公开(公告)号：CN109954414A

公开(公告)日：2019-07-02

申请号：CN201811585934.0

申请日：2018-12-24

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 中川洋一 ,  小泽卓 ,  渡边敏史 ,  徐涛

IPC: B01F3/04 ,  B01F15/00

Abstract: 本发明提供气体溶解液制造装置及气体溶解液的制造方法。气体溶解液制造装置(1)具备气体供给部(2)、第一液体供给部(3)、气体溶解液生成部(4)、第二液体生成部(20)、第二液体供给部(21)、流量测定部(14)、以及控制部(23)。控制部(23)根据在流量测定部(14)测定的循环的气体溶解液的流量，对供给到气体溶解液生成部(4)的第一液体的供给量进行控制。气体溶解液生成部(4)使从气体供给部(2)供给的气体溶解于从第一液体供给部(3)供给的第一液体和从第二液体供给部(21)供给的第二液体，从而生成气体溶解液。

公开(公告)号：CN106944402A

公开(公告)日：2017-07-14

申请号：CN201710011014.7

申请日：2017-01-06

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 小泽卓 ,  横山俊夫 ,  户川哲二

IPC: B08B3/08 ,  B08B3/10 ,  B08B13/00 ,  B08B1/02 ,  B08B11/00 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67051 ,  B08B3/024 ,  B08B3/08 ,  B08B3/10 ,  B08B7/0071 ,  B08B2230/01 ,  G03F7/422 ,  H01L21/67098 ,  H01L21/67109 ,  B08B1/02 ,  B08B11/00 ,  B08B13/00 ,  H01L21/67023

Abstract: 清洗装置(1)具有：加热单元(5)，其对基板(W)的清洗面进行加热；清洗单元(6)，其向基板(W)的清洗面供给臭氧水而对清洗面进行清洗；以及控制单元(7)，其对清洗面的加热和清洗液的供给进行控制，以使得在对基板(W)的清洗面进行了加热之后对清洗面进行清洗。