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公开(公告)号:CN105684122B
公开(公告)日:2018-01-05
申请号:CN201480058539.0
申请日:2014-08-08
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 透过型光电阴极(2)包括:光透过性基板(4),其具有光入射的外侧面(4a)和出射从外侧面(4a)侧入射的光的内侧面(4b);设置在光透过性基板(4)的内侧面(4b)侧、将从内侧面(4b)出射的光转换为光电子的光电转换层(5);和设置在光透过性基板(4)和光电转换层(5)之间的由石墨烯构成的光透过性导电层(6)。
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公开(公告)号:CN104603907B
公开(公告)日:2016-09-21
申请号:CN201380046343.5
申请日:2013-07-31
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J29/86 , C23C16/45525 , H01J5/08 , H01J5/10 , H01J29/88 , H01J31/50 , H01J40/18
Abstract: 在本发明所涉及的电子管(1)中,具有电绝缘层以及导电层的层叠结构或者电绝缘材料以及导电材料的混合结构的电子膜(31)是以通过使用原子层沉积法从而覆盖第2外壳层12的内壁面以及外壁面的整体形式被形成的。通过使用原子层沉积法从而无须含有如粘合剂那样的材料就能够将具有所希望的电阻值的牢固而且致密的电阻膜(31)形成于绝缘面上。然后,通过使电阻膜(31)具有一点点导电性从而就能够抑制发生由于绝缘面的带电等引起的耐压不良,并且能够实现耐电压特性的稳定化。
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