传感器元件、力检测装置以及机器人

    公开(公告)号:CN103105250B

    公开(公告)日:2016-12-21

    申请号:CN201210443024.5

    申请日:2012-11-08

    CPC classification number: G01L5/167 B25J13/085 B25J19/028 G01L5/226

    Abstract: 本发明涉及传感器元件、力检测装置以及机器人。在设为α轴、与上述α轴正交的β轴以及与上述α轴与上述β轴正交的γ轴作为空间坐标轴情况下,传感器元件是将压电基板和电极在上述γ轴方向上层叠而形成的,传感器元件具备连接部,连接部被配置成上述电极的外沿部的一部分与上述压电基板的外沿部的一部分重叠,在上述γ轴方向上观察时上述连接部被配置成彼此不重叠,在上述压电基板的外周部的一部分形成有将上述连接部与外部连接部电连接的配线。通过本发明能够得到可缩小配线空间的小型的力检测装置。

    力检测装置、机械手、以及移动体

    公开(公告)号:CN103994845A

    公开(公告)日:2014-08-20

    申请号:CN201410053005.0

    申请日:2014-02-17

    Abstract: 本发明提供小型且降低了输出漂移的力检测装置、使用了该力检测装置的机械手以及移动体。力检测装置(1a)具备根据接受的外力来输出电荷Q的电荷输出元件(10a);具有第一开关元件(23)和第一电容器(22),且将电荷Q转换为电压V并输出上述电压的转换输出电路(20);具有第二开关元件(33)和第二电容器(32),并输出补偿用信号Voff的补偿用信号输出电路(30);以及基于从转换输出电路(20)输出的电压V和从补偿用信号输出电路(30)输出的补偿用信号Voff,来检测外力的外力检测电路(40a)。第二电容器(32)的静电容量比第一电容器(22)的静电容量小。

    传感器元件、力检测装置以及机器人

    公开(公告)号:CN103105250A

    公开(公告)日:2013-05-15

    申请号:CN201210443024.5

    申请日:2012-11-08

    CPC classification number: G01L5/167 B25J13/085 B25J19/028 G01L5/226

    Abstract: 本发明涉及传感器元件、力检测装置以及机器人。在设为α轴、与上述α轴正交的β轴以及与上述α轴与上述β轴正交的γ轴作为空间坐标轴情况下,传感器元件是将压电基板和电极在上述γ轴方向上层叠而形成的,传感器元件具备连接部,连接部被配置成上述电极的外沿部的一部分与上述压电基板的外沿部的一部分重叠,在上述γ轴方向上观察时上述连接部被配置成彼此不重叠,在上述压电基板的外周部的一部分形成有将上述连接部与外部连接部电连接的配线。通过本发明能够得到可缩小配线空间的小型的力检测装置。

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