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11.

发明公开
供气单元和供气装置失效

公开(公告)号：CN101936409A

公开(公告)日：2011-01-05

申请号：CN201010216247.9

申请日：2010-06-28

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 井上贵史 , 加藤启介 , 西田成伸 , 三轮敏一

IPC: F16K11/22 , H01L21/02

Abstract: 提供能够缩小设有多个开闭阀的块的宽度且易于制造的供气单元。供气单元(11)的流路块(20)形成为呈长条状延伸的长方体形状，顶面(20a)搭载有多个呈直列式配置的开闭阀(50)。各开闭阀的各阀室(24)设于流路块的顶面。处理气体流路(22)与阀室(24)的大致中央连通并向背离流路块的顶面的方向延伸且于底面开口。载气流路(21)连接相邻的开闭阀的阀室，且包括侧面流路(25)，该侧面流路(25)沿流路块的长度方向交替地设于流路块的两侧面(20c)的一个侧面(20c)与另一个侧面(20c)上。侧面流路(25)由沿流路块的长度方向延伸的槽部和覆盖槽部的槽开口的盖部件构成。

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