表面性状测量仪
    11.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102749058B

    公开(公告)日:2016-04-20

    申请号:CN201210117021.2

    申请日:2012-04-19

    Inventor: 中山树 土井太

    CPC classification number: G01B5/0016 G01B3/008 G01B5/016 G01B5/28

    Abstract: 本发明提供一种表面性状测量仪。在该表面性状测量仪中,测量臂(24)包括:第1测量臂(24A),其在壳体(28)内以旋转轴(23)为支点能够进行圆弧运动地支承在托架(22)上;以及第2测量臂(24B),其借助装卸机构(25)以能够装卸的方式设置在该第1测量臂的顶端,在第2测量臂(24B)的顶端具有测针(26A、26B);装卸机构配置在壳体内。用于检测测量臂的圆弧运动量的位移检测器(27)包括:标尺(27A),其配置在测量臂上;以及检测头,其以与标尺相对的方式配置在托架(22)上;标尺的检测面配置在测量臂的轴线上并且配置在测量臂的圆弧运动面上。

    坐标测量机
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108072341A

    公开(公告)日:2018-05-25

    申请号:CN201711113877.1

    申请日:2017-11-13

    Inventor: 竹迫康次

    Abstract: 在坐标测量机中,为了能够在确保适当的精度水平的同时以简单的构造降低成本,坐标测量机(100)包括:探针(102),其被构造成检测工件;以及移动机构(110),其被构造成支撑探针(102)并能够使探针(102)沿相互正交的X方向、Y方向和Z方向移动。移动机构(110)包括:Z轴驱动部(141)和被构造成能够使Z轴驱动部(141)相对于Z方向移动的主轴(162)。Z轴驱动部(141)包括:转动驱动机构(142),其包括转动驱动源(148)和驱动带轮(150),转动驱动源(148)向驱动带轮(150)提供转动;和开口带(164),开口带(164)的在Z轴驱动部(141)的相对移动方向上的两端被固定到主轴(162),并且开口带(164)被构造成与驱动带轮(150)的输出轴(154)接合。

    测量探头
    20.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106197354B

    公开(公告)日:2017-10-03

    申请号:CN201510382742.X

    申请日:2015-07-02

    Abstract: 本发明涉及一种测量探头(300),其包括:触针(306),其具有用于接触被测物体(W)的接触部(348);轴运动机构(310),其具备移动构件(312),该移动构件(312)使接触部(348)能够沿轴向(O)移动;以及旋转运动机构(334),其具备旋转构件(RP),该旋转构件通过旋转运动而使接触部能够沿着与轴向成直角的面移动,其中,该测量探头(300)包括:主体外壳(308),其用于支承轴运动机构(310);模块外壳(330),其用于支承旋转运动机构(334);以及位移检测器(328),其被支承于主体外壳(308),并用于检测移动构件(312)的位移。由此,能够保持低成本并且确保高测量精度。

Patent Agency Ranking