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公开(公告)号:CN101745852A
公开(公告)日:2010-06-23
申请号:CN200910252335.1
申请日:2009-12-02
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: G11B5/8404 , B24B37/24 , B24D3/32
Abstract: 本发明涉及磁盘用玻璃衬底及其制造方法,所述方法包括:在供应含研磨材料的研磨浆体的同时,对圆形玻璃板的主面进行研磨的步骤,其中在对研磨面进行修整处理之后,使用研磨垫进行研磨,所述研磨垫具有:形成所述研磨面的第一树脂泡沫层,所述第一树脂泡沫层的厚度为400μm以下;和在用于固定所述研磨垫的台板和所述第一树脂泡沫层之间设置的第二树脂泡沫层,所述第二树脂泡沫层的厚度为50~250μm,以及其中所述第一树脂泡沫层和所述第二树脂泡沫层的总厚度为550μm以下,且通过JIS K6253规定的M法测定的所述研磨垫的国际橡胶硬度为40IRHD以上。