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公开(公告)号：CN1736717A
公开(公告)日：2006-02-22
申请号：CN200510092607.8
申请日：2005-08-16
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1628 , B41J2/14072 , B41J2/14129 , B41J2/1603
Abstract: 在具有与通电相应地产生为了喷出墨水而使用的热能的发热单元的喷墨头用基板上，可以高精度形成发热单元，在可以实现发热单元的小面积化的同时，抑制电极布线的腐蚀及其进行。为此，在基板上配置由耐腐蚀性金属构成的薄膜的第1电极101，在其上重叠用Al形成的第2电极103，进而配置发热电阻层107，用第1电极的间隙形成发热单元。由此可以不会产生大尺寸偏差地形成发热单元。即使在发热单元上或者附近产生保护层的缺陷，因为发热电阻层的材料比Al耐侵蚀强并且第1电极是耐腐蚀性电极，所以可以抑制腐蚀的进行。
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公开(公告)号：CN1736715A
公开(公告)日：2006-02-22
申请号：CN200510092603.X
申请日：2005-08-16
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1628 , B41J2/14072 , B41J2/14129 , B41J2/1603
Abstract: 本发明是一种具有与通电对应地发生用于喷出墨的热能的发热部的喷墨头用基板，既可谋求对于发热部的布线电阻的减少，又可防止基板的大型化，可进行实现记录的高清晰化用的发热部的高密度安装。为此，通过用第1和第2电极布线层103、104构成电极布线，减小了对于发热部102的布线图形在基板上所占的面积。此外，为了防止热效率下降，进行发热部上的有效的保护绝缘层的薄膜化，根据电极布线层的厚度，在发热部上除去电极布线层上的一方的保护绝缘层。
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公开(公告)号：CN1732086A
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：CN200380107491.X
申请日：2003-12-25
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 为了提高具有与用于喷墨头的衬底中的油墨相接触的部分的保护层与树脂层之间的粘着性，从而在长时间内确保质量上的可靠性，本发明提供了用于喷墨头的衬底，所述衬底包括构成生热部分的生热电阻器、与所述生热电阻器电连接的电极布线；以及设在所述生热电阻器和所述电极布线的上方的上部保护层，其特征在于，在形成其中Ta层被层压在由TaCr合金所形成的层上的上部保护层之后，选择性地对所述Ta层形成图案以及选择性地去除所述Ta层，从而在通过所述去除露出由所述TaCr合金所形成的层的部分中形成液体流径元件。
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公开(公告)号：CN109094196B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201810638283.0
申请日：2018-06-20
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 提供液体喷出头基板和液体喷出头。液体喷出头基板配置有多个单元。各单元均包括：形成于支撑基板的第一面的压力产生元件；以及一对独立液室，该对独立液室以彼此相对的方式形成于压力产生元件的两侧，并且向支撑基板的第一面开口。液体喷出头基板在支撑基板中包括：第一共用液室，其与成对的独立液室中的位于一侧的多个独立液室连通；第二共用液室，其与成对的独立液室中的位于另一侧的多个独立液室连通；以及分隔壁，其使第一共用液室和第二共用液室彼此分离。
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公开(公告)号：CN1736716B
公开(公告)日：2010-05-05
申请号：CN200510092605.9
申请日：2005-08-16
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/14129 , B41J2/14072 , B41J2/1603 , B41J2/1628 , H05K1/0212 , H05K1/167 , Y10T29/49083 , Y10T29/49155 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明是一种具有与通电对应地发生用于喷出墨的热能的发热部的喷墨头用基板，可高精度地形成发热部并可实现发热部的小面积化，同时抑制电极布线的腐蚀以及其进行。为此，在基体上配置用耐腐蚀性金属构成的薄膜的第1电极101，在其上配置发热电阻体层107，进而通过对于第1电极重叠地配置用Al构成的第2电极103，在不产生大的尺寸离散性的情况下形成发热部。即使产生在发热部上或在其附近的保护层的缺陷，由于发热电阻体层的材料与Al相比在抗侵蚀的性能方面较强，而且第1电极是耐腐蚀性的，故也能有效地抑制腐蚀的进行。
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公开(公告)号：CN100496979C
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200380107518.5
申请日：2003-12-25
Applicant: 佳能株式会社
IPC: B41J2/05
Abstract: 本发明提供了一种用于喷墨头的衬底，包括：产生用于从油墨排出口中排出油墨的热能的加热电阻器和形成在加热电阻器上方并具有与油墨接触的接触表面的上部保护层。而且所述上部保护层由包括Ta和Cr(其中Ta的含量大于Cr的含量)的非晶态合金制成。这种结构可使得衬底在抗气蚀性和抗腐蚀性方面出色，并且具有高耐用性，同时具有与Ta膜制成的传统保护层相似的排出性能。本发明还提高了包括上述衬底的喷墨头，以及其制造方法。
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公开(公告)号：CN100493912C
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：CN200380107491.X
申请日：2003-12-25
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 为了提高具有与用于喷墨头的衬底中的油墨相接触的部分的保护层与树脂层之间的粘着性，从而在长时间内确保质量上的可靠性，本发明提供了用于喷墨头的衬底，所述衬底包括构成生热部分的生热电阻器、与所述生热电阻器电连接的电极布线；以及设在所述生热电阻器和所述电极布线的上方的上部保护层，其特征在于，在形成其中Ta层被层压在由TaCr合金所形成的层上的上部保护层之后，选择性地对所述Ta层形成图案以及选择性地去除所述Ta层，从而在通过所述去除露出由所述TaCr合金所形成的层的部分中形成液体流径元件。
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公开(公告)号：CN101032885A
公开(公告)日：2007-09-12
申请号：CN200710080082.5
申请日：2007-03-07
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1628 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , B41J2/1635 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , H01L21/76898
Abstract: 本发明提供一种喷墨头基片和喷墨头及其制造方法。该喷墨头基片的制造方法包括在硅基片中形成供墨口，该方法包括：在基片的一面形成蚀刻掩模层的步骤，该蚀刻掩模层在与供墨口相对应的位置处具有开口；沿开口的长度方向形成至少两行通过蚀刻掩模层的开口的未穿透孔的步骤；以及通过在开口中对基片进行晶体各向异性蚀刻来形成供墨口的步骤。
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