公开(公告)号：CN113573844A

公开(公告)日：2021-10-29

申请号：CN202080019700.9

申请日：2020-02-24

Applicant: 应用材料公司

Inventor： A·J·纳耿加斯特 ,  S·M·苏尼加

IPC: B24B37/32

Abstract: 一种用于化学机械抛光的承载头包括：基部、致动器、基板安装表面和固定器。固定器包括通过柔性件连接的内段和外段。固定器的内段的底部提供下表面的内部部分，所述下表面的内部部分被配置成接触抛光垫。内段的内表面从下表面的内边缘向上延伸，以周向地围绕基板安装表面。固定器的内段被定位成接收来自致动器的可控制的负载，并且可相对于基部垂直地移动。固定器的外段的底部提供下表面的外部部分。固定器的外段垂直地固定到基部。固定器的内段可相对于固定器的外段垂直地移动。

公开(公告)号：CN221290866U

公开(公告)日：2024-07-09

申请号：CN202320738568.8

申请日：2023-04-06

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 吴政勋 ,  唐建设 ,  S·M·苏尼卡 ,  B·J·布朗 ,  A·J·纳耿加斯特 ,  D·R·威蒂 ,  R·德赛 ,  沈施浩 ,  吴昊晟 ,  Y·胡

IPC: B24B49/00 ,  B24B37/34

Abstract: 一种化学机械抛光装置具有：压板，所述压板支撑抛光垫；载体头，所述载体头包括刚性外壳并被配置为将基板的表面固持抵靠所述抛光垫；电动机，所述电动机用于产生在所述压板与所述载体头之间的相对运动，以便抛光所述基板；原位载体头监测系统，所述原位载体头监测系统包括传感器，所述传感器被定位成与所述外壳相互作用并且检测所述外壳的振动运动并基于检测到的振动运动来生成信号；以及控制器。所述控制器被配置为基于从所述原位载体头监测系统接收的信号来生成载体头状态参数的值，以及基于所述载体头状态参数来改变抛光参数或生成警报。

公开(公告)号：CN218110400U

公开(公告)日：2022-12-23

申请号：CN202220472428.6

申请日：2022-03-04

Applicant: 应用材料公司

Inventor： S·M·苏尼卡 ,  A·J·纳耿加斯特 ,  J·古鲁萨米

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/005 ,  B24B37/30 ,  B24B37/34 ,  B24B41/00

Abstract: 本申请公开了利用浮动边缘控制的抛光承载头。一种用于在抛光系统中固持基板的承载头包括：壳体；环形主体，通过致动器相对于壳体是竖直地可移动的；第一环形隔膜，经固定以在环形主体下方移动，从而在第一环形隔膜与环形主体之间形成至少一个下可加压腔室；以及至少一个压力供应线，连接至至少一个下可加压腔室。环形主体包括上部以及从该上部向下伸出的至少一个下杆，其中，该至少一个下杆位于至少一个下可加压腔室内部。