公开(公告)号：CN107250429A

公开(公告)日：2017-10-13

申请号：CN201680010757.6

申请日：2016-02-17

Applicant: 株式会社尼康 ,  国立大学法人熊本大学

Inventor： 奈良圭 ,  中积诚 ,  西康孝 ,  中村有水 ,  浪平隆男 ,  高村纪充

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/50

Abstract: 目的在于提供一种能够进一步降低对基板的负荷的薄膜制造装置。一种薄膜制造装置，其将含有薄膜的形成材料的溶液的雾供给至基板而在所述基板上形成薄膜，其特征在于具备：等离子体产生部，其具有配置于所述基板的一个面侧的第1电极和第2电极，使所述第1电极与第2电极之间产生等离子体；和雾供给部，其使所述雾通过所述第1电极与所述第2电极之间而供给至所述基板。

公开(公告)号：CN104428453B

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201380033284.8

申请日：2013-07-02

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 中积诚 ,  西康孝

IPC: C25D9/04 ,  C01G9/02 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L29/66969 ,  C25D5/02 ,  C25D9/04 ,  C25D9/08 ,  C25D17/001 ,  C25D17/10 ,  H01L21/02425 ,  H01L21/02491 ,  H01L21/02494 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02565 ,  H01L21/02617 ,  H01L21/02628 ,  H01L21/768 ,  H01L27/124 ,  H01L27/1292 ,  H01L29/24 ,  H01L29/45 ,  H01L29/7869 ,  Y10T428/24802

Abstract: 一种氧化锌薄膜的制造方法，其中，将在至少一部分具有导电性部位的基材浸渍在含有锌离子、氢氧化物离子和锌配位离子的溶液中，对上述导电性部位进行交流电流的通电，由此在上述基材上的包含上述导电性部位的区域形成氧化锌薄膜。

公开(公告)号：CN103404014A

公开(公告)日：2013-11-20

申请号：CN201280010978.5

申请日：2012-03-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 中积诚 ,  田边正章

IPC: H02N2/00 ,  G02B7/04

CPC classification number: H02N2/105 ,  G02B7/04 ,  G02B7/08 ,  H02N2/0065 ,  H02N2/026 ,  H02N2/106 ,  H02N2/123 ,  H02N2/16 ,  H02N2/163

Abstract: 本发明提供一种振动致动器，包括：电气机械转换部，将电能转换为机械振动；传动部，将来自于电气机械转换部的振动作为驱动力进行传动；以及抵接部，与传动部相抵接，通过驱动力而相对于传动部移动；在传动部与抵接部相接触的表面上，传动部及抵接部的任意一方的孔隙面积占有率为2%以上。在上述振动致动器中，孔隙的平均面积可以为3μm2以上。另外，在传动部及抵接部的另一方中，与一方相接触的面可以含有铁。

公开(公告)号：CN111128707B

公开(公告)日：2023-06-16

申请号：CN201911389514.X

申请日：2015-08-24

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 奈良圭 ,  中积诚 ,  西康孝

IPC: H01L21/28 ,  H01L27/12 ,  H01L29/66 ,  H01L29/786 ,  H10K59/12 ,  H05B33/10

Abstract: 能减轻电子元件制造业者的负担，且制造高精度电子元件。将构成电子元件的至少一部分积层构造体形成于转印基板即第1基板上后，将积层构造体(52)转印至第2基板(P2)上的元件制造方法，具备：第1步骤，借由于第1基板(P1)上形成第1导电层(52a)，于第1导电层(52a)上形成功能层(52b)，于功能层(52b)上形成第2导电层(52c)，以形成积层构造体(52)；以及第2步骤，以第2导电层(52c)位于第2基板(P2)侧的方式使第1基板(P1)与第2基板(P2)暂时紧贴，以将积层构造体(52)转印至第2基板(P2)。

公开(公告)号：CN109496202B

公开(公告)日：2021-10-29

申请号：CN201780046479.4

申请日：2017-07-20

Applicant: 国立大学法人熊本大学 ,  株式会社尼康

Inventor： 浪平隆男 ,  西康孝 ,  中积诚 ,  岩堀恒一郎

IPC: C01G19/00 ,  B22F1/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01G15/00

Abstract: 本发明的课题在于提供一种具有通用性的纳米颗粒集合体。一种纳米颗粒集合体，其由平均一次粒径为60nm以下的纳米颗粒构成，其直径超过500nm且为5μm以下。

公开(公告)号：CN106605294A

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201580045821.X

申请日：2015-08-24

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 奈良圭 ,  中积诚 ,  西康孝

IPC: H01L21/336 ,  H01L21/28 ,  H01L27/12 ,  H01L29/786 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10

Abstract: 能减轻电子元件制造业者的负担，且制造高精度电子元件。将构成电子元件的至少一部分积层构造体形成于转印基板即第1基板上后，将积层构造体(52)转印至第2基板(P2)上的元件制造方法，具备：第1步骤，藉由于第1基板(P1)上形成第1导电层(52a)，于第1导电层(52a)上形成功能层(52b)，于功能层(52b)上形成第2导电层(52c)，以形成积层构造体(52)；以及第2步骤，以第2导电层(52c)位于第2基板(P2)侧的方式使第1基板(P1)与第2基板(P2)暂时紧贴，以将积层构造体(52)转印至第2基板(P2)。

公开(公告)号：CN104428453A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201380033284.8

申请日：2013-07-02

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 中积诚 ,  西康孝

IPC: C25D9/04 ,  C01G9/02 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L29/66969 ,  C25D5/02 ,  C25D9/04 ,  C25D9/08 ,  C25D17/001 ,  C25D17/10 ,  H01L21/02425 ,  H01L21/02491 ,  H01L21/02494 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02565 ,  H01L21/02617 ,  H01L21/02628 ,  H01L21/768 ,  H01L27/124 ,  H01L27/1292 ,  H01L29/24 ,  H01L29/45 ,  H01L29/7869 ,  Y10T428/24802

Abstract: 一种氧化锌薄膜的制造方法，其中，将在至少一部分具有导电性部位的基材浸渍在含有锌离子、氢氧化物离子和锌配位离子的溶液中，对上述导电性部位进行交流电流的通电，由此在上述基材上的包含上述导电性部位的区域形成氧化锌薄膜。

公开(公告)号：CN102449187A

公开(公告)日：2012-05-09

申请号：CN201080023865.X

申请日：2010-06-02

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 岩堀恒一郎 ,  中积诚

IPC: C23C14/34 ,  H01B13/00

CPC classification number: C23C14/086

Abstract: 本发明提供一种被膜形成物的制造方法，该制造方法是利用溅射法将含有靶的构成元素的被膜形成于基板的表面上而制造被膜形成物的方法，其中，将所述靶和所述基板的距离d设定为所述构成元素在溅射气体中的平均自由行程的0.5倍至1.5倍的范围。