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公开(公告)号:CN104698755A
公开(公告)日:2015-06-10
申请号:CN201410211435.0
申请日:2014-05-19
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/0233
Abstract: 本发明公开了正性光敏树脂组合物、光敏树脂膜及使用其的显示装置。所述正性光敏树脂组合物包括:(A)包含由以下化学式1表示的重复单元的碱溶性树脂;(B)光敏重氮醌化合物;以及(C)溶剂,[化学式1]在以上化学式1中,各取代基与在具体实施方式中定义的相同。
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公开(公告)号:CN103959170A
公开(公告)日:2014-07-30
申请号:CN201280059402.8
申请日:2012-11-21
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: C07C39/14 , B05D1/005 , B05D3/007 , B05D3/0254 , B05D3/06 , C07C39/12 , C07C2603/50 , C07C2603/54 , C09D173/00 , G03F7/004 , G03F7/0752 , G03F7/094 , G03F7/11 , G03F7/30 , G03F7/36
Abstract: 本发明涉及一种由化学式1表示的用于硬掩模组合物的单体、包括该单体的硬掩模组合物、以及使用其的图案形成方法。
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公开(公告)号:CN103901727B
公开(公告)日:2017-06-09
申请号:CN201310239669.1
申请日:2013-06-17
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0233
Abstract: 本发明提供了一种正感光性树脂组合物、由其制造的有机绝缘膜和显示装置。所述正感光性树脂组合物包含:(A)选自包含由下列化学式1表示的重复单元的化合物和包含由下列化学式2表示的重复单元的化合物中的至少一种溶解控制剂,(B)聚苯并噁唑前体,(C)感光性重氮醌化合物,和(D)溶剂。[化学式1][化学式2]在化学式1和2中,各个取代基与具体实施方式中限定的相同。
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公开(公告)号:CN104570608A
公开(公告)日:2015-04-29
申请号:CN201410214041.0
申请日:2014-05-20
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/023 , C08G69/26 , C08G73/22 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/039
Abstract: 本发明公开了正型光敏树脂组合物、使用其制备的光敏树脂膜以及显示装置。所述正型光敏树脂组合物包含:(A)聚苯并噁唑前体,在端基处包括被约400nm至约550nm波长区的光分解并且酸化的官能团;(B)光敏重氮醌化合物;以及(C)溶剂。
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公开(公告)号:CN104122754A
公开(公告)日:2014-10-29
申请号:CN201310546101.4
申请日:2013-11-06
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/11 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/092
Abstract: 本发明公开了抗蚀剂下层组合物、图案形成方法以及包括该图案的半导体集成电路装置。该抗蚀剂下层组合物包括包含由以下化学式1表示的部分的化合物和溶剂。在上述化学式1中,A1、A2、B1、R1、R2与具体实施方式中所定义的相同。[化学式1]
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公开(公告)号:CN104024940A
公开(公告)日:2014-09-03
申请号:CN201280065648.6
申请日:2012-11-29
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/11 , G03F1/38 , G03F7/004 , G03F7/26 , H01L21/027
CPC classification number: C07C39/21 , C07C39/225 , C08G65/38 , G03F1/00 , G03F7/094 , G03F7/20 , H01L21/02118 , H01L21/02282 , H01L21/0332 , H01L21/31144
Abstract: 本发明涉及一种由式1表示的用于硬掩模组合物的单体、包含该单体的硬掩模组合物、以及使用该硬掩模组合物形成图案的方法。
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