磁盘用玻璃基板的制造方法

    公开(公告)号:CN104508741A

    公开(公告)日:2015-04-08

    申请号:CN201380038855.7

    申请日:2013-08-28

    CPC classification number: G11B5/8404

    Abstract: 本发明提供一种磁盘用玻璃基板的制造方法,其中,在使用含有包含氧化锆的研磨剂的研磨液对主表面进行研磨时,难以使异物残留于玻璃基板上。所述磁盘用玻璃基板的制造方法包括以下工序:研磨工序,利用研磨液对玻璃基板的表面的至少一部分进行研磨,该研磨液包含以氧化锆为主要成分的磨粒作为研磨剂;清洗工序,对上述研磨工序后的玻璃基板进行清洗;在上述以氧化锆为主要成分的磨粒的表面的一部分形成有作为氧化锆以外的物质的非氧化锆物质,在上述清洗工序中,使上述玻璃基板的经研磨的表面与可溶解上述非氧化锆物质的清洗液接触。

    磁盘用玻璃基板的制造方法

    公开(公告)号:CN104137181A

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201380009608.4

    申请日:2013-02-28

    Abstract: 本发明提供磁盘用玻璃基板的制造方法,在使用氧化锆磨粒作为游离磨粒的研磨磨粒进行研磨来制造磁盘用玻璃基板时,难以引起磁头划碰故障、热粗糙故障等不良情况。该制造方法具有如下研磨工序:将至少具有一对主表面和构成内孔及外形的2个侧壁面的面包圈型的玻璃基板保持在载具中,在该状态下用安设于研磨定盘的研磨垫夹住上述一对主表面,向上述一对主表面供给研磨液,同时利用上述载具的行星齿轮运动来研磨上述玻璃基板,该制造方法的特征在于,上述研磨液含有利用湿式法制造的氧化锆颗粒作为研磨磨粒。

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