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公开(公告)号：CN104699128A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201410737793.5
申请日：2014-12-04
Applicant: CKD株式会社
IPC: G05D7/00
Abstract: 本发明的目的在于保持良好的可维护性，并且使装置进一步小型化或集成化。本发明的流体供给控制装置具有流路块和多个模块。多个模块包括至少一个相对于流路块能够拆装的拆装模块，沿预定的排列方向呈大体直线状地配置。在流路块中形成有连接流路和一对内螺纹部。一对内螺纹部被设置为能够以任意拆装的方式安装拆装模块。连接流路被设置为连接不同的模块之间。沿在流路块中的流体的流通方向，也就是沿排列方向呈大体直线状地配置连接流路和内螺纹部。
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公开(公告)号：CN104696299B
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201410730207.4
申请日：2014-12-04
Applicant: CKD株式会社
IPC: F15B13/02 , F16K1/00 , F16K31/122
Abstract: 本发明的目的是将装置结构良好地小型化或集成化。本发明的配管接头中设置有主体部、第一开口部、第二开口部以及一对螺丝插入孔。主体部是大体长方体状的部件，并具有接合面(以高度方向作为法线并与安装对象接合的平面)。第一开口部在接合面开口。第二开口部在主体部的长度方向上的一侧端部开口。一对螺丝插入孔在第一开口部的两侧，被设置在主体部的长度方向上的一侧端部侧和另一侧端部侧。从第一开口部穿过第二开口部的流体通路被设置为绕过螺丝插入孔。
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公开(公告)号：CN104696569A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201410730209.3
申请日：2014-12-04
Applicant: CKD株式会社
IPC: F16K27/00
CPC classification number: F16K27/00 , F16K31/1225 , H01L21/02
Abstract: 本发明的目的是保持装置良好的可维护性并且使这种装置更加小型化或集成化。流路块的结构为，在内部形成有流体的流路，在排列方向上排列多个流体控制器件并能够进行安装。此外，流路块的结构为，将在排列方向上排列的多个流体控制器件的组在宽度方向上排列并能够进行安装。作为上述流路的第一流路沿排列方向设置以使得构成上述组的多个流体控制器件互相连接。作为上述流路的第二流路沿宽度方向设置，以使得各个上述组相互连接。本发明的特征在于，流路块具有连接部。在将两个流路块在所述宽度方向上并列地相邻配置的状态下，该连接部能够将两个所述流路块的第二流路互相连接。
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公开(公告)号：CN101937833B
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201010211469.1
申请日：2010-06-23
Applicant: CKD株式会社
IPC: H01L21/00
Abstract: 本发明提供一种包括加热器的供气装置，能实现其小型化及高度集成化，所述加热器对流通于流路内的气体加热。供气装置(10)中，各流路块(20)形成为长条状延伸的长方体状并包括搭载有多个开闭阀(50)的顶面(20a)。开闭阀(50)沿顶面(20a)的长度方向直列式排列。多个流路块(20)并行排列使得在宽度方向夹持顶面(20a)的两侧面(20c)彼此相邻。在多个流路块(20)的相邻侧面(20c)夹持加热器(31)的状态下，多个流路块(20)形成为一体。加热器(31)形成为膜状，其两面与流路块(20)的侧面(20c)相向且沿着流路块(20)的长度方向延伸。
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公开(公告)号：CN101937834A
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN201010211499.2
申请日：2010-06-23
Applicant: CKD株式会社
IPC: H01L21/00
Abstract: 本发明提供一种能够使载气(吹扫气体)顺利通过且能够缩小设置有多个开闭阀的块的宽度的供气单元。在供气单元中，阀室(24)沿流路块(20)的长度方向以预定的间隔设于流路块(20)的顶面(20a)，连接流路(26)与阀室(24)的大致中央连接并向背离顶面(20a)的方向延伸。载气流路(21)形成为比连接流路(26)粗，且沿流路块(20)的长度方向直线状延伸，并且设置于偏离虚拟平面F的部分处，其中，虚拟平面在宽度方向上将流路块(20)二等分。处理气体流路(22)在与顶面(20a)相反侧的底面(20b)开口，且在流路块(20)中通过从虚拟平面F偏向与载气流路(21)相反一侧的部分后与阀室(24)连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101936409A
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN201010216247.9
申请日：2010-06-28
Applicant: CKD株式会社
Abstract: 提供能够缩小设有多个开闭阀的块的宽度且易于制造的供气单元。供气单元(11)的流路块(20)形成为呈长条状延伸的长方体形状，顶面(20a)搭载有多个呈直列式配置的开闭阀(50)。各开闭阀的各阀室(24)设于流路块的顶面。处理气体流路(22)与阀室(24)的大致中央连通并向背离流路块的顶面的方向延伸且于底面开口。载气流路(21)连接相邻的开闭阀的阀室，且包括侧面流路(25)，该侧面流路(25)沿流路块的长度方向交替地设于流路块的两侧面(20c)的一个侧面(20c)与另一个侧面(20c)上。侧面流路(25)由沿流路块的长度方向延伸的槽部和覆盖槽部的槽开口的盖部件构成。
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公开(公告)号：CN104699128B
公开(公告)日：2020-03-03
申请号：CN201410737793.5
申请日：2014-12-04
Applicant: CKD株式会社
IPC: G05D7/00
Abstract: 本发明的目的在于保持良好的可维护性，并且使装置进一步小型化或集成化。本发明的流体供给控制装置具有流路块和多个模块。多个模块包括至少一个相对于流路块能够拆装的拆装模块，沿预定的排列方向呈大体直线状地配置。在流路块中形成有连接流路和一对内螺纹部。一对内螺纹部被设置为能够以任意拆装的方式安装拆装模块。连接流路被设置为连接不同的模块之间。沿在流路块中的流体的流通方向，也就是沿排列方向呈大体直线状地配置连接流路和内螺纹部。
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公开(公告)号：CN104696299A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201410730207.4
申请日：2014-12-04
Applicant: CKD株式会社
IPC: F15B13/02 , F16K1/00 , F16K31/122
CPC classification number: F16K27/00 , F16K31/1225 , H01L21/02
Abstract: 本发明的目的是将装置结构良好地小型化或集成化。本发明的配管接头中设置有主体部、第一开口部、第二开口部以及一对螺丝插入孔。主体部是大体长方体状的部件，并具有接合面(以高度方向作为法线并与安装对象接合的平面)。第一开口部在接合面开口。第二开口部在主体部的长度方向上的一侧端部开口。一对螺丝插入孔在第一开口部的两侧，被设置在主体部的长度方向上的一侧端部侧和另一侧端部侧。从第一开口部穿过第二开口部的流体通路被设置为绕过螺丝插入孔。
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公开(公告)号：CN101937833A
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN201010211469.1
申请日：2010-06-23
Applicant: CKD株式会社
IPC: H01L21/00
Abstract: 本发明提供一种包括加热器的供气装置，能实现其小型化及高度集成化，所述加热器对流通于流路内的气体加热。供气装置(10)中，各流路块(20)形成为长条状延伸的长方体状并包括搭载有多个开闭阀(50)的顶面(20a)。开闭阀(50)沿顶面(20a)的长度方向直列式排列。多个流路块(20)并行排列使得在宽度方向夹持顶面(20a)的两侧面(20c)彼此相邻。在多个流路块(20)的相邻侧面(20c)夹持加热器(31)的状态下，多个流路块(20)形成为一体。加热器(31)形成为膜状，其两面与流路块(20)的侧面(20c)相向且沿着流路块(20)的长度方向延伸。
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公开(公告)号：CN118215799A
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202280070153.6
申请日：2022-10-20
Applicant: CKD株式会社
IPC: F16J3/02 , F04B43/02 , H01L21/027
Abstract: 一种隔膜(30)，其应用于药液控制装置且由工作气体给予加压，所述药液控制装置控制半导体制造工序中使用的药液的流通，其中所述隔膜(30)具备膜部(31)及透过抑制层(42)，所述膜部(31)由对药液具有耐性的氟树脂形成，所述透过抑制层(42)设置于膜部的由工作气体给予加压的一侧的面(31b)并且与膜部相比难以使工作气体透过。
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