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公开(公告)号：CN100403571C
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN03801620.6
申请日：2003-08-20
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5628 , G01C19/5621 , H03H9/21 , H03H2003/026
Abstract: 本发明提供一种共振器件的制造方法，在硅基板上形成压电体和电极，压电体和电极利用光刻形成图形。蚀刻硅基板，形成结构体。在结构体的至少一个面形成保护膜。蚀刻未形成保护膜的结构体的面，获得共振器件。一面测定共振频率，一面沿结构体的厚度方向蚀刻该结构体。借此，可以将共振器件的共振频率和失调频率调整为规定的值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100338435C
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN03800846.7
申请日：2003-06-05
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5628
Abstract: 提供一种抑制振动体的驱动共振频率的波动，提高对外加角速度的检测信号的灵敏度的可靠性的角速度传感器。该角速度传感器具有振动体，作为该振动体的音叉，用以面方位(100)为主面的硅基板形成，与该音叉的臂的驱动方向(X方向)大致正交的侧面，成为弹性模量对方位角的依赖性小的面方位。
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公开(公告)号：CN100337281C
公开(公告)日：2007-09-12
申请号：CN02802157.6
申请日：2002-06-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G11B5/5552 , Y10S438/928
Abstract: 一种微量移动装置及其制造方法，把与配置有记录头等的台座连接的端部和另一方的端部固定在固定基板上，以保证伸缩体的尺寸不发生变化，并且在固定基板上的区域中设置向伸缩体供给电压的外部电极连接部。本发明的目的是，在盘状记录介质的记录再生装置等中的用于进行微量定位的微量移动装置中，实现向通过施加电压使记录头等发生位移的伸缩体供给稳定的电压。
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公开(公告)号：CN1271684C
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：CN03800194.2
申请日：2003-01-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/301 , H01L21/304
CPC classification number: G01C19/5607 , H01L21/3043
Abstract: 电子电路用以下方法制造：把从基板的背面至少到达槽的基板的一部分除去。因为即使多个元件也能通过从基板的背面除去基板的一部分成批地分离成单个元件，所以该方法可以高效率生产元件。
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公开(公告)号：CN1258092C
公开(公告)日：2006-05-31
申请号：CN02802646.2
申请日：2002-08-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01P15/09
CPC classification number: G01P15/0891 , G01N2291/02827 , G01P15/0922 , G01P15/097
Abstract: 落下冲击测量系统具备：有多个自由振动部，并且从各个自由振动部来的取出电极独立的，多个双压电晶片型加速度传感器、选择该多个双压电晶片型加速度传感器的输出的开关部、将通过该开关部施加的从双压电晶片型加速度传感器来的信号加以放大的放大电路、以及对该放大电路的输出作逻辑判定，根据其逻辑判定结果对开关部进行控制的逻辑判定电路。
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公开(公告)号：CN1463436A
公开(公告)日：2003-12-24
申请号：CN02802157.6
申请日：2002-06-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G11B5/5552 , Y10S438/928
Abstract: 一种微量移动装置及其制造方法，把与配置有记录头等的台座连接的端部和另一方的端部固定在固定基板上，以保证伸缩体的尺寸不发生变化，并且在固定基板上的区域中设置向伸缩体供给电压的外部电极连接部。本发明的目的是，在盘状记录介质的记录再生装置等中的用于进行微量定位的微量移动装置中，实现向通过施加电压使记录头等发生位移的伸缩体供给稳定的电压。
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