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公开(公告)号:CN106197206B
公开(公告)日:2017-06-16
申请号:CN201510382532.0
申请日:2015-07-02
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B3/008 , G01B5/0016 , G01B5/012 , G01B5/20 , G01B11/007
Abstract: 本发明涉及一种测量探头(300),其包括:触针(306),其具有用于接触被测物体的接触部;轴运动机构(310),其具备使接触部能够沿轴向移动的移动构件;以及旋转运动机构(334),其具备旋转构件,该旋转构件利用旋转运动而使接触部能够沿着与轴向成直角的面移动,其中,该测量探头包括:探头主体(302),其用于内置轴运动机构;以及探头模块(304),其被支承于探头主体,并用于内置旋转运动机构,并支承触针,探头主体和探头模块利用能够互相进行定位的一对辊(312F)和球(332B)以能够装卸的方式连结起来。由此,在使低成本化成为可能的同时能够实现与触针对应的相应的检测灵敏度和恢复力。
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公开(公告)号:CN104976980B
公开(公告)日:2018-08-07
申请号:CN201510154456.8
申请日:2015-04-02
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
Abstract: 种形状测量机,其包括杆、臂、检测部、转动支点部和测量力调整部。与工件接触的测量触头设置于所述杆。所述臂的端部与所述杆接合。所述转动支点部用作所述杆和所述臂的转动运动的支点。所述检测部检测所述臂的转动运动的位移量。所述转动支点部的十字弹簧根据所述转动运动的位移量赋予所述杆和所述臂绕所述转动运动的轴的扭矩。测量力调整部赋予所述杆和所述臂沿所述十字弹簧产生的扭矩的相反方向的扭矩,该扭矩是由彼此相对配置的至少两个磁性构件之间的磁力产生的引力所产生的。
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公开(公告)号:CN106197353A
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201510382391.2
申请日:2015-07-02
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G01B11/007 , G01B5/012
Abstract: 本发明涉及一种测量探头。测量探头(300)包括测针(306)、轴运动机构(310)以及旋转运动机构(334),其中,轴运动机构(310)具备能够使移动构件(312)位移的一对第1隔膜结构体(314、315),而且旋转运动机构(334)具备能够使旋转构件(336)位移的第2隔膜结构体(340),在轴向(O)上的、一对第1隔膜结构体(314、315)之间配置有第2隔膜结构体(340),第1隔膜结构体(314、315)分别相对于第2隔膜结构体(340)配置在彼此对称的距离。由此,能够实现轴向长度的缩短和轻量化,而且能够减小形状误差提升测量精度。
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公开(公告)号:CN102168941B
公开(公告)日:2015-03-11
申请号:CN201110009085.6
申请日:2011-01-06
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供能够减轻杠杆式检测器的更换多种测针的操作的负担、且能够自动更换多种测针的杠杆式检测器、测针和测针自动更换装置。在为了将测针(31)安装在测针保持体上而使测针主体(33)的长度方向与相对于保持体的轴体(36)的中心轴线正交的方向一致、且使设置在测针主体(33)上的落位板体(34)沿与轴体(36)的中心轴线正交的方向移动的情况下,大致为U字形的缺口部(34E)将轴体(36)引导至位于该落位板体(34)的测针(31)整体的重心(重心轴线N)处,该缺口部(34E)形成于该落位板体(34)。在利用缺口部(34E)将轴体(36)引导至上述重心处的状态下,板状摆动体(37)能装卸地保持落位板体(34)。
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公开(公告)号:CN106197354A
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201510382742.X
申请日:2015-07-02
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B5/0016 , G01B5/012 , G01B11/007 , G01B11/14
Abstract: 本发明涉及一种测量探头(300),其包括:触针(306),其具有用于接触被测物体(W)的接触部(312),该移动构件(312)使接触部(348)能够沿轴向(O)移动;以及旋转运动机构(334),其具备旋转构件(RP),该旋转构件通过旋转运动而使接触部能够沿着与轴向成直角的面移动,其中,该测量探头(300)包括:主体外壳(308),其用于支承轴运动机构(310);模块外壳(330),其用于支承旋转运动机构(334);以及位移检测器(328),其被支承于主体外壳(308),并用于检测移动构件(312)的位移。由此,能够保持低成本并且确保高测量精度。(348);轴运动机构(310),其具备移动构件
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公开(公告)号:CN104976980A
公开(公告)日:2015-10-14
申请号:CN201510154456.8
申请日:2015-04-02
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
Abstract: 一种形状测量机,其包括杆、臂、检测部、转动支点部和测量力调整部。与工件接触的测量触头设置于所述杆。所述臂的端部与所述杆接合。所述转动支点部用作所述杆和所述臂的转动运动的支点。所述检测部检测所述臂的转动运动的位移量。所述转动支点部的十字弹簧根据所述转动运动的位移量赋予所述杆和所述臂绕所述转动运动的轴的扭矩。测量力调整部赋予所述杆和所述臂沿所述十字弹簧产生的扭矩的相反方向的扭矩,该扭矩是由彼此相对配置的至少两个磁性构件之间的磁力产生的引力所产生的。
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公开(公告)号:CN106197354B
公开(公告)日:2017-10-03
申请号:CN201510382742.X
申请日:2015-07-02
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B5/0016 , G01B5/012 , G01B11/007 , G01B11/14
Abstract: 本发明涉及一种测量探头(300),其包括:触针(306),其具有用于接触被测物体(W)的接触部(348);轴运动机构(310),其具备移动构件(312),该移动构件(312)使接触部(348)能够沿轴向(O)移动;以及旋转运动机构(334),其具备旋转构件(RP),该旋转构件通过旋转运动而使接触部能够沿着与轴向成直角的面移动,其中,该测量探头(300)包括:主体外壳(308),其用于支承轴运动机构(310);模块外壳(330),其用于支承旋转运动机构(334);以及位移检测器(328),其被支承于主体外壳(308),并用于检测移动构件(312)的位移。由此,能够保持低成本并且确保高测量精度。
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