公开(公告)号：CN101937834A

公开(公告)日：2011-01-05

申请号：CN201010211499.2

申请日：2010-06-23

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 加藤启介 ,  西田成伸 ,  三轮敏一 ,  井上贵史

IPC: H01L21/00

Abstract: 本发明提供一种能够使载气(吹扫气体)顺利通过且能够缩小设置有多个开闭阀的块的宽度的供气单元。在供气单元中，阀室(24)沿流路块(20)的长度方向以预定的间隔设于流路块(20)的顶面(20a)，连接流路(26)与阀室(24)的大致中央连接并向背离顶面(20a)的方向延伸。载气流路(21)形成为比连接流路(26)粗，且沿流路块(20)的长度方向直线状延伸，并且设置于偏离虚拟平面F的部分处，其中，虚拟平面在宽度方向上将流路块(20)二等分。处理气体流路(22)在与顶面(20a)相反侧的底面(20b)开口，且在流路块(20)中通过从虚拟平面F偏向与载气流路(21)相反一侧的部分后与阀室(24)连接。

公开(公告)号：CN101936409A

公开(公告)日：2011-01-05

申请号：CN201010216247.9

申请日：2010-06-28

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 井上贵史 ,  加藤启介 ,  西田成伸 ,  三轮敏一

IPC: F16K11/22 ,  H01L21/02

Abstract: 提供能够缩小设有多个开闭阀的块的宽度且易于制造的供气单元。供气单元(11)的流路块(20)形成为呈长条状延伸的长方体形状，顶面(20a)搭载有多个呈直列式配置的开闭阀(50)。各开闭阀的各阀室(24)设于流路块的顶面。处理气体流路(22)与阀室(24)的大致中央连通并向背离流路块的顶面的方向延伸且于底面开口。载气流路(21)连接相邻的开闭阀的阀室，且包括侧面流路(25)，该侧面流路(25)沿流路块的长度方向交替地设于流路块的两侧面(20c)的一个侧面(20c)与另一个侧面(20c)上。侧面流路(25)由沿流路块的长度方向延伸的槽部和覆盖槽部的槽开口的盖部件构成。

公开(公告)号：CN101936409B

公开(公告)日：2014-05-28

申请号：CN201010216247.9

申请日：2010-06-28

Applicant: CKD株式会社

Inventor： 井上贵史 ,  加藤启介 ,  西田成伸 ,  三轮敏一

IPC: F16K11/22 ,  H01L21/02

Abstract: 提供能够缩小设有多个开闭阀的块的宽度且易于制造的供气单元。供气单元(11)的流路块(20)形成为呈长条状延伸的长方体形状，顶面(20a)搭载有多个呈直列式配置的开闭阀(50)。各开闭阀的各阀室(24)设于流路块的顶面。处理气体流路(22)与阀室(24)的大致中央连通并向背离流路块的顶面的方向延伸且于底面开口。载气流路(21)连接相邻的开闭阀的阀室，且包括侧面流路(25)，该侧面流路(25)沿流路块的长度方向交替地设于流路块的两侧面(20c)的一个侧面(20c)与另一个侧面(20c)上。侧面流路(25)由沿流路块的长度方向延伸的槽部和覆盖槽部的槽开口的盖部件构成。