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公开(公告)号：CN1596481A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN03801620.6
申请日：2003-08-20
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5628 , G01C19/5621 , H03H9/21 , H03H2003/026
Abstract: 本发明提供一种共振器件的制造方法，在硅基板上形成压电体和电极，压电体和电极利用光刻形成图形。蚀刻硅基板，形成结构体。在结构体的至少一个面形成保护膜。蚀刻未形成保护膜的结构体的面，获得共振器件。一面测定共振频率，一面沿结构体的厚度方向蚀刻该结构体。借此，可以将共振器件的共振频率和失调频率调整为规定的值。
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公开(公告)号：CN1596363A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN03801664.8
申请日：2003-08-06
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 一种角速度传感器包括具有音叉形状的基板(1)，分别设在构成音叉的臂部上使臂部振动的驱动部(110)，用来检测由各自的驱动部(110)造成的振动的监视部(150)，以及用来当角速度施加时检测振动位移的检测部(120)，其中每个驱动部(110)、每个监视部(150)和每个检测部(120)分别由在一个臂上形成的下电极层、压电体薄膜和上电极层组成，而压电薄膜的外周端部由具有至少一个平坦部的阶梯形状组成，取为在外周端部的平坦部上不设置上电极层的构成，借此防止下电极层与上电极层间的短路。
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公开(公告)号：CN1266490A
公开(公告)日：2000-09-13
申请号：CN99800679.3
申请日：1999-05-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01P15/09 , H01L41/04 , H01L41/047 , H01L41/08 , H01L41/083
CPC classification number: G01P1/023 , G01P1/02 , G01P15/0922
Abstract: 本发明的加速度传感器抑制检测特性的离散剂,使低频检测特性提高,具有第1压电板(11)、通过直接接合与该第1压电板(11)相互贴合的第2压电板(12)、设于第1压电板(11)的主表面的第1外部电极(13)及设于第2压电板(12)的主表面的第2外部电极(14)。并且,第1压电板(11)与第2压电板(12)以极化轴倒置的状态相互贴合,并具有支承部(15)的厚度比其它部分(自由振动部分)的厚度要厚的大致L字形形状的剖面形状。
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公开(公告)号：CN1596362A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN02823621.1
申请日：2002-11-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5607 , H03H9/21 , H03H9/2484 , H03H2003/0492
Abstract: 本发明提供一种提高了驱动效率的薄膜微型机械式谐振器(谐振器)、改善了对所加的角速度的检测灵敏度的谐振器陀螺仪、使用该谐振器陀螺仪的导航系统及汽车。谐振器包括由非压电材料制成的音叉、设于音叉的臂的主平面的内侧和外侧的第1和第2电极。在分别设于第1和第2电极上的第1和第2压电薄膜之上，分别设有第3和第4电极。通过在第3、第4电极上加上相互反相的交流电压，音叉就会以与中心线成直角的方向作为谐振方向而进行谐振。谐振器陀螺仪利用由其他电极和其他压电薄膜构成的检测部检测出与施加在该谐振器上的角速度对应的哥氏力。
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公开(公告)号：CN1138149C
公开(公告)日：2004-02-11
申请号：CN99800679.3
申请日：1999-05-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01P1/023 , G01P1/02 , G01P15/0922
Abstract: 本发明的加速度传感器抑制检测特性的离散度，使低频检测特性提高，具有第1压电板(11)、通过直接接合与该第1压电板(11)相互贴合的第2压电板(12)、设于第1压电板(11)的主表面的第1外部电极(13)及设于第2压电板(12)的主表面的第2外部电极(14)。并且，第1压电板(11)与第2压电板(12)以极化轴倒置的状态相互贴合，并具有支承部(15)的厚度比其它部分(自由振动部分)的厚度要厚的大致L字形形状的剖面形状。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1464978A
公开(公告)日：2003-12-31
申请号：CN02802646.2
申请日：2002-08-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01P15/09
CPC classification number: G01P15/0891 , G01N2291/02827 , G01P15/0922 , G01P15/097
Abstract: 落下冲击测量系统具备：有多个自由振动部，并且从各个自由振动部来的取出电极独立的，多个双压电晶片型加速度传感器、选择该多个双压电晶片型加速度传感器的输出的开关部、将通过该开关部施加的从双压电晶片型加速度传感器来的信号加以放大的放大电路、以及对该放大电路的输出作逻辑判定，根据其逻辑判定结果对开关部进行控制的逻辑判定电路。
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公开(公告)号：CN100535595C
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN03801664.8
申请日：2003-08-06
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 一种角速度传感器包括具有音叉形状的基板(1)，分别设在构成音叉的臂部上使臂部振动的驱动部(110)，用来检测由各自的驱动部(110)造成的振动的监视部(150)，以及用来当角速度施加时检测振动位移的检测部(120)，其中每个驱动部(110)、每个监视部(150)和每个检测部(120)分别由在一个臂上形成的下电极层、压电体薄膜和上电极层组成，而压电薄膜的外周端部由具有至少一个平坦部的阶梯形状组成，取为在外周端部的平坦部上不设置上电极层的构成，借此防止下电极层与上电极层间的短路。
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公开(公告)号：CN100510630C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN02823621.1
申请日：2002-11-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5607 , H03H9/21 , H03H9/2484 , H03H2003/0492
Abstract: 本发明提供一种提高了驱动效率的薄膜微型机械式谐振器(谐振器)、改善了对所加的角速度的检测灵敏度的谐振器陀螺仪、使用该谐振器陀螺仪的导航系统及汽车。谐振器包括由非压电材料制成的音叉、设于音叉的臂的主平面的内侧和外侧的第1和第2电极。在分别设于第1和第2电极上的第1和第2压电薄膜之上，分别设有第3和第4电极。通过在第3、第4电极上加上相互反相的交流电压，音叉就会以与中心线成直角的方向作为谐振方向而进行谐振。谐振器陀螺仪利用由其他电极和其他压电薄膜构成的检测部检测出与施加在该谐振器上的角速度对应的哥氏力。
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公开(公告)号：CN1545611A
公开(公告)日：2004-11-10
申请号：CN03800846.7
申请日：2003-06-05
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5663 , G01C19/5628
Abstract: 提供一种抑制振动体的驱动共振频率的波动，提高对外加角速度的检测信号的灵敏度的可靠性的角速度传感器。该角速度传感器具有振动体，作为该振动体的音叉，用以面方位(100)为主面的硅基板形成，与该音叉的臂的驱动方向(X方向)大致正交的侧面，成为弹性模量对方位角的依赖性小的面方位。
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公开(公告)号：CN1507650A
公开(公告)日：2004-06-23
申请号：CN03800194.2
申请日：2003-01-24
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/301 , H01L21/304
CPC classification number: G01C19/5607 , H01L21/3043
Abstract: 电子电路用以下方法制造：把从基板的里面至少到达槽的基板的一部分除去。因为即使多个元件也能通过从基板的里面除去基板的一部分成批地分离成单个元件，所以该方法可以高效率生产元件。
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