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公开(公告)号：CN101122679A
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200710141391.9
申请日：2007-08-09
CPC classification number: G02B26/0858 , G02B26/06
Abstract: 可变形镜包括支承基板，该支承基板设置有接合至层叠式压电致动器的导电接合部分，该导电接合部分被分成两个区域。所述压电致动器的接合表面设置有第一金属膜，该第一金属膜被分成彼此不电连接的第一区域和第二区域。所述压电致动器的侧面设置有第二金属膜，该第二金属层将第一公共电极和第一区域电连接，或将第二公共电极和第二区域电连接。所述压电致动器设置在接合部分上，以使得第一金属膜的各个区域分别电连接到接合部分的不同区域。
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公开(公告)号：CN101122682A
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200710141394.2
申请日：2007-08-09
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G02B26/0858 , G02B26/06
Abstract: 一种可变形镜，包括支承基板；镜基板，其与该支承基板相对；固定构件，其设置在该支承基板上且固定该镜基板；以及压电元件，其设置在该支承基板上，并且可膨胀或收缩，以使得该镜基板的反射面能变形。该固定构件的线膨胀系数大于该压电元件的线膨胀系数。该镜基板的后表面设置有金属接合层，该金属接合层至少设置在要接合到该固定构件上的部分。该金属接合层通过加热时按压该镜基板和该固定构件而使得该镜基板和该固定构件相互接合。该镜基板和该压电元件相互不接合。
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公开(公告)号：CN101122681A
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200710141393.8
申请日：2007-08-09
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G11B7/13927 , G02B26/0825 , G11B7/1362
Abstract: 本发明提供一种适合于大批量生产的可变形镜的制造方法，该方法包括如下步骤：在该支撑基板(2)上叠置具有类似梳齿状的凸条部分(41b，42b)的一对夹具(41，42)，使得所述凸条部分彼此正交；并且将所述支撑柱(5)和压电元件(4)插入至由所述凸条部分(43)之间的间隙所形成的通孔部分；以及将所述镜基板(3)放置在所述支撑柱和所述压电元件上；分别将所述支撑基板与所述支撑柱、所述支撑基板与所述压电元件以及所述镜基板与所述支撑柱彼此接合；在与该凸条部分的凸出方向相反的方向上抽出所述夹具；以及在反射镜基板的外表面上形成反射膜。
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公开(公告)号：CN1920973A
公开(公告)日：2007-02-28
申请号：CN200610121376.3
申请日：2006-08-21
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G11B7/13925 , G02B26/0858 , G11B7/1362
Abstract: 一种光学拾取装置具有：反射从光源发出的光束可变形镜，其通过利用夹在支撑基部和镜子部之间的多个压电元件使镜子部的镜面变形以矫正光束中的波前像差；用于在聚光的同时将从可变形镜反射的光束导向至光记录介质的记录面的会聚装置；与光束的行进方向垂直的方向为镜面的X方向，与X方向垂直的方向为镜面的Y方向，镜面相对于X方向倾斜，镜面相对于光束的行进方向形成预定角度；多个压电元件相对于镜面的中心轴线对称设置，两个压电元件沿X方向设置，另外两个压电元件沿Y方向设置；以及多个压电元件设置在支撑基部上，以使当以相等的电压驱动所有压电元件时，镜面沿X方向的曲率相对于镜面沿Y方向的曲率满足预定的曲率比例。
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公开(公告)号：CN1885089A
公开(公告)日：2006-12-27
申请号：CN200610093811.6
申请日：2006-06-19
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G02B26/0825 , Y10S359/90
Abstract: 一种可变形镜，其中设置有：支撑基部；镜子部，其设置为面对该支撑基部，并且在该镜子部的背对该支撑基部的一侧上具有受光束照射的镜面；以及压电元件，所述压电元件夹在该支撑基部和该镜子部之间，并且改变该镜面的形状，其中，通过施加热和压力使所述压电元件通过金属薄层结合至该支撑基部和该镜子部中的至少其中之一。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1854799A
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN200610075241.8
申请日：2006-04-18
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G02B7/1822 , G02B26/0825
Abstract: 一种可以改变其镜面形状的可变形镜，镜子部仅与固定部结合而不与压电元件结合。当压电元件不工作的时候，镜子部受到来自压电元件的预定力而与压电元件相接触。当压电元件收缩的时候，镜子部依靠其反作用力而趋于恢复其初始形状。因此，即使压电元件收缩，也可以保持镜子部和压电元件之间的接触，从而保持与压电元件的导电。
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公开(公告)号：CN1854798A
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN200610075240.3
申请日：2006-04-18
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G02B26/0825 , G02B7/1822
Abstract: 一种可以改变其镜面形状的可变形镜(1)，其中，四个压电元件(4)夹在支撑基部(2)和镜子部(3)之间，并且沿十字形方向对称地设置。压电元件(4)与镜子部(3)结合，既用来通过驱动改变镜子部(3)的形状，又用来将镜子部(3)与支撑基部(2)固定。在各压电元件(4)的内侧设置有支撑部(5)。根据这种结构，压电元件(4)被驱动时产生的小的移动可以转变为镜子部(3)的大的移动。
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公开(公告)号：CN101122677B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200710141385.3
申请日：2007-08-09
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G02B26/0858 , G02B26/06 , Y10S359/90
Abstract: 一种适于大规模生产的可变形镜的制造方法，包括如下步骤：沿着将要成为可变形镜的区域间的边界、在作为支撑基板(2)的第一晶圆(20)和作为镜基板(3)的第二晶圆(30)的表面上形成第一沟槽和第二沟槽；设置第一与第二晶圆，使支撑柱(5)和压电元件(4)夹在第一晶圆与第二晶圆的上述区域之间，且形成所述第二沟槽的表面朝内，以使其接合；通过对第二晶圆外表面的平坦化处理直到至少抵达第二沟槽，将第二晶圆分割成镜基板；通过沿着第一沟槽折断第一晶圆，将第一晶圆分割成支撑基板；以及在分割步骤得到的每个镜基板的外表面形成反射膜(6)。根据本发明的可变形镜的制造方法，可以同时得到许多具有良好质量的可变形镜，且该方法足以适应大规模生产。
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公开(公告)号：CN1920612A
公开(公告)日：2007-02-28
申请号：CN200610121382.9
申请日：2006-08-21
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G02B26/0825 , G11B7/1362 , G11B7/13927
Abstract: 本发明涉及一种可变形镜，该可变形镜具有：支撑基部；镜子部，其面向该支撑基部，并且该镜子部的、与面向该支撑基部的一侧相对的一侧上具有镜面；多个固定部，所述多个固定部将该镜子部固定至该支撑基部；以及多个驱动部，所述多个驱动部通过在该支撑基部和该镜子部之间膨胀和收缩而使该镜面变形。在该支撑基部上形成有多个凸起，所述多个凸起用作结合于所述多个固定部的多个结合面；结合于所述多个驱动部的多个电极，以向所述多个驱动部供电；以及电连接于所述多个电极的多个导体。
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公开(公告)号：CN1885412A
公开(公告)日：2006-12-27
申请号：CN200610093810.1
申请日：2006-06-19
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G02B26/0825 , G11B7/1362 , G11B7/13927
Abstract: 一种可变形镜，其设置有：支撑基部；镜子部，其设置为面对该支撑基部，并且在该镜子部的背对该支撑基部的一侧上具有受光照射的镜面；多个固定部，所述固定部将该镜子部固定至该支撑基部；以及多个压电元件，所述压电元件夹在该支撑基部和该镜子部之间，并且改变该镜面的形状，这里，所述压电元件设置为比所述固定部更靠近该镜子部的中心。
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