公开(公告)号：CN104179688A

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：CN201410217789.6

申请日：2014-05-21

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 川村兴太郎 ,  篠原丰司 ,  杉浦哲郎 ,  荒井秀夫 ,  京谷敬史 ,  中泽敏治 ,  石川敬一 ,  柏木诚司 ,  铃木康彦

IPC: F04C29/12 ,  F04C25/02 ,  F04C23/00

CPC classification number: B01D53/70 ,  B01D53/0438 ,  B01D53/685 ,  B01D53/74 ,  B01D53/8659 ,  B01D53/8662 ,  B01D53/92 ,  B01D2251/30 ,  B01D2252/103 ,  B01D2253/102 ,  B01D2253/108 ,  B01D2253/1124 ,  B01D2253/206 ,  B01D2255/10 ,  B01D2257/2025 ,  B01D2257/204 ,  B01D2257/2042 ,  B01D2257/2045 ,  B01D2257/553 ,  B01D2257/556 ,  B01D2258/0216 ,  B01D2259/818 ,  F04B37/06 ,  F04B37/14

Abstract: 本发明以低成本且迅速地提供一种带有除害功能的真空泵，其在真空泵的后级附设有小型且可拆卸的除害部，通过变更所附设的除害部的种类、个数、排列的组合，从而可符合所要求的除害性能。该带有除害功能的真空泵(1)，在真空泵(1)的排气口附设有对从真空泵(1)排出的废气进行处理而无害化的除害部(10)，废气的处理形式及/或废气的处理量及/或废气的处理性能不相同的多个除害部(10)中至少一个除害部(10)与真空泵(1)的排气口连接。

公开(公告)号：CN104074717A

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN201410118130.5

申请日：2014-03-27

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 川村兴太郎 ,  筱原丰司 ,  杉浦哲郎 ,  荒井秀夫 ,  京谷敬史 ,  中泽敏治 ,  石川敬一 ,  柏木诚司 ,  铃木康彦

IPC: F04B37/14 ,  F04B39/00 ,  B01D53/74

CPC classification number: B01D53/343 ,  C23C16/4412 ,  F04B37/06 ,  F04B37/14 ,  F23G7/065 ,  Y02C20/30

Abstract: 本发明提供一种带除害功能的真空泵，其能够将通过真空泵的压缩热加热了的废气的热量利用于废气的无害化处理，且能够将在除害部中进行的无害化处理中所产生的热量用于向真空泵供给的惰性气体的加热。带除害功能的真空泵是通过在真空泵（1）的排气口附设对从真空泵（1）排出的废气进行处理而使之无害化的除害部而成的真空泵（1），该真空泵（1）设有热交换器（26），该热交换器（26）使用在除害部（10）中进行废气的无害化处理时产生的热量来加热惰性气体，将由热交换器（26）加热了的惰性气体导入真空泵（1）。

公开(公告)号：CN302372935S

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201230447293.X

申请日：2012-09-14

Applicant: 株式会社荏原制作所

Designer： 柏木诚司 ,  池田宏 ,  宫崎一知

Abstract: 1.本外观设计产品的名称为排气处理装置用刮刀。2.本外观设计产品的用途是：用于刮落对从半导体、液晶、太阳能电池等的制造工序及其他工序排出的排气进行分解处理时附着并堆积在处理装置内壁面上的氧化硅及其他固态物。3.本外观设计产品的设计要点在于产品的形状。4.指定立体图1为最能表明设计要点的视图。