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公开(公告)号：CN101290218B
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200810061678.5
申请日：2008-05-23
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种用于校正非球面非零位检测中的原理误差的方法。包括如下步骤：1)对包括被测非球面在内的非球面非零位检测系统进行建模；2)根据被测非球面的理论面形，模拟出上述非球面非零位检测系统的探测器平面上的波前；3)将被测非球面的参数设为变量，利用光线追迹，以非零位检测系统的探测器实际检测得到的波前为目标进行优化；4)判断优化是否结束，若结束，则结束误差校正优化，否则继续等待优化结束，优化结束的条件是由事先设定的检测误差所决定的。本发明可以实现非球面非零位检测的高精度误差补偿。通过优化迭代进行补偿。理论上来说，本发明可以实现非球面非零位检测中误差的完全校正，是一种可以实现高精度的补偿方法。
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公开(公告)号：CN100557427C
公开(公告)日：2009-11-04
申请号：CN200710070044.1
申请日：2007-07-17
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/956 , G01R31/308 , G06F19/00
Abstract: 本发明公开了一种表面疵病检测图像拼接时物像坐标误差调整装置及方法。在检测大口径精密元件表面时，需要将扫描的成百上千帧子孔径图利用数字图像处理的方法实施图像拼接。本发明针对影响全孔径拼接时的误差——CCD坐标与扫描轨迹坐标间的夹角α，提出根据被测大口径元件尺寸、物方视场大小及所需拼接的N×N的子孔径数，从而确定相应的最大角度容差αmax。本发明设计了特定的角度调整机构，可以实现CCD坐标系与扫描轨迹坐标系一致性的调整。本发明提出了利用具有标准刻线的标准板、XY扫描系统及专门的图像处理软件组合可以实现按照特定的调整方法使两个坐标系的夹角α小于αmax，从而保证全孔径的正确拼接，达到表面疵病等级和位置的正确评定。
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公开(公告)号：CN101290218A
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200810061678.5
申请日：2008-05-23
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种用于校正非球面非零位检测中的原理误差的方法。包括如下步骤：1)对包括被测非球面在内的非球面非零位检测系统进行建模；2)根据被测非球面的理论面形，模拟出上述非球面非零位检测系统的探测器平面上的波前；3)将被测非球面的参数设为变量，利用光线追迹，以非零位检测系统的探测器实际检测得到的波前为目标进行优化；4)判断优化是否结束，若结束，则结束误差校正优化，否则继续等待优化结束，优化结束的条件是由事先设定的检测误差所决定的。本发明可以实现非球面非零位检测的高精度误差补偿。通过优化迭代进行补偿。理论上来说，本发明可以实现非球面非零位检测中误差的完全校正，是一种可以实现高精度的补偿方法。
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公开(公告)号：CN1222672A
公开(公告)日：1999-07-14
申请号：CN98122886.0
申请日：1998-12-27
Applicant: 浙江大学现代光学仪器研究所
IPC: G01B9/04
Abstract: 一种激光扫描力显微镜,其特征是该激光扫描力显微镜由光源1、准直扩束器2、半反半透镜3、显微物镜4、聚焦物镜5、带有光电二极管的前置放大器6、锁相放大器7、压电叠堆8、微探针9、压电扫描台10、带有A/D及D/A转换器的计算机11构成,光源1采用半导体激光器,入射平行激光束通过的显微物镜会聚在微探针的微悬臂端部上,形成反射光和衍射光共路干涉,通过信号处理测得样品表面微细结构数据。同现有技术比较,本方案具有结构简单紧凑,性能稳定可靠,有利于实现小型化等优点,纵向分辨率为0.01nm横向分辨率为5nm。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103776389A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410012476.7
申请日：2014-01-10
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种高精度非球面组合干涉检测装置与方法。本发明包括包括非球面非零位干涉检测系统、位移测量干涉系统和计算机数据处理模块；具体包括如下步骤：步骤1.选择部分零位镜，搭建高精度非球面组合干涉检测装置；步骤2.系统建模，并划分子孔径；步骤3.检测装置中非球面的定位；步骤4.子孔径干涉图采集处理；步骤5.子孔径回程误差校正；步骤6.全口径面形拼接。本发明结合非球面部分零位补偿法与环形子孔径拼接干涉检测法，可有效地减少覆盖全口径所需的子孔径数目，增加各环带子孔径和重叠区宽度，有效地解决了由于重叠区很小而影响拼接精度的难题。
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公开(公告)号：CN102636496B
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201210121716.8
申请日：2012-04-24
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/93
Abstract: 本发明公开了一种光学表面疵病暗场检测中疵病宽度标定标准化系统及方法。本发明解决了疵病检测中物面疵病的实际宽度与CCD成像像素宽度的关联问题。本发明的技术特点在于：为模拟存在疵病的光学表面，制作一个刻有一系列标准宽度刻线的石英定标板，并用扫描电镜标定刻线的实际宽度；使用一个光学表面疵病暗场检测系统，利用其中的精密导轨移动石英定标板并配合CCD采集每条定标线的暗场灰度图；对这些灰度图进行特征识别和特征提取，并与其实际宽度进行比对建立暗场物像关联函数。获得暗场物像关联函数后即可通过处理在同样成像条件下采集的被测件图像来对其表面划痕的宽度进行标定。实现了对光学表面宽度在微米及亚微米量级的疵病的标定的标准化。
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公开(公告)号：CN102680477A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210123930.7
申请日：2012-04-24
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种大尺寸光学元件高精度调平方法与装置。本发明利用高倍率显微镜对元件表面不同位置的三特征点分别进行连续多幅暗场灰度图像采集，计算图像灰度信息熵值，拟合灰度信息熵值与显微镜轴向移动距离曲线，通过搜寻曲线中极小值的方法，获得正焦位置，获得各特征点离焦量。设计一种两板式弹性预紧，两点调整俯仰与侧摆的调平装置。通过建立离焦量与调整量换算模型，将三特征点处的离焦量换算为两调整点的调整量，进行调平操作。本发明解决了大尺寸光学元件在显微镜全范围扫描检测过程中出现的因光学元件与显微镜焦平面的不平行而造成的离焦问题。
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公开(公告)号：CN102661956A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201210122901.9
申请日：2012-04-24
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明提出了一种超光滑表面缺陷检测系统及其畸变校正方法。本发明解决了超光滑表面缺陷检测系统中因为存在光学畸变而造成的子图像拼接时的缺陷断裂问题。本发明的技术特点在于，设计了一种超光滑表面缺陷检测系统和畸变校正标准板及标准板的夹持装置，利用检测系统对标准板采集得到暗场畸变图像，通过该畸变图像和计算机按照物面尺寸和像面像素关系重构的标准板理想图像的匹配建立畸变退化模型，并提出一种基于二次极坐标正反变换和二次灰度线性插值的畸变校正方法。本方法能够校正超光滑表面缺陷检测系统中因畸变造成的相邻子图像的拼接错位，同时也适用于校正其他基于图像拼接的大视场光学系统中存在的畸变。
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公开(公告)号：CN101592478B
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200910099785.1
申请日：2009-06-15
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种非球面非零位检测技术中非零补偿镜精密干涉定位方法及调整装置。本发明解决了被测非球面与非零补偿镜难以实现高精度定位的难题。本发明的技术特点在于，利用一辅助的非零补偿镜与消球差补偿镜组组合后形成组合消球差镜组。设计一种可以使非零补偿镜与消球差补偿镜组通过定位结构实现共轴组合和分离的机械结构。组合消球差镜组将非零补偿镜的非共心光束补偿成共心光束，建立一个非球面非零位检测技术中非零补偿镜菲佐型精密干涉定位系统，通过观察干涉条纹形状的变化，利用一可达微米量级定位精度的精密导轨，来判断调整使组合消球差镜组的焦点位于被测非球面的顶点。为非球面非零补偿检测方法提供了一种高精度的定位方法。
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