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公开(公告)号:CN110057327A
公开(公告)日:2019-07-26
申请号:CN201910046411.7
申请日:2019-01-18
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供测量用X射线CT装置及其防干扰方法。测量用X射线CT装置一边使配置在旋转台上的被检体旋转一边照射X射线,对投影图像进行重构来得到被检体的断层图像,该测量用X射线CT装置具备:摄像单元,其对所述旋转台上的被检体从上方或侧方进行拍摄;一边使所述被检体旋转一边获取该被检体的图像的单元;使用获取到的被检体图像来计算被检体旋转时的最大外径的单元;以及基于该最大外径来设定所述旋转台的移动界限的单元。
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公开(公告)号:CN110689591B
公开(公告)日:2024-06-21
申请号:CN201910601553.5
申请日:2019-07-04
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社三丰
IPC: G06T11/00 , G06T7/136 , G01N23/046 , G01B15/00 , G01B15/02
Abstract: 本发明提供一种CT重建处理方法。其中,对使用X射线CT装置获取到的测定对象物W的透射像应用用于滤波反投影处理的滤波来生成滤波投影像,对滤波投影像进行图像的低分辨率化、张数的间隔剔除来生成低分辨率的投影像,使用低分辨率的投影像进行CT重建来生成低分辨率的体数据,对低分辨率的体数据的各体素进行临时分割,关于临时分割后的体素,将临时分割前后的体素值进行比较,如果临时分割前后的体素值的差比阈值大,则将该临时分割设为有效,在体数据的体素中反映该临时分割的体素后再继续进行分割,如果临时分割前后的体素值的差比阈值小,则将该临时分割设为无效,结束体素的分割。由此,使CT重建处理显著地高速化。
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公开(公告)号:CN110261415B
公开(公告)日:2024-06-11
申请号:CN201910183519.0
申请日:2019-03-12
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01N23/046
Abstract: 本发明提供一种测量用X射线CT设备以及批量生产工件测量方法。在使用被配置为在使被布置在转动台上的工件转动的同时发射X射线、并且重构所述工件的投影图像以生成所述工件的体数据的测量用X摄像CT设备测量批量生产工件时,本发明向预定工件的体数据分配值,并将所述体数据存储为与主数据相同;在与所述预定工件相同的条件下获得批量生产工件的体数据;测量该体数据并且获得所述批量生产工件的X射线CT测量值;以及使用所述主数据来校正所述批量生产工件的X射线CT测量值。
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公开(公告)号:CN112461871A
公开(公告)日:2021-03-09
申请号:CN202010920049.4
申请日:2020-09-04
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01N23/046 , G01B15/00
Abstract: 本发明提供一种测量用X射线CT装置。测量用X射线CT装置在X射线源与X射线检测器之间具备用于搭载测定对象的旋转台以及扫描机构,该测量用X射线CT装置在预先校正X射线源的焦点、X射线检测器和旋转台的旋转中心的几何位置关系的基础上向测定对象照射X射线来进行CT扫描,由此获取投影图像,并通过对该投影图像进行CT重建来生成测定对象的三维像,所述测量用X射线CT装置具备:基准框架,其具有不易受环境变动所影响的材质和构造;以及传感器,其配置于该基准框架,用于在CT扫描中逐次获取X射线源的焦点与X射线检测器的几何位置关系的校正值,其中,所述测量用X射线CT装置将该校正值用作CT重建的参数。
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公开(公告)号:CN112461165A
公开(公告)日:2021-03-09
申请号:CN202010940511.7
申请日:2020-09-09
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B15/04 , G01N23/046
Abstract: 本发明提供一种X射线测量装置的校正方法,包括:前段特征位置计算工序,将配置于N个部位的球的平行移动进行多次,确定处于N个部位的球各自的投影像的重心位置;单独矩阵计算工序,针对球分别计算单独投影矩阵;单独位置计算工序,基于单独投影矩阵来计算球各自的移动位置;坐标统一工序,计算球的特定的相对位置间隔;后段特征位置计算工序;变换矩阵计算工序,计算投影变换矩阵;旋转检测工序;位置计算工序;以及中心位置计算工序。由此,即使校正治具由于经年变化等而发生变形,也能够通过简单的工序容易地计算例如将被测定物以能够旋转的方式载置的旋转台的旋转中心位置。
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公开(公告)号:CN106053495B
公开(公告)日:2020-08-25
申请号:CN201610237472.8
申请日:2016-04-15
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01N23/046 , G05D3/12
Abstract: 提供一种旋转台的控制方法和装置。通过XY移动机构(18),能够将旋转台(16)沿与该旋转台(16)的旋转轴正交的二维方向(XY方向)移动,通过与旋转台(16)的旋转同步地对旋转台(16)的所述二维方向上的移动位置进行协调控制,能够使旋转台(16)以旋转台(16)上的任意的位置为虚拟的旋转中心进行旋转。并且,在对所述二维方向上的移动位置进行协调控制时,还对因旋转台(16)的偏心引起的旋转的偏心进行校正。由此,能够在旋转台上的任意的位置处设定虚拟的旋转中心,无需重新配置被检体就能够在多个摄像部位得到高分辨率的断层图像。
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公开(公告)号:CN110686624A
公开(公告)日:2020-01-14
申请号:CN201910600227.2
申请日:2019-07-04
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社三丰
IPC: G01B15/00 , G01N23/046
Abstract: 本发明提供一种利用由X射线CT装置获得的投影像的尺寸测定方法。在测定单一材质的测定对象物W的尺寸时,在使用X射线CT装置(1)获取测定对象物(W)的多个透射像之后,分别生成投影像,将该投影像与在测定对象物(W)的设计中使用的CAD数据的位置对准,使用完成位置对准的CAD数据与投影像之间的关系来计算测定对象物(W)的尺寸。由此,使用设计信息和几十张左右的投影像,以不进行CT重建的方式实现高精度的尺寸测定。
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公开(公告)号:CN110261416B
公开(公告)日:2024-05-14
申请号:CN201910184960.0
申请日:2019-03-12
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01N23/046
Abstract: 本发明涉及一种测量用X射线CT设备和断层图像生成方法。在使用被配置为在使配置在旋转台上的样品转动的同时发射X射线、并且重构所述样品的投影图像以生成所述样品的断层图像的测量用X射线CT设备生成断层图像的情况下,预先获得并存储包含在所述投影图像中的几何误差量,使用所存储的几何误差量来校正所述投影图像,并且使用校正后的投影图像来重构断层图像。
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公开(公告)号:CN110686624B
公开(公告)日:2023-04-11
申请号:CN201910600227.2
申请日:2019-07-04
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社三丰
IPC: G01B15/00 , G01N23/046
Abstract: 本发明提供一种利用由X射线CT装置获得的投影像的尺寸测定方法。在测定单一材质的测定对象物W的尺寸时,在使用X射线CT装置(1)获取测定对象物(W)的多个透射像之后,分别生成投影像,将该投影像与在测定对象物(W)的设计中使用的CAD数据的位置对准,使用完成位置对准的CAD数据与投影像之间的关系来计算测定对象物(W)的尺寸。由此,使用设计信息和几十张左右的投影像,以不进行CT重建的方式实现高精度的尺寸测定。
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公开(公告)号:CN110689591A
公开(公告)日:2020-01-14
申请号:CN201910601553.5
申请日:2019-07-04
Applicant: 国立大学法人东京大学 , 株式会社三丰
IPC: G06T11/00 , G06T7/136 , G01N23/046 , G01B15/00 , G01B15/02
Abstract: 本发明提供一种CT重建处理方法。其中,对使用X射线CT装置获取到的测定对象物W的透射像应用用于滤波反投影处理的滤波来生成滤波投影像,对滤波投影像进行图像的低分辨率化、张数的间隔剔除来生成低分辨率的投影像,使用低分辨率的投影像进行CT重建来生成低分辨率的体数据,对低分辨率的体数据的各体素进行临时分割,关于临时分割后的体素,将临时分割前后的体素值进行比较,如果临时分割前后的体素值的差比阈值大,则将该临时分割设为有效,在体数据的体素中反映该临时分割的体素后再继续进行分割,如果临时分割前后的体素值的差比阈值小,则将该临时分割设为无效,结束体素的分割。由此,使CT重建处理显著地高速化。
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