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公开(公告)号：CN104362890B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201410719608.X
申请日：2014-12-01
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种实现双向运动的惯性粘滑式跨尺度精密运动平台，所述平台包括底板、位于底板上的支撑模块、对称安装于支撑模块两侧的两个运动模块，每个所述运动模块包括配重块、压电陶瓷致动器及主质量块，所述压电陶瓷致动器包括正极和负极，压电陶瓷致动器正极和负极用于与驱动信号相连，所述驱动信号为线性电压和非线性电压的组合，其中非线性电压的变化率逐渐增大。本发明的惯性粘滑式跨尺度精密运动平台结构简单、能够实现快速大行程的精密定位、容易实现多自由度驱动、并且不需要专门的位置保持装置。
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公开(公告)号：CN104505127B
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201410784696.1
申请日：2014-12-16
Applicant: 苏州大学
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明公开了一种Z轴正向放大一维精密定位平台，其包括：基座、放大机构、运动平台、压电陶瓷、预紧机构；放大机构包括：柔性臂、第一连接部、第二连接部以及两端的固定部；运动平台一侧与所述第一连接部相抵靠，另一侧形成平台承载面；压电陶瓷设置于第一连接部和第二连接部之间，压电陶瓷一端与预紧机构相抵靠，另一端与固定部向抵靠；预紧机构设置于一端的固定部中，预紧机构包括预紧螺母和钢珠，钢珠与压电陶瓷相抵靠，预紧螺母通过钢珠为压电陶瓷提供预紧力。本发明的Z轴正向放大一维精密定位平台具有行程范围大、高精度、结构简单、体积小、刚度大、灵敏度高、极高分辨率、纳米级、适宜作微动平台等优点。
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公开(公告)号：CN104362890A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201410719608.X
申请日：2014-12-01
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种实现双向运动的惯性粘滑式跨尺度精密运动平台，所述平台包括底板、位于底板上的支撑模块、对称安装于支撑模块两侧的两个运动模块，每个所述运动模块包括配重块、压电陶瓷致动器及主质量块，所述压电陶瓷致动器包括正极和负极，压电陶瓷致动器正极和负极用于与驱动信号相连，所述驱动信号为线性电压和非线性电压的组合，其中非线性电压的变化率逐渐增大。本发明的惯性粘滑式跨尺度精密运动平台结构简单、能够实现快速大行程的精密定位、容易实现多自由度驱动、并且不需要专门的位置保持装置。
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公开(公告)号：CN105225910A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201510621517.7
申请日：2015-09-25
Applicant: 苏州大学张家港工业技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于扫描电子显微镜的微操作系统，应用于扫描电子显微镜设备，该基于扫描电子显微镜的微操作系统包括基座、设置在基座上的若干三轴直线运动平台和五轴宏动平台、设置在五轴宏动平台上的样品操作台和对应每个三轴直线运动平台设置的碳纳米操作手，碳纳米操作手设置在三轴直线运动平台上，若干三轴直线运动平台沿样品操作台的周向设置在样品操作台的四周，该基于扫描电子显微镜的微操作系统通过在基座上设置若干三轴直线运动平台和五轴宏动平台，且将若干三轴直线运动平台沿样品操作台的周向设置在样品操作台的四周，从而实现对样件进行多轴联动，解决了现有技术中只能单一的对样件进行观察的问题。
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公开(公告)号：CN104467526A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410719489.8
申请日：2014-12-01
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明提供一种实现单向运动的惯性粘滑式跨尺度运动平台，以配重块、压电陶瓷致动器及主质量块间互相结合，当在压电陶瓷致动器正负极间施加正向或反向电压时，其在长度方向作微小的伸长或缩短并带动配重块及主质量块运动，从而实现毫米级行程、纳米级定位精度。相比其它运动平台，其具有结构简单、能够实现快速大行程的精密定位和容易实现多自由度驱动的优点，并且不需要专门的位置保持装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103507063A
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201310465587.9
申请日：2013-10-08
Applicant: 苏州大学
IPC: B25J9/00
Abstract: 本发明公开了一种基于压电陶瓷驱动的6-SPS型微动并联机器人，包括平行设置的工作台和底座、设置于工作台下方的工作台底盖、设置于底座上方的底座盖、以及设置于工作台底盖和底座盖上的六个并联设置的支链，工作台底盖和底座盖内分别固定设有六个斜块，支链包括压电陶瓷联动杆和分别设于压电陶瓷联动杆上下两端的上部柔性铰链和下部柔性铰链，六个压电陶瓷联动杆上分别电性连接有压电陶瓷位移驱动器。本发明集精密机械、驱动和测量反馈技术于一体，实现了机构、驱动、检测一体化的设计，具有体积小、结构紧凑、刚度大、频响高等优点，并可实现纳米级的定位精度。
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公开(公告)号：CN104766634A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201510118869.0
申请日：2015-03-18
Applicant: 苏州大学
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明公开了一种压电式二维串联小体积工作台，其包括：平台底座、连接块、第一平行四边形放大机构、第二平行四边形放大机构、运动块；第一平行四边形放大机构位于平台底座上，第二平行四边形放大机构与第一平行四边形放大机构通过连接块相串联，且第二平行四边形放大机构与第一平行四边形放大机构正交垂直设置，第二平行四边形放大机构同时与运动块相连接；第一平行四边形放大机构和第二平行四边形放大机构中的任一个包括：平行四边形放大机构本体、预紧顶丝、压电陶瓷致动器、钨钢片、钢制滚珠、封堵。本发明的压电式二维串联小体积工作台避免了在运动过程中产生的耦合误差，并采用平行四边形放大机构实现了在结构更紧凑的前提下输出更大位移。
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公开(公告)号：CN104505127A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201410784696.1
申请日：2014-12-16
Applicant: 苏州大学
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明公开了一种Z轴正向放大一维精密定位平台，其包括：基座、放大机构、运动平台、压电陶瓷、预紧机构；放大机构包括：柔性臂、第一连接部、第二连接部以及两端的固定部；运动平台一侧与所述第一连接部相抵靠，另一侧形成平台承载面；压电陶瓷设置于第一连接部和第二连接部之间，压电陶瓷一端与预紧机构相抵靠，另一端与固定部向抵靠；预紧机构设置于一端的固定部中，预紧机构包括预紧螺母和钢珠，钢珠与压电陶瓷相抵靠，预紧螺母通过钢珠为压电陶瓷提供预紧力。本发明的Z轴正向放大一维精密定位平台具有行程范围大、高精度、结构简单、体积小、刚度大、灵敏度高、极高分辨率、纳米级、适宜作微动平台等优点。
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公开(公告)号：CN104467525A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410719389.5
申请日：2014-12-01
Applicant: 苏州大学
IPC: H02N2/02
Abstract: 本发明公开了一种可调预紧力式惯性粘滑驱动跨尺度精密定位平台，平台包括外壳、与外壳固定安装的椭圆放大机构、位于椭圆放大机构上方的钳位机构、位于钳位机构上方的驱动机构、以及导向机构，导向机构为交叉滚柱导轨，驱动机构为驱动压电陶瓷，钳位机构包括与驱动机构粘接的钳位块和位于钳位块下方的钳位导轨，椭圆放大机构包括与钳位导轨相连的椭圆框架及位于椭圆框架内的钳位压电陶瓷，驱动压电陶瓷两端输入有用于控制钳位块左右运动的第一电压信号，钳位压电陶瓷两端输入有用于控制钳位导轨上下运动的第二电压信号。本发明集导向、钳位、驱动于一体，系统集成度高、体积小，适用于对尺寸有要求的高精密定位场合。
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公开(公告)号：CN103878766A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201410136207.1
申请日：2014-04-04
Applicant: 苏州大学
IPC: B25J9/00
Abstract: 本发明公开了一种3-PRS型微动并联机器人，其包括：工作台、与工作台相对设置的底座，工作台与底座之间设置有三根PRS支链，任一PRS支链包括：上斜块、上部柔性铰链、压电陶瓷驱动器、下部柔性铰链、调整垫片、下斜块；上斜块和下斜块通过圆柱销进行定位，下斜块中还设置有用于顶紧所述下部柔性铰链的平面紧定螺钉，上部柔性铰链为球面副柔性铰链，下部柔性铰链为转动副柔性铰链。本发明的3-PRS型微动并联机器人依靠压电陶瓷直接驱动的，并通过柔性铰链进行传动，实现了三个自由度的运动。且只含有三个压电陶瓷致动器，其集精密机械、驱动和测量反馈技术于一体，实现了机构、驱动、检测一体化的设计。
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