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公开(公告)号：CN101529607B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200780040507.8
申请日：2007-11-12
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/09 , G01C19/56 , H01L41/08 , H01L41/187 , H01L41/22
CPC classification number: G01C19/5607 , G01C19/5628 , H01L41/0477 , H01L41/0815 , H01L41/29 , Y10T29/42
Abstract: 一种电子部件及其制造方法，该电子部件具备形成有电极部的元件，电极部具有上部电极(74)、下部电极(72)及密合层(76)，压电体(70)介于上部电极(74)与下部电极(72)之间，密合层(76)层叠于上部电极(74)与压电体(70)之间，压电体(70)具有由含铅的压电材料构成的压电层(80)，密合层(76)具有以钨为主要成分的钨层，通过将压电层(80)和所述钨层层叠而可以抑制温度上升引起的压电常数的下降及基点电压的变化。
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公开(公告)号：CN1596363A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN03801664.8
申请日：2003-08-06
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 一种角速度传感器包括具有音叉形状的基板(1)，分别设在构成音叉的臂部上使臂部振动的驱动部(110)，用来检测由各自的驱动部(110)造成的振动的监视部(150)，以及用来当角速度施加时检测振动位移的检测部(120)，其中每个驱动部(110)、每个监视部(150)和每个检测部(120)分别由在一个臂上形成的下电极层、压电体薄膜和上电极层组成，而压电薄膜的外周端部由具有至少一个平坦部的阶梯形状组成，取为在外周端部的平坦部上不设置上电极层的构成，借此防止下电极层与上电极层间的短路。
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公开(公告)号：CN100535595C
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN03801664.8
申请日：2003-08-06
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 一种角速度传感器包括具有音叉形状的基板(1)，分别设在构成音叉的臂部上使臂部振动的驱动部(110)，用来检测由各自的驱动部(110)造成的振动的监视部(150)，以及用来当角速度施加时检测振动位移的检测部(120)，其中每个驱动部(110)、每个监视部(150)和每个检测部(120)分别由在一个臂上形成的下电极层、压电体薄膜和上电极层组成，而压电薄膜的外周端部由具有至少一个平坦部的阶梯形状组成，取为在外周端部的平坦部上不设置上电极层的构成，借此防止下电极层与上电极层间的短路。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1545611A
公开(公告)日：2004-11-10
申请号：CN03800846.7
申请日：2003-06-05
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5628
Abstract: 提供一种抑制振动体的驱动共振频率的波动，提高对外加角速度的检测信号的灵敏度的可靠性的角速度传感器。该角速度传感器具有振动体，作为该振动体的音叉，用以面方位(100)为主面的硅基板形成，与该音叉的臂的驱动方向(X方向)大致正交的侧面，成为弹性模量对方位角的依赖性小的面方位。
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公开(公告)号：CN1507650A
公开(公告)日：2004-06-23
申请号：CN03800194.2
申请日：2003-01-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/301 , H01L21/304
CPC classification number: G01C19/5607 , H01L21/3043
Abstract: 电子电路用以下方法制造：把从基板的里面至少到达槽的基板的一部分除去。因为即使多个元件也能通过从基板的里面除去基板的一部分成批地分离成单个元件，所以该方法可以高效率生产元件。
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公开(公告)号：CN101529607A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200780040507.8
申请日：2007-11-12
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/09 , G01C19/56 , H01L41/08 , H01L41/187 , H01L41/22
CPC classification number: G01C19/5607 , G01C19/5628 , H01L41/0477 , H01L41/0815 , H01L41/29 , Y10T29/42
Abstract: 一种电子部件及其制造方法，该电子部件具备形成有电极部的元件，电极部具有上部电极(74)、下部电极(72)及密合层(76)，压电体(70)介于上部电极(74)与下部电极(72)之间，密合层(76)层叠于上部电极(74)与压电体(70)之间，压电体(70)具有由含铅的压电材料构成的压电层(80)，密合层(76)具有以钨为主要成分的钨层，通过将压电层(80)和所述钨层层叠而可以抑制温度上升引起的压电常数的下降及基点电压的变化。
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公开(公告)号：CN100338435C
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN03800846.7
申请日：2003-06-05
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5628
Abstract: 提供一种抑制振动体的驱动共振频率的波动，提高对外加角速度的检测信号的灵敏度的可靠性的角速度传感器。该角速度传感器具有振动体，作为该振动体的音叉，用以面方位(100)为主面的硅基板形成，与该音叉的臂的驱动方向(X方向)大致正交的侧面，成为弹性模量对方位角的依赖性小的面方位。
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公开(公告)号：CN1271684C
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：CN03800194.2
申请日：2003-01-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/301 , H01L21/304
CPC classification number: G01C19/5607 , H01L21/3043
Abstract: 电子电路用以下方法制造：把从基板的背面至少到达槽的基板的一部分除去。因为即使多个元件也能通过从基板的背面除去基板的一部分成批地分离成单个元件，所以该方法可以高效率生产元件。
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