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公开(公告)号：CN102403420B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201110356968.4
申请日：2011-11-11
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: H01L33/00
Abstract: 本发明涉及一种用于氮化物处延生长的图形化蓝宝石衬底的制备方法，本发明方法先在蓝宝石基片上磁控溅射一层铝膜，然后施涂两层光刻胶膜且下层光刻胶具有更好的光敏感性，经曝光、显影形成光刻胶图形，再磁控溅射第二层铝膜，经溶剂浸泡剥离外层铝膜，最后经低温、高温两步热处理形成具有单晶氧化铝膜的图形化蓝宝石衬底。本发明的制备方法工艺简单易行，即克服了干法刻蚀方法易污染、损伤衬底的问题，也克服了湿法刻蚀方法易造成图形失真的问题。
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公开(公告)号：CN103287010B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201310031456.X
申请日：2013-01-28
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
Abstract: 本发明提供一种蓝宝石红外窗口用氧化钇/二氧化硅增透保护膜，包括依次沉积的氧化钇层和二氧化硅层，所述氧化钇层的厚度为200~750nm，所述二氧化硅层的厚度为600~900nm。本发明提供的蓝宝石红外窗口用氧化钇/二氧化硅增透保护膜，在提高蓝宝石高温强度和红外透波率的同时，尤其可以改善增透保护膜的附着性能，从而解决了蓝宝石红外窗口在高温、高压等恶劣工作环境常出现的热开裂、热畸变和保护膜脱落等问题。
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公开(公告)号：CN103287010A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310031456.X
申请日：2013-01-28
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
Abstract: 本发明提供一种蓝宝石红外窗口用氧化钇/二氧化硅增透保护膜，包括依次沉积的氧化钇层和二氧化硅层，所述氧化钇层的厚度为200~750nm，所述二氧化硅层的厚度为600~900nm。本发明提供的蓝宝石红外窗口用氧化钇/二氧化硅增透保护膜，在提高蓝宝石高温强度和红外透波率的同时，尤其可以改善增透保护膜的附着性能，从而解决了蓝宝石红外窗口在高温、高压等恶劣工作环境常出现的热开裂、热畸变和保护膜脱落等问题。
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