请号：CN201580041479.6

申请日：2015-07-22

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  本间猛 ,  米泽诗织 ,  大谷智教 ,  岩下和美

IPC: C08F20/20 ,  C08F2/46 ,  H01L21/027 ,  H01L21/3065

Abstract: 一种光固化性组合物，其包括聚合性化合物；和光聚合引发剂，其中所述光固化性组合物包括由以下示出的通式(1)表示的化合物作为所述聚合性化合物，其中通式(1)中，Ar表示可具有取代基的单价芳香族基团，R1表示可具有取代基的烷基或氢原子，R2表示可具有取代基的具有(m+n)价的烷基，m为2以上的整数，和n为1以上的整数。

公开(公告)号：CN106574007A

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201580041479.6

申请日：2015-07-22

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  本间猛 ,  米泽诗织 ,  大谷智教 ,  岩下和美

IPC: C08F20/20 ,  C08F2/46 ,  H01L21/027 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C08F220/18 ,  B05D3/06 ,  B05D3/12 ,  C08F2/48 ,  C08F222/10 ,  C08F222/1006 ,  C08F2222/102 ,  G02B1/04 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/027 ,  G03F7/029 ,  H01L21/0273 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/4846 ,  H05K3/06 ,  H05K3/064

Abstract: 一种光固化性组合物，其包括聚合性化合物；和光聚合引发剂，其中所述光固化性组合物包括由以下示出的通式(1)表示的化合物作为所述聚合性化合物，其中通式(1)中，Ar表示可具有取代基的单价芳香族基团，R1表示可具有取代基的烷基或氢原子，R2表示可具有取代基的具有(m+n)价的烷基，m为2以上的整数，和n为1以上的整数。

公开(公告)号：CN107112208B

公开(公告)日：2021-06-25

申请号：CN201580069521.5

申请日：2015-12-15

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 米泽诗织 ,  伊藤俊树 ,  大谷智教 ,  岩下和美 ,  本间猛

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  H01L21/3065

Abstract: 一种压印用光固化性组合物，至少具有聚合性化合物(A)和光聚合引发剂(B)，其中聚合性化合物(A)包含20重量％以上的多官能(甲基)丙烯酸系单体，且光固化性组合物的光固化物的玻璃化转变温度为90℃以上。

公开(公告)号：CN105659358B

公开(公告)日：2020-08-21

申请号：CN201480051516.7

申请日：2014-09-05

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  本间猛 ,  米泽诗织 ,  川崎阳司

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  B81C1/00 ,  G03F7/20

Abstract: 一种膜的生产方法，其包括：将光固化性组合物配置在基板上的配置步骤；使所述光固化性组合物和模具彼此接触的模具接触步骤；用光照射所述光固化性组合物从而形成固化产物的光照射步骤；和使所述固化产物和所述模具彼此脱离的脱模步骤，其中所述方法进一步包括在所述光照射步骤之前将所述模具与所述基板彼此对准的对准步骤，其中所述光固化性组合物至少包含作为组分(A)的聚合性化合物和作为组分(B)的光聚合引发剂，并且其中当所述聚合性化合物在0.12mW/cm2的照度和11.0秒的曝光时间的条件下曝光时，所述聚合性化合物具有50％以上的聚合转化率。

公开(公告)号：CN107078025B

公开(公告)日：2020-07-03

申请号：CN201580045586.6

申请日：2015-08-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  本间猛 ,  米泽诗织

IPC: H01L21/027 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50

Abstract: 一种光固化性组合物，其含有满足OA＝NA/(NC,A‑NO,A)的聚合性化合物(A)，其中NA、NC,A和NO,A分别表示(A)中的原子总数、碳原子数和氧原子数；和含有至少一种包括光聚合引发剂(B)的化合物(X)的非聚合性组分(E)，比例在相对于(A)和(E)的总重量为10％至50％的范围内。组分(E)具有250以下的重均分子量。化合物(X)满足OX＝NX/(NC,X‑NO,X)。NX、NC,X和NO,X分别表示相应化合物(X)中的原子总数、碳原子数和氧原子数。组合物满足：OA‑OE>1.00且OAE

公开(公告)号：CN106062010B

公开(公告)日：2019-06-11

申请号：CN201580010744.4

申请日：2015-02-10

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 本间猛 ,  伊藤俊树 ,  米泽诗织 ,  川崎阳司 ,  饭村晶子

IPC: C08F2/48 ,  C08F20/10 ,  H01L21/027

Abstract: 在含有冷凝性气体的气态氛围下的压印方法中，光压印用固化性组合物难以固化，图案未完全形成而造成缺陷。本发明涉及一种在含有冷凝性气体的气态氛围下的光压印用固化性组合物。该光压印用固化性组合物至少包含下列组分(A)和组分(B)：(A)聚合性化合物，和(B)光聚合引发剂。组分(B)具有小于1重量％的在5℃和1atm下在液态的冷凝性气体中的饱和溶解度，或具有大于7.6的对冷凝性气体的汉森距离(Ra)。