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公开(公告)号：CN101320136B
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN200810126659.6
申请日：2005-01-14
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件(10)变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域(10A～10D)，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。
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公开(公告)号：CN101866058A
公开(公告)日：2010-10-20
申请号：CN201010128876.6
申请日：2006-01-18
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G03F7/70191 , G02B26/00 , G02B26/008 , G02B26/06 , G02B27/286 , G03F7/70108 , G03F7/705 , G03F7/70566 , G03F7/70991
Abstract: 本发明提供一种实质上不受作为波长板发挥机能的光学构件的制造误差的影响，而以所需的偏光状态的光对被照射面进行照明的照明光学装置。该照明光学装置为基于来自光源(1)的光，对被照射面(M，W)进行照明的照明光学装置。该照明光学装置具有被配置在照明瞳面或其附近，用于将入射光的偏光状态转换为特定的偏光状态的偏光转换元件(12)。偏光转换元件具有用于对入射的直线偏光可变地赋予旋光角度的多个可变旋光构件。各可变旋光构件由具有旋光性的光学材料形成，且具有沿与光轴(AX)交叉的方向可相对移动的2个偏角棱镜。
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公开(公告)号：CN1914525A
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN200580003186.5
申请日：2005-01-14
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G02B5/30 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件10变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域10A～10D，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。
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公开(公告)号：CN101788721B
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201010128136.2
申请日：2006-01-18
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G03F7/70191 , G02B26/00 , G02B26/008 , G02B26/06 , G02B27/286 , G03F7/70108 , G03F7/705 , G03F7/70566 , G03F7/70991
Abstract: 本发明提供一种实质上不受作为波长板发挥机能的光学构件的制造误差的影响，而以所需的偏光状态的光对被照射面进行照明的照明光学装置。该照明光学装置为基于来自光源(1)的光，对被照射面(M，W)进行照明的照明光学装置。该照明光学装置具有被配置在照明瞳面或其附近，用于将入射光的偏光状态转换为特定的偏光状态的偏光转换元件(12)。偏光转换元件具有用于对入射的直线偏光可变地赋予旋光角度的多个可变旋光构件。各可变旋光构件由具有旋光性的光学材料形成，且具有沿与光轴(AX)交叉的方向可相对移动的2个偏角棱镜。
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公开(公告)号：CN101788721A
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN201010128136.2
申请日：2006-01-18
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G03F7/70191 , G02B26/00 , G02B26/008 , G02B26/06 , G02B27/286 , G03F7/70108 , G03F7/705 , G03F7/70566 , G03F7/70991
Abstract: 本发明提供一种实质上不受作为波长板发挥机能的光学构件的制造误差的影响，而以所需的偏光状态的光对被照射面进行照明的照明光学装置。该照明光学装置为基于来自光源(1)的光，对被照射面(M，W)进行照明的照明光学装置。该照明光学装置具有被配置在照明瞳面或其附近，用于将入射光的偏光状态转换为特定的偏光状态的偏光转换元件(12)。偏光转换元件具有用于对入射的直线偏光可变地赋予旋光角度的多个可变旋光构件。各可变旋光构件由具有旋光性的光学材料形成，且具有沿与光轴(AX)交叉的方向可相对移动的2个偏角棱镜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101164142B
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200680000686.8
申请日：2006-01-18
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70191 , G02B26/00 , G02B26/008 , G02B26/06 , G02B27/286 , G03F7/70108 , G03F7/705 , G03F7/70566 , G03F7/70991
Abstract: 本发明提供一种实质上不受作为波长板发挥机能的光学构件的制造误差的影响，而以所需的偏光状态的光对被照射面进行照明的照明光学装置。该照明光学装置为基于来自光源(1)的光，对被照射面(M，W)进行照明的照明光学装置。该照明光学装置具有被配置在照明瞳面或其附近，用于将入射光的偏光状态转换为特定的偏光状态的偏光转换元件(12)。偏光转换元件具有用于对入射的直线偏光可变地赋予旋光角度的多个可变旋光构件。各可变旋光构件由具有旋光性的光学材料形成，且具有沿与光轴(AX)交叉的方向可相对移动的2个偏角棱镜。
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公开(公告)号：CN101379593A
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200780004190.2
申请日：2007-03-22
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 重松幸二
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70283 , G03F7/70208 , G03F7/70275
Abstract: 本发明是有关于一种曝光装置、元件制造方法以及曝光方法，该双重曝光方式的曝光装置，可根据较精简的结构，例如将两种图案重叠曝光于感光性基板上的同一曝光照射区域，以形成一个合成图案。该曝光装置包括：第1照明系统(ILa)，对形成于第一掩模(Ma)上的图案区域中，沿Y方向而细长延伸的第1区域进行照明；第2照明系统(ILb)，对形成于沿X方向与第1掩模空开间隔而配置的第2掩模(Mb)上的图案区域中，沿Y方向而细长延伸的第2区域进行照明：以及投影光学系统(PL)，使第1区域的图案像与第2区域的图案像沿第2方向并排地形成于感光性基板上。第1照明系统的射出侧的部分光学系统的光轴(AXa)及第2照明系统的射出侧的部分光学系统的光轴(AXb)，分别沿YZ平面而设定。
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公开(公告)号：CN101078814A
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200710110951.4
申请日：2005-01-14
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件(10)变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域(10A～10D)，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。
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公开(公告)号：CN101078813A
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200710110950.X
申请日：2005-01-14
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件(10)变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域(10A～10D)，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。
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公开(公告)号：CN101078811A
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200710110948.2
申请日：2005-01-14
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件(10)变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域(10A～10D)，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。
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