显微镜系统
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103534629A

    公开(公告)日:2014-01-22

    申请号:CN201280021356.2

    申请日:2012-01-25

    CPC classification number: G02B21/14 G02B21/365 G02B21/367

    Abstract: 一种相位对比显微镜系统,该系统包含:照明光学系统,其采用来自光源的照明光照明样本;成像光学系统,其从来自样本的光形成样本的图像;第一空间调制元件,其布置在成像光学系统的光瞳位置处并且改变来自样本的光振幅透射率分布;图像传感器,其检测由成像光学系统所形成的样本的图像并且输出图片信号;计算部件,其基于由图像传感器检测到的输出数据以及由第一空间调制元件形成的来自样本的光振幅透射率分布来计算适合用于观察样本的来自样本的光振幅透射率分布。

    成像设备和程序
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103492926A

    公开(公告)日:2014-01-01

    申请号:CN201280017763.6

    申请日:2012-01-30

    CPC classification number: G02B21/14 G02B21/367

    Abstract: 一种成像设备(100),其包括:成像单元(80),其对检测对象成像;分析单元(202),其输出由成像单元捕获的图像特征量;存储单元(206),其存储评估函数,该评估函数具有作为用于图像评估的变量的图像特征量;选择单元(203),其从包括基于评估函数的值所指定的图像的两个或更多个图像中选择一个图像;以及改变单元(204),其基于在其中由选择单元所选择的一个图像与指定图像不同的情况中的一个图像来改变评估函数。

    照明系统、曝光装置及制造、图像形成、照明与曝光方法

    公开(公告)号:CN107390477B

    公开(公告)日:2020-02-14

    申请号:CN201710727062.6

    申请日:2012-10-18

    Abstract: 一种照明光学系统、曝光装置及组件制造、图像形成、照明与曝光方法,能够形成具有所需的光束剖面的光瞳强度分布。利用来自光源的光对被照射面进行照明的照明光学系统包括:空间光调变器,包括排列于规定面上且被个别地控制的多个光学组件,将光强度分布可变化地形成于照明光学系统的照明光瞳;发散角赋予构件,配置于包含与规定面成光学共轭的面的共轭空间内,对入射光束赋予发散角而射出;以及偏光构件,配置于规定面的附近位置或共轭空间,使经由光路传播的传播光束中的一部分光束的偏光状态发生变化。

    成像设备和程序
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103492926B

    公开(公告)日:2017-06-16

    申请号:CN201280017763.6

    申请日:2012-01-30

    CPC classification number: G02B21/14 G02B21/367

    Abstract: 一种成像设备(100),其包括:成像单元(80),其对检测对象成像;分析单元(202),其输出由成像单元捕获的图像特征量;存储单元(206),其存储评估函数,该评估函数具有作为用于图像评估的变量的图像特征量;选择单元(203),其从包括基于评估函数的值所指定的图像的两个或更多个图像中选择一个图像;以及改变单元(204),其基于在其中由选择单元所选择的一个图像与指定图像不同的情况中的一个图像来改变评估函数。

    显微镜系统、服务器和程序

    公开(公告)号:CN103460110A

    公开(公告)日:2013-12-18

    申请号:CN201280017713.8

    申请日:2012-01-30

    CPC classification number: G02B21/14 G02B21/12 G02B21/365 G06K9/2027

    Abstract: 一种显微镜系统(100),其包括用于观察检测对象的显微镜(30至80)和被连接到该显微镜的计算机(20)。显微镜(30至80)包括:照明光学系统(40),其在预定的照明条件下照明检测对象;成像光学系统(70),其形成检测对象的图像;以及图像传感器(80),其输出图像信号。该计算机(20)包括:图像分析单元(202),其基于由图像传感器检测的图像信号来获取检测对象的图像特征量;比较单元(205),其比较检测对象的图像特征量与多个样本检测对象的图像特征量,并且指定最接近检测对象的图像特征量的样本检测对象的图像特征量;以及设定单元(212),其基于适用于具有由比较单元指定的图像特征量的样本检测对象的观察的照明状态,来设定照明光学系统的照明条件。

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