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公开(公告)号：CN107076808B
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201580051485.X
申请日：2015-09-25
Applicant: 旭化成微电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种磁场范围较宽的磁传感器。该磁传感器具有：基板；聚磁部，其配置在基板上或者基板内；多个磁检测部；以及运算部，聚磁部使与感磁轴方向不同的方向的外部磁场在多个磁检测部的各磁检测部变换为感磁轴方向的磁场，各磁检测部包含与基板的平面平行地排列的多个磁阻元件，多个磁阻元件的各磁阻元件包含根据外部磁场而使磁化的方向变化的自由层、磁化被固定的钉扎层、设置在自由层和钉扎层之间的隔层这样的层叠结构，多个磁阻元件中所含的一个磁阻元件的自由层的长度方向和与一个磁阻元件相邻的至少一个磁阻元件的自由层的长度方向为相同的方向，与一个磁阻元件相邻的至少一个磁阻元件沿着一个磁阻元件的自由层的长度方向排列。
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公开(公告)号：CN107076808A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580051485.X
申请日：2015-09-25
Applicant: 旭化成微电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种磁场范围较宽的磁传感器。该磁传感器具有：基板；聚磁部，其配置在基板上或者基板内；多个磁检测部；以及运算部，聚磁部使与感磁轴方向不同的方向的外部磁场在多个磁检测部的各磁检测部变换为感磁轴方向的磁场，各磁检测部包含与基板的平面平行地排列的多个磁阻元件，多个磁阻元件的各磁阻元件包含根据外部磁场而使磁化的方向变化的自由层、磁化被固定的钉扎层、设置在自由层和钉扎层之间的隔层这样的层叠结构，多个磁阻元件中所含的一个磁阻元件的自由层的长度方向和与一个磁阻元件相邻的至少一个磁阻元件的自由层的长度方向为相同的方向，与一个磁阻元件相邻的至少一个磁阻元件沿着一个磁阻元件的自由层的长度方向排列。
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公开(公告)号：CN204009026U
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201420478035.1
申请日：2014-08-22
Applicant: 旭化成微电子株式会社
IPC: G01R33/09
Abstract: 本实用新型涉及一种至少对与衬底垂直的磁场和平行的磁场进行混合而能够在可分离的状态下检测各磁场分量的磁传感器。该传感器具备与衬底(355)平行并且呈锯齿状排列的N个聚磁板(351)，N为大于或等于12的整数，并且相邻的两个聚磁板(351)在长度方向上相互错开；沿各聚磁板(351)的长度方向并行设置有M个磁阻元件(352)，M为大于或等于2的整数，并且各磁阻元件(352)的钉扎层(352-1)与自由层(352-2)经由布线(353)实现相互电连接，沿排列方向的布线(353-1)与沿长度方向的布线(353-2)经由通孔(353-3)实现相互电连接。
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