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公开(公告)号:CN101606037A
公开(公告)日:2009-12-16
申请号:CN200880004525.5
申请日:2008-02-08
Applicant: 旭化成微电子株式会社
Abstract: 本发明涉及一种能够利用交流磁场连续地进行测量、并且频率的设定自由度较大且结构简单的空间信息检测系统。磁传感器驱动部(23)经由多路转接器部(22)来驱动磁传感器(21)。磁传感器的信号被从模拟信号转换为数字信号,从数据发送部(26)作为磁数据发送到运算部(3)。傅立叶变换部(32)根据来自磁数据接收部(31)的输出信号来算出各轴的多个频率成分的振幅和相位。磁场矢量算出部(33)基于来自傅立叶变换部(32)的输出信号,根据各轴的多个频率成分的相位关系来算出各轴的振幅的符号,根据符号与振幅来算出表示磁场朝向和大小的磁场矢量。方向算出部(34)算出信息终端(2)的方向。
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公开(公告)号:CN105589050B
公开(公告)日:2019-08-20
申请号:CN201510959122.8
申请日:2008-03-21
Applicant: 旭化成微电子株式会社
IPC: G01R33/07
Abstract: 本发明涉及磁传感器。由磁感应部(31)检测的磁通密度被切换部(32)提取各轴的磁场强度信息,通过放大部(33)被输入到灵敏度运算部(34)。灵敏度运算部(34)根据来自磁感应部(31)的与各轴相关的磁场强度信息来运算灵敏度。灵敏度运算部具备:轴成分分解部(34a),将来自磁感应部(31)的磁通密度分解为各轴的磁成分;灵敏度判断部(34b),将来自轴成分分解部(34a)的磁场强度的各轴成分与基准值进行比较来判断灵敏度;以及灵敏度校正部(34c),根据来自灵敏度判断部(34b)的灵敏度信息进行灵敏度校正。
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公开(公告)号:CN105589050A
公开(公告)日:2016-05-18
申请号:CN201510959122.8
申请日:2008-03-21
Applicant: 旭化成微电子株式会社
IPC: G01R33/07
Abstract: 本发明涉及磁传感器。由磁感应部(31)检测的磁通密度被切换部(32)提取各轴的磁场强度信息,通过放大部(33)被输入到灵敏度运算部(34)。灵敏度运算部(34)根据来自磁感应部(31)的与各轴相关的磁场强度信息来运算灵敏度。灵敏度运算部具备:轴成分分解部(34a),将来自磁感应部(31)的磁通密度分解为各轴的磁成分;灵敏度判断部(34b),将来自轴成分分解部(34a)的磁场强度的各轴成分与基准值进行比较来判断灵敏度;以及灵敏度校正部(34c),根据来自灵敏度判断部(34b)的灵敏度信息进行灵敏度校正。
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公开(公告)号:CN101641609B
公开(公告)日:2013-06-05
申请号:CN200880009567.8
申请日:2008-03-21
Applicant: 旭化成微电子株式会社
CPC classification number: G01R33/07 , G01R33/0206 , G01R35/005
Abstract: 本发明涉及一种在设有多个霍尔元件的半导体基板上设置了磁性体的具有灵敏度测量功能的磁传感器和灵敏度测量装置及其方法。由磁感应部(31)检测的磁通密度被切换部(32)提取各轴的磁场强度信息,通过放大部(33)被输入到灵敏度运算部(34)。灵敏度运算部(34)根据来自磁感应部(31)的与各轴相关的磁场强度信息来运算灵敏度。灵敏度运算部具备:轴成分分解部(34a),其将来自磁感应部(31)的磁通密度分解为各轴的磁成分;灵敏度判断部(34b),其将来自轴成分分解部(34a)的磁场强度的各轴成分与基准值进行比较来判断灵敏度;以及灵敏度校正部(34c),其根据来自灵敏度判断部(34b)的灵敏度信息进行灵敏度校正。传感器诊断部(39)根据灵敏度信息自诊断磁传感器的灵敏度是否良好并进行灵敏度自校正(调整)。
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公开(公告)号:CN204009026U
公开(公告)日:2014-12-10
申请号:CN201420478035.1
申请日:2014-08-22
Applicant: 旭化成微电子株式会社
IPC: G01R33/09
Abstract: 本实用新型涉及一种至少对与衬底垂直的磁场和平行的磁场进行混合而能够在可分离的状态下检测各磁场分量的磁传感器。该传感器具备与衬底(355)平行并且呈锯齿状排列的N个聚磁板(351),N为大于或等于12的整数,并且相邻的两个聚磁板(351)在长度方向上相互错开;沿各聚磁板(351)的长度方向并行设置有M个磁阻元件(352),M为大于或等于2的整数,并且各磁阻元件(352)的钉扎层(352-1)与自由层(352-2)经由布线(353)实现相互电连接,沿排列方向的布线(353-1)与沿长度方向的布线(353-2)经由通孔(353-3)实现相互电连接。
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公开(公告)号:CN204044343U
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201420478404.7
申请日:2014-08-22
Applicant: 旭化成微电子株式会社 , 旭化成株式会社
IPC: G01R33/09
Abstract: 本实用新型提供了一种磁传感器,包括聚磁部、磁阻部以及用于实现磁阻部的电连接的布线,其中:所述聚磁部包括按第一图案配置的上聚磁部以及按第二图案配置的下聚磁部,所述上聚磁部和所述下聚磁部分别包括N个U或倒U字形的聚磁板,其中N等于3或3的整数倍,所述第一图案与所述第二图案相同或者呈上下镜像对称;所述磁阻部包括沿各所述U或倒U字形的聚磁板的纵向延伸部分并行设置的K个磁阻元件列,各所述磁阻元件列包括M个磁阻元件,其中K为大于或等于1的整数,M为大于或等于2的整数;以及纵向延伸的所述布线与横向延伸的所述布线经由通孔实现电连接。根据本实用新型的磁传感器,能够精度良好地检测分别朝向正交的三个方向的磁场混合而成的磁场信号。
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