光图像计测装置及光图像计测方法

    公开(公告)号:CN1734253B

    公开(公告)日:2010-05-12

    申请号:CN200510089128.0

    申请日:2005-08-02

    Abstract: 本发明是有关于一种光图像计测装置及光图像计测方法。该光图像计测装置,可使检测灵敏度提高并有效地求取干涉光的信号强度和相位信息。该光图像计测装置包括输出被周期性强度调制的光束的宽频带光源(2)、将光束转换为直线偏光的偏光板(3)、将光束分割为信号光(S)和参照光(R),并且使信号光(S)和参照光(R)进行重叠而生成干涉光(L)的半反射镜(6)、将参照光(R)转换为圆偏光的波长板(7)、利用使参照光(R)的频率进行位移的频率位移器(8)及压电元件(9A)而被移动的参照镜(9)、将干涉光(L)的(S)偏光成分(L1)和(P)偏光成分(L2)进行抽出的偏光分光器(11)、分别检测偏光成分(L1,L2)并输出检测信号的(CCD21,22)、根据该检测信号计算干涉光(L)的信号强度及相位的信号处理部(20);且根据该计算结果而形成被测定物体(0)的图像。

    光图像计测装置
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100498294C

    公开(公告)日:2009-06-10

    申请号:CN200510051001.X

    申请日:2005-02-25

    Abstract: 本发明是有关于一种光图像计测装置,可根据干涉光的检测结果计算由背景光构成的直流成分的强度,并可利用其计算结果求得干涉光的信号强度及相位的空间分布。该光图像计测装置包括干涉光学系统,将光束由射束分裂器分割为信号光和参照光,并利用频率移相器使参照光的频率进行位移,且使经由了被测定物体的信号光和参照光重叠而生成干涉光;射束分裂器,用于将干涉光分割为个干涉光(L1、L2、L3);遮光器,用于将干涉光(L1、L2、L3)以一定的周期进行遮蔽并抽样;光检测器,将所抽样的干涉光(L1、L2、L3)进行检测,并变换为电信号进行输出;以及信号处理部,根据该电信号计算干涉光的信号强度和相位的空间分布。

    光图像计测装置
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1763499A

    公开(公告)日:2006-04-26

    申请号:CN200510108382.0

    申请日:2005-10-13

    Abstract: 本发明提供一种光图像计测装置,可在短时间内进行包含双折射层的被测定物体的计测。该光图像计测装置包括输出被周期性强度调制的光束的宽频带光源、扩大光束径的透镜、将光束转换为直线偏光的偏光板、将光束分割为信号光和参照光的半透镜、将参照光转换为圆偏光的波长板、将朝向被测定物体的信号光形成圆偏光,将来自被测定物体的信号光形成直线偏光的波长板、使参照光进行频率位移的频率位移器、从参照光和信号光所生成的干涉光将偏光成分和偏光成分进行分离的偏光分光器、接受各偏光成分并输出含有其强度变化的信息的检测信号的、根据该强度变化的信息形成反映被测定物体的双折射的图像的信号处理部。

    光图像测量装置
    17.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101322025B

    公开(公告)日:2011-08-03

    申请号:CN200680045701.0

    申请日:2006-11-07

    Abstract: 本发明提供一种能够实现测量时间的缩短的光图像测量装置。从氙气灯2输出闪光,并利用光学滤光器2A转换成宽频带光。利用偏光板3将闪光转换成直线偏光,并利用半透明反射镜6而分割成信号光S与参照光R。利用波长板7将该参照光R转换成圆偏光,并利用半透明反射镜6来将信号光S与参照光R重叠以生成相干光L。CCD23对特性与相干光L相同的相干光进行检测。相干光L通过偏光分束器11而分成S偏光成分L1与P偏光成分L2后,分别由CCD21及CCD22来检测。计算机30根据来自CCD21、CCD22、CCD23的检测信号,而形成被测定物体0的图像。根据这样的光图像测量装置1,可以同时获取相干光L的两个偏光成分L1和L2,因此可以实现测量时间的缩短。

    光图像计测装置
    18.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100587470C

    公开(公告)日:2010-02-03

    申请号:CN200510108382.0

    申请日:2005-10-13

    Abstract: 本发明提供一种光图像计测装置,可在短时间内进行包含双折射层的被测定物体的计测。该光图像计测装置包括输出被周期性强度调制的光束的宽频带光源、扩大光束径的透镜、将光束转换为直线偏光的偏光板、将光束分割为信号光和参照光的半透镜、将参照光转换为圆偏光的波长板、将朝向被测定物体的信号光形成圆偏光,将来自被测定物体的信号光形成直线偏光的波长板、使参照光进行频率位移的频率位移器、从参照光和信号光所生成的干涉光将偏光成分和偏光成分进行分离的偏光分光器、接受各偏光成分并输出含有其强度变化的信息的检测信号的、根据该强度变化的信息形成反映被测定物体的双折射的图像的信号处理部。

    光图像计测装置
    19.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100582740C

    公开(公告)日:2010-01-20

    申请号:CN200510103420.3

    申请日:2005-09-15

    Abstract: 本发明提供一种光图像计测装置,可利用更少的光传感器,有效地取得干涉光特别是交流成分。该光图像计测装置包括将来自宽频带光源(2)的光束转换为直线偏光的偏光板(3)、将光束分割为信号光(S)和参照光(R)的半透镜(6)、使参照镜(8)振动的压电元件(9)、将参照光(R)转换为圆偏光的波长板(7)、将利用半透镜(6)进行重叠的由信号光(S)和参照光(R)所生成的干涉光(L)的不同的2个偏光成分抽出的偏光分光器(11)、分别检测这2个偏光成分的CCD(21,22)、根据被检测的各偏光成分形成被测定物体(O)的图像的信号处理部(20);光束的强度调制的频率与干涉光(L)的拍率同步,参照镜(8)的振动的频率与干涉光(L)的拍率同步,且其振幅小于等于干涉光(L)的波长。

    光图像测量装置
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101322025A

    公开(公告)日:2008-12-10

    申请号:CN200680045701.0

    申请日:2006-11-07

    Abstract: 本发明提供一种能够实现测量时间的缩短的光图像测量装置。从氙气灯2输出闪光,并利用光学滤光器2A转换成宽频带光。利用偏光板3将闪光转换成直线偏光,并利用半透明反射镜6而分割成信号光S与参照光R。利用波长板7将该参照光R转换成圆偏光,并利用半透明反射镜6来将信号光S与参照光R重叠以生成相干光L。CCD23对特性与相干光L相同的相干光进行检测。相干光L通过偏光分束器11而分成S偏光成分L1与P偏光成分L2后,分别由CCD21及CCD22来检测。计算机30根据来自CCD21、CCD22、CCD23的检测信号,而形成被测定物体0的图像。根据这样的光图像测量装置1,可以同时获取相干光L的两个偏光成分L1和L2,因此可以实现测量时间的缩短。

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