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公开(公告)号：CN109254502B
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201811350101.6
申请日：2018-11-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开基于气磁悬浮和动磁钢的扫描曝光装置；该装置将磁钢并行排列并置于双层线圈中间，通过对线圈中电流来驱动运动滑块部件的直线运动，这种“三明治”型的并列动磁钢结构能够在提供足够的电机出力的同时，不会产生额外的偏转力矩，但能够消除现有技术中线圈线缆力对运动及定位精度的影响，再通过设置相应气磁悬浮结构对直线运动进行支承和导向，提高了单位面积上承载与的转动刚度，并最终通过结合反馈控制，达到高精度、高速、高频运动的目的。本发明可建立一种体积小、速度快、精度高的扫描曝光装置。
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公开(公告)号：CN108627968A
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201810437726.X
申请日：2018-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开一种多光阑共面的可变狭缝装置；该装置通过4只光阑片首尾相接并构成了矩形的狭缝式窗口，定位刀口平行安装在相邻的光阑片的运刀槽内，狭缝刀口平行安装在相邻的光阑片的定位刀槽内，实现了扫描窗口的4边共面，进而消除了由于边缘衍射对曝光均匀性的影响。本发明可用于建立一种高分辨率、高运动/定位精度的投影式曝光装置。
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公开(公告)号：CN108627937A
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201810437697.7
申请日：2018-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开一种半解耦联动式可变光阑。该装置包括4个主动气浮导轨和4个从动导轨并通过双层气浮模块和联动模块连接，从动导轨末端安装光阑板，4个光阑板首尾相接旋转对称式安装并形成共面的矩形窗口。该装置可通过驱动模块分别对4个光阑板进行逆时针异位控制，实现平面内任意范围的扫描，提高了窗口扫描的精度和效率。本发明可用于建立一种高分辨率、高运动/定位精度的投影式曝光装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104677294B
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：CN201510111283.1
申请日：2015-03-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 基于自组装原理的七芯光纤光栅微尺度测量探针制作方法属于精密仪器制造技术领域；本方法采用机械加工或氢氟酸光纤腐蚀处理的方式减小刻写光纤光栅后的单模光纤的直径，再将七根直径减小后的刻写光纤光栅后的单模光纤穿过带有内锥角的细管中，并将下端浸没在低粘度紫外胶中，利用毛细力对其进行自组装，从而形成最紧凑的正六边形结构，对自组装后的七根直径减小后的刻写光纤光栅后的单模光纤进行紫外胶固化，制成七芯光纤光栅，在光纤研磨机上对七芯光纤光栅的端面进行研磨，采用熔融光纤法或微球安装法在七芯光纤光栅研磨端加工出一个球形针尖，完成七芯光纤光栅探针的加工；本发明光纤光栅信号无串扰，低成本，低损耗。
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公开(公告)号：CN104677283B
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：CN201510107909.1
申请日：2015-03-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 基于自组装原理的四芯光纤光栅微尺度测量探针制作方法属于精密仪器制造技术领域；本方法采用机械加工或氢氟酸光纤腐蚀处理的方式减小刻写光纤光栅后的单模光纤的直径，再将四根直径减小后的刻写光纤光栅后的单模光纤穿过带有内锥角的细管中，并将下端浸没在低粘度紫外胶中，利用毛细力对其进行自组装，从而形成最紧凑的正方形结构，对自组装后的四根直径减小后的刻写光纤光栅后的单模光纤进行紫外胶固化，制成四芯光纤光栅，在光纤研磨机上对四芯光纤光栅的端面进行研磨，采用熔融光纤法或微球安装法在四芯光纤光栅研磨端加工出一个球形针尖，完成四芯光纤光栅探针的加工；本发明光纤光栅信号无串扰，低成本，低损耗。
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公开(公告)号：CN103900491B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201410118969.9
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 基于受激布里渊原理的三芯光纤空间形状测量装置及方法属于精密仪器制造及测量技术；所述装置结构是：三芯光纤扇出器与三芯光纤分布传感器光缆连接，三芯光纤分布传感器光缆由三芯光纤、保护套和高反射银膜构成，多路光开关与三芯光纤分布传感器光缆和隔绝外应力封装的参考光纤光缆连接，控制计算机分别与电光调制器A和B、多路光开关、频谱分析仪连通，频谱分析仪与平衡光电探测器连通；所述测量方法是：利用探测光与泵浦光在特定位置发生受激布里渊散射，采用相干检测技术探测微弱散射光信号完成空间形状测量。本装置具有非局域效应不明显、精度高、对环境不敏感、可以依附在被测构件表面实时测量以及使用寿命长的特点。
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公开(公告)号：CN103900481B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410118966.5
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 基于偏振态检测的保偏平光纤耦合球微尺度传感器属于精密仪器制造及测量技术；该传感器包括激光器、半透半反棱镜、波片、探针、偏振态检测装置A、偏振态检测装置B、计算机，其中探针由平包层保偏光纤和耦合球组成，激光器、半透半反棱镜、波片、探针依次排列，所述激光器出射光分别经半透半反棱镜反射、透射，反射光进入偏振态检测装置A，透射光进入探针并经过耦合球实现光束反向传输由探针出射，出射光再次经过波片并由半透半反棱镜反射进入偏振态检测装置B，当偏振态检测装置B检测到的偏振态相对于偏振态检测装置A检测到的偏振态的差值发生变化时，即可判断探针与被测孔发生触测；本传感器精度高、速度快。
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公开(公告)号：CN103759652B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201410030739.7
申请日：2014-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 基于双光纤光栅的二维微尺度测量装置及方法属于精密仪器制造及测量技术领域；所述装置包括宽频光源、光谱分析仪、光环形器、控制计算机、多路光开关和外部参考光栅，单模光纤a和单模光纤b分别将多路光开关与双光纤光栅探针连通，双光纤光栅探针上端部通过探针夹持器固装，所述的单模光纤a和单模光纤b与双光纤光栅探针连接形成通路；所述方法是控制计算机控制多路光开关切换光路，使用光谱分析仪分别测量光纤光栅的反射光谱，并利用差分数据处理算法，实现无温度耦合的二维微尺度测量。本发明具有精度高、接触力小、不受遮蔽效应影响、探针使用寿命长的特点。
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