公开(公告)号：CN1692417A

公开(公告)日：2005-11-02

申请号：CN200380100300.7

申请日：2003-11-20

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 甲斐慎一 ,  河内山彰 ,  荒谷胜久 ,  中川谦三 ,  竹本祯广

IPC: G11B7/26 ,  G03F7/20

CPC classification number: G11B7/261 ,  G11B7/1267

Abstract: 一种制作用于制造光盘的压模的方法包括：曝光步骤，用以与光盘上/中形成的信息凹出/凸入图案的信息信号对应的信息信号调制的记录激光束照射衬底(100)上形成的有机抗蚀层(101)，以形成与光盘上的信息凹出/凸入图案对应的曝光图案，和显影步骤，显影有机抗蚀层以形成与该有机抗蚀层的凹出/凸入图案对应的曝光图案。在曝光步骤中，将估计激光束施加到该有机抗蚀层上预定区域，利用该估计激光束的反射光来估计该有机抗蚀层的曝光图案的记录信号特性，并根据估计结果来控制该记录激光束的功率。从而将信息可靠地记录在目标光盘上。