公开(公告)号：CN101122678B

公开(公告)日：2011-02-02

申请号：CN200710141386.8

申请日：2007-08-09

Applicant: 船井电机株式会社

Inventor： 前田重雄 ,  田中克彦 ,  石井明 ,  杉山进

IPC: G02B26/08 ,  G11B7/135

CPC classification number: G02B26/0858 ,  G02B26/06

Abstract: 本发明提供一种可变形镜的制造方法，其适于大规模生产，所述方法包括：接合步骤，用于将支撑柱(5)和压电元件(4)夹在支撑基板(2)和镜基板(3)之间，并且至少分别将支撑基板与支撑柱、支撑基板与压电元件、镜基板与支撑柱相互接合；弹性膜形成步骤，用于在镜基板的外表面形成平坦的弹性膜(7)；以及反射膜形成步骤，用于在弹性膜上形成反射膜(6)。本发明的可变形镜的制造方法可以可靠地获得可变形镜，且适于大规模生产。

公开(公告)号：CN100589188C

公开(公告)日：2010-02-10

申请号：CN200610093810.1

申请日：2006-06-19

Applicant: 船井电机株式会社

Inventor： 长岛贤治 ,  藤井仁 ,  田中史记 ,  杉山进 ,  石井明 ,  田中克彦 ,  久濑亘

IPC: G11B7/00 ,  G11B7/135 ,  G02B5/10 ,  G02B26/00

CPC classification number: G02B26/0825 ,  G11B7/1362 ,  G11B7/13927

Abstract: 一种可变形镜，其设置有：支撑基部；镜子部，其设置为面对该支撑基部，并且在该镜子部的背对该支撑基部的一侧上具有受光照射的镜面；多个压电元件，所述压电元件夹在该支撑基部和该镜子部之间以便与该支撑基部和该镜子部两者接触，所述压电元件改变该镜面的形状且彼此独立地设置；以及多个固定部，所述固定部夹在该支撑基部和该镜子部之间，以便与该支撑基部和该镜子部两者接触，所述固定部将该镜子部固定至该支撑基部，所述固定部的设置数量与所述压电元件相同，并且所述固定部彼此独立地设置；这里，各压电元件设置为比彼此独立设置的各固定部更靠近该镜子部的中心，所述各压电元件与所述多个固定部中最靠近该压电元件设置的固定部配成对。

公开(公告)号：CN101122680A

公开(公告)日：2008-02-13

申请号：CN200710141392.3

申请日：2007-08-09

Applicant: 船井电机株式会社 ,  学校法人立命馆

Inventor： 田中史记 ,  田中克彦 ,  石井明 ,  杉山进

IPC: G02B26/08 ,  G11B7/135 ,  H01L41/08

CPC classification number: G11B7/13927 ,  G02B26/0825 ,  G11B7/1362

Abstract: 一种可变形镜，包括：支承基板；镜基板，其与所述支承基板相对，并具有处于与朝向所述支承基板的表面相对的表面上的反射面；固定构件，其设置于所述支承基板上，并且固定所述镜基板；和压电元件，其设置于所述支承基板上以使镜基板的反射面能够变形。将镜基板与固定构件相互接合的接合层设置于镜基板的与形成反射面的表面相对的表面上，而且接合层形成于与进入所述反射面的光束的入射区域的外面相对应的区域。

公开(公告)号：CN101122678A

公开(公告)日：2008-02-13

申请号：CN200710141386.8

申请日：2007-08-09

Applicant: 船井电机株式会社

Inventor： 前田重雄 ,  田中克彦 ,  石井明 ,  杉山进

IPC: G02B26/08 ,  G11B7/135 ,  H01L41/08

CPC classification number: G02B26/0858 ,  G02B26/06

Abstract: 本发明提供一种可变形镜的制造方法，其适于大规模生产，所述方法包括：接合步骤，用于将支撑柱(5)和压电元件(4)夹在支撑基板(2)和镜基板(3)之间，并且至少分别将支撑基板与支撑柱、支撑基板与压电元件、镜基板与支撑柱相互接合；弹性膜形成步骤，用于在镜基板的外表面形成平坦的弹性膜(7)；以及反射膜形成步骤，用于在弹性膜上形成反射膜(6)。本发明的可变形镜的制造方法可以可靠地获得可变形镜，且适于大规模生产。

公开(公告)号：CN101122677A

公开(公告)日：2008-02-13

申请号：CN200710141385.3

申请日：2007-08-09

Applicant: 船井电机株式会社

Inventor： 前田重雄 ,  田中克彦 ,  石井明 ,  杉山进

IPC: G02B26/08 ,  G11B7/135 ,  H01L41/08

CPC classification number: G02B26/0858 ,  G02B26/06 ,  Y10S359/90

Abstract: 一种适于大规模生产的可变形镜的制造方法，包括如下步骤：沿着将要成为可变形镜的区域间的边界、在作为支撑基板(2)的第一晶圆(20)和作为镜基板(3)的第二晶圆(30)的表面上形成第一沟槽和第二沟槽；设置第一与第二晶圆，使支撑柱(5)和压电元件(4)夹在第一晶圆与第二晶圆的上述区域之间，且形成所述第二沟槽的表面朝内，以使其接合；通过对第二晶圆外表面的平坦化处理直到至少抵达第二沟槽，将第二晶圆分割成镜基板；通过沿着第一沟槽折断第一晶圆，将第一晶圆分割成支撑基板；以及在分割步骤得到的每个镜基板的外表面形成反射膜(6)。根据本发明的可变形镜的制造方法，可以同时得到许多具有良好质量的可变形镜，且该方法足以适应大规模生产。