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公开(公告)号：CN101078888B
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN200710110952.9
申请日：2005-01-14
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件(10)变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域(10A～10D)，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。
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公开(公告)号：CN101078811B
公开(公告)日：2012-04-25
申请号：CN200710110948.2
申请日：2005-01-14
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件(10)变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域(10A～10D)，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。
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公开(公告)号：CN101320136A
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200810126659.6
申请日：2005-01-14
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件(10)变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域(10A～10D)，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。
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公开(公告)号：CN101006552A
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200580027676.9
申请日：2005-08-03
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/027 , G02B19/00 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70108 , G02B19/0014 , G02B19/0047 , G03F7/70133 , G03F7/70191
Abstract: 本发明是关于一种一面可使被照射面上的照度分布加以维持或调整于大略均一，一面能使在被照射面上的各点的瞳辉度分布各加以调整于大略均一的照明光学装置。从光源(1)的光束照明被照射面(M，W)的照明光学装置。包括瞳分布形成部(1～4)及调整部(8、9)。其中，瞳分布形成部(1～4)，在照明瞳面形成具有辉度分布的瞳辉度分布。调整部(8、9)，使被照射面上的各点的瞳辉度分布分别独立地加以调整。调整部，配置于瞳分布形成部与被照射面之间的光程中，包括具有预定的透射率分布或反射率分布的多个调整面。
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公开(公告)号：CN100536071C
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200580028180.3
申请日：2005-10-12
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 重松幸二
IPC: H01L21/027 , G02B13/24
CPC classification number: G02B27/46 , G02B5/001 , G03F7/70075 , G03F7/70108 , G03F7/70158 , G03F7/70191
Abstract: 本发明提供一种可以实现所需的环形照明或圆形照明等而实质上不受来自衍射光学元件的0次光的影响的照明光学装置。该照明光学装置具备：用于将来自光源(1)的光束转换为规定的光强度分布的光束的衍射光学元件(3)；配置于衍射光学元件与被照射面(M)之间的光路中、基于来自衍射光学元件的光束在照明光瞳面上形成实质上的面光源的光学积分器(8)；配置于衍射光学元件与光学积分器之间的光路中、用于改变实质上的面光源的大小及形状的整形光学系统(4、6、7)；以及在整型光学系统的光路中配置于与衍射光学元件实质上具有傅立叶变换关系的位置、用于阻止来自衍射光学元件的0次光沿着照明光路行进的阻止机构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101164142A
公开(公告)日：2008-04-16
申请号：CN200680000686.8
申请日：2006-01-18
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70191 , G02B26/00 , G02B26/008 , G02B26/06 , G02B27/286 , G03F7/70108 , G03F7/705 , G03F7/70566 , G03F7/70991
Abstract: 本发明提供一种实质上不受作为波长板发挥机能的光学构件的制造误差的影响，而以所需的偏光状态的光对被照射面进行照明的照明光学装置。该照明光学装置为基于来自光源(1)的光，对被照射面(M，W)进行照明的照明光学装置。该照明光学装置具有被配置在照明瞳面或其附近，用于将入射光的偏光状态转换为特定的偏光状态的偏光转换元件(12)。偏光转换元件具有用于对入射的直线偏光可变地赋予旋光角度的多个可变旋光构件。各可变旋光构件由具有旋光性的光学材料形成，且具有沿与光轴(AX)交差的方向可相对移动的2个偏角棱镜。
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公开(公告)号：CN101078888A
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200710110952.9
申请日：2005-01-14
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件(10)变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域(10A～10D)，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。
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公开(公告)号：CN101006556A
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200580028180.3
申请日：2005-10-12
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 重松幸二
IPC: H01L21/027 , G02B13/24
CPC classification number: G02B27/46 , G02B5/001 , G03F7/70075 , G03F7/70108 , G03F7/70158 , G03F7/70191
Abstract: 本发明提供一种可以实现所需的环形照明或圆形照明等而实质上不受来自衍射光学元件的0次光的影响的照明光学装置。该照明光学装置具备：用于将来自光源(1)的光束转换为规定的光强度分布的光束的衍射光学元件(3)；配置于衍射光学元件与被照射面(M)之间的光路中、基于来自衍射光学元件的光束在照明光瞳面上形成实质上的面光源的光学积分器(8)；配置于衍射光学元件与光学积分器之间的光路中、用于改变实质上的面光源的大小及形状的整形光学系统(4、6、7)；以及在整型光学系统的光路中配置于与衍射光学元件实质上具有傅立叶变换关系的位置、用于阻止来自衍射光学元件的0次光沿着照明光路行进的阻止机构。
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公开(公告)号：CN101078814B
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN200710110951.4
申请日：2005-01-14
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件(10)变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域(10A～10D)，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。
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公开(公告)号：CN101078812B
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN200710110949.7
申请日：2005-01-14
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件(10)变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域(10A～10D)，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。
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