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公开(公告)号：CN102252824B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201110090601.2
申请日：2011-04-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于泰伯效应的复合差分式长焦距测量装置。激光光源的光经偏振片、λ/4波片、显微物镜和准直镜，由分光棱镜分成两路光束，其中一路光入射到标准透镜、第一光栅和第二光栅，在第一毛玻璃上形成莫尔条纹，第一CCD采集条纹输入计算机计算出角度α1，得到标准透镜焦距；另一路光入射到待测长焦距透镜，经反射镜反射再入射到第三、第四光栅，在第二毛玻璃上形成莫尔条纹，第二CCD采集条纹输入计算机计算条纹角度α2；对α1和α2做差分修正α1得到待测长焦距值，将标准透镜焦距和其已知标准值差分再修正待测长焦距值，得到待测长焦距透镜焦距值。本发明采用两次差分的方法消除外界干扰，可以实现长焦距透镜高精度测量。
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公开(公告)号：CN102759635A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201210245672.X
申请日：2012-07-17
Applicant: 浙江大学
Inventor： 侯昌伦
IPC: G01P15/093
Abstract: 本发明公开了一种基于集成光栅压电调制的微光学加速度传感器及其方法，微光学加速度传感器包括外壳，外壳内设有沿光路依次布置的光源和光栅，所述外壳内沿光路还设有底座、位于底座与光栅之间且滑动安装在所述外壳内的MEMS传感机构和位于所述光栅与MEMS传感机构之间且一面固定在所述光栅上的压电陶瓷部件，所述MEMS传感机构包括质量块和连接所述质量块的悬臂梁，所述质量块朝向所述光栅的一面为镀有金属铝膜的反射面。本发明引入压电陶瓷作为调制器件，能够大大提高传感器的探测灵敏度；通过探测两个不同级次衍射光强信号，采用锁相放大和差分处理，降低电路噪声，提高系统测量精度。
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公开(公告)号：CN102331336A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110160965.3
申请日：2011-06-15
Applicant: 浙江大学
Inventor： 侯昌伦
IPC: G01M11/02 , G01B11/255
Abstract: 本发明公开了一种长焦距大口径透镜的焦距测量方法及装置，方法实施步骤如下：1)依次将平行光束照射被测透镜一侧的取样点，采集透出光线泰伯效应的莫尔条纹图像；2)获取多组距离小于平行光束直径的两个取样点莫尔条纹图像的莫尔条纹移动量；3)依次根据所述莫尔条纹移动量获取被测透镜对应两个取样点区域的波前斜率；4)将各波前斜率拟合形成一个连续的拟合波面；5)采用最小二乘法获取所述拟合波面的最接近球面，获取所述最接近球面的球面半径；装置包括平行光束发射单元、莫尔条纹产生单元、图像采集单元和图像处理单元。本发明可以有效实现大口径长焦距透镜的焦距测量，具有测量精度高、适应性好、操作简单方便的优点。
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公开(公告)号：CN102252824A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110090601.2
申请日：2011-04-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于泰伯效应的复合差分式长焦距测量装置。激光光源的光经偏振片、λ/4波片、显微物镜和准直镜，由分光棱镜分成两路光束，其中一路光入射到标准透镜、第一光栅和第二光栅，在第一毛玻璃上形成莫尔条纹，第一CCD采集条纹输入计算机计算出角度α1，得到标准透镜焦距；另一路光入射到待测长焦距透镜，经反射镜反射再入射到第三、第四光栅，在第二毛玻璃上形成莫尔条纹，第二CCD采集条纹输入计算机计算条纹角度α2；对α1和α2做差分修正α1得到待测长焦距值，将标准透镜焦距和其已知标准值差分再修正待测长焦距值，得到待测长焦距透镜焦距值。本发明采用两次差分的方法消除外界干扰，可以实现长焦距透镜高精度测量。
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公开(公告)号：CN100542805C
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200710069426.2
申请日：2007-06-19
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种用于激光照排的微机电加工光栅光阀阵列及其方法。光栅光阀阵列包括硅基底，在硅基底上设有二氧化硅层，在二氧化硅层上等间隔平行设有固定光栅条和可移动光栅条，可移动光栅条为中间悬空的桥梁状，可移动光栅条两端固定在二氧化硅上。方法是采用硅作为基底，上面再生长一层二氧化硅和硅牺牲层。在牺牲层上生长氮化硅、单晶硅或多晶硅作悬臂梁，利用离子刻蚀工艺刻蚀氮化硅、单晶硅或多晶硅，再用化学腐蚀的方法，掏空牺牲层，最后蒸镀金属铝、铂金或金属银作为反射面兼上电极。本发明作为激光扫描控制器件应用于激光照排系统中。该器件能够实现在激光照排系统上多路并行扫描，大大的提高了激光照排机的打片速度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101073935A
公开(公告)日：2007-11-21
申请号：CN200710069426.2
申请日：2007-06-19
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种用于激光照排的微机电加工光栅光阀阵列及其方法。光栅光阀阵列包括硅基底，在硅基底上设有二氧化硅层，在二氧化硅层上等间隔平行设有固定光栅条和可移动光栅条，可移动光栅条为中间悬空的桥梁状，可移动光栅条两端固定在二氧化硅上。方法是采用硅作为基底，上面再生长一层二氧化硅和硅牺牲层。在牺牲层上生长氮化硅、单晶硅或多晶硅作悬臂梁，利用离子刻蚀工艺刻蚀氮化硅、单晶硅或多晶硅，再用化学腐蚀的方法，掏空牺牲层，最后蒸镀金属铝、铂金或金属银作为反射面兼上电极。本发明作为激光扫描控制器件应用于激光照排系统中。该器件能够实现在激光照排系统上多路并行扫描，大大的提高了激光照排机的打片速度。
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公开(公告)号：CN1936634A
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN200610053778.4
申请日：2006-10-10
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种实现光纤密排线阵列中光点密接的方法。它包括如下步骤：1)将标准单模光纤的一端拉制出直径为5～25微米的微光纤，它包括标准光纤、过渡区和微光纤；2)将上述多根微光纤端部间隔水平平行排列在表面镀有氟化镁薄膜的带有V形槽的硅基板或带有矩形槽的氟化镁基板上；3)在基板上的微光纤上方设有表面镀有氟化镁薄膜的玻璃片或者是氟化镁薄板，并通过紫外胶与基板固定，形成微光纤密排阵列；4)标准光纤端部通过FC接口与半导体激光器连接，密排的微光纤阵列端输出光点阵列。本发明实现了多路光纤密排在水平线上的光点密接排列；提高了激光照排系统中成像的精度；增加了焦深，降低对胶片曝光时的位置精度的要求。
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公开(公告)号：CN103175991A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201310061102.X
申请日：2013-02-27
Applicant: 浙江大学
Inventor： 侯昌伦
IPC: G01P15/093
Abstract: 本发明公开了一种集成光栅压电调制闭环高精度微加速度传感器，包括外壳，外壳内设有沿光路依次布置的光源、光栅、压电陶瓷部件和MEMS传感机构；MEMS传感机构包括质量块和连接所述质量块的悬臂梁，质量块朝向光栅的一面为光反射面；还设有用于检测干涉光束光强的光电探测器，所述的干涉光束为被光栅反射的光束和被光反射面反射的光束发生干涉形成；以及用于根据光电探测器信号计算相应加速度的信号处理模块；设有固定在质量块的底部的第一电磁力发生装置，以及位于外壳内且与第一电磁力发生装置相配合的第二电磁力发生装置，以及向第一电磁力发生装置和第二电磁力发生装置输送电流的电流驱动模块，该电流驱动模块与信号处理模块连接。
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公开(公告)号：CN102313642B
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201110252061.3
申请日：2011-08-30
Applicant: 浙江大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种高精度长焦距透镜的焦距检测装置，包括激光器、显微物镜、针孔、第一朗奇光栅、待测长焦距透镜、第二朗奇光栅、毛玻璃和CCD相机。激光器发出的光经显微物镜和针孔后形成一个发散光束，入射到第一朗奇光栅上，再经待测长焦距透镜和第二朗奇光栅，第二朗奇光栅放在第一朗奇光栅的某一泰伯级次位置上，那么第一朗奇光栅的泰伯像和第二朗奇光栅则会形成莫尔条纹，用CCD相机采集条纹，计算莫尔条纹角度就可以得到待测透镜的焦距。本发明结构简单，易于实现，精度高，可以用于长焦距透镜的检测和光学系统中焦距的精确测量，尤其可以精确测量大口径长焦距透镜（焦距为几米至几十米）的焦距，避免扫描检测带来的误差。
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公开(公告)号：CN102331336B
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201110160965.3
申请日：2011-06-15
Applicant: 浙江大学
Inventor： 侯昌伦
IPC: G01M11/02 , G01B11/255
Abstract: 本发明公开了一种长焦距大口径透镜的焦距测量方法及装置，方法实施步骤如下：1)依次将平行光束照射被测透镜一侧的取样点，采集透出光线泰伯效应的莫尔条纹图像；2)获取多组距离小于平行光束直径的两个取样点莫尔条纹图像的莫尔条纹移动量；3)依次根据所述莫尔条纹移动量获取被测透镜对应两个取样点区域的波前斜率；4)将各波前斜率拟合形成一个连续的拟合波面；5)采用最小二乘法获取所述拟合波面的最接近球面，获取所述最接近球面的球面半径；装置包括平行光束发射单元、莫尔条纹产生单元、图像采集单元和图像处理单元。本发明可以有效实现大口径长焦距透镜的焦距测量，具有测量精度高、适应性好、操作简单方便的优点。
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