公开(公告)号：CN104851829A

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：CN201410194196.2

申请日：2014-05-08

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 谢文尧 ,  谢文凯 ,  刘思亨 ,  林鸿凯 ,  邱绍灏

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67379 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733

Abstract: 本发明的晶圆传输盒包括：主体；被主体封闭的主隔室，主隔室用于提供受控环境；位于主隔室内的保持器件，保持器件用于持有多个半导体晶圆；顶部锁闭机构配置为连接至其他盒或高架提升传输(OHT)系统的载体机构；底部锁闭机构配置为连接至其他盒，底部锁闭机构与载体上的锁闭机构类似。本发明还包括半导体晶圆传输。

公开(公告)号：CN102470985B

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201080034041.2

申请日：2010-10-15

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 和田吉成

IPC: B65G1/04

CPC classification number: B61B3/02 ,  B65G1/0464 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733

Abstract: 目的是提供一种行进部能够沿着设定移动路径平顺地行进、并且能够准确地进行物品的交接的顶棚输送车。在具备分别接触在导轨（4）的左右的横侧部上而将行进部（16）沿着设定移动路径导引的一对导引体（40）的顶棚输送车中，具备：一对接触体（41），能够沿着与行进部（16）的行进方向正交的横宽方向进行相互远离的移动和相互接近的移动而支承在行进部（16）上；切换部（42），为了切换为使一对接触体（41）分别接触在导轨（4）的左右的横侧部上而将行进部（16）的相对于导轨（4）的横宽方向上的位置定位保持在物品移载位置上的保持状态、以及使一对接触体（41）从导轨（4）离开的保持解除状态，使上述一对接触体分别移动，以使其相互离开及相互接近。

公开(公告)号：CN104773450A

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201510010660.2

申请日：2015-01-09

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 富田大地

IPC: B65G35/00

CPC classification number: B66C13/18 ,  B66C1/28 ,  B66C13/06 ,  H01L21/67733

Abstract: 本发明提供一种输送装置。构成为，通过在一对落下防止体排列的排列方向上使一对落下防止体相互向相反方向以直线状移动，自如调整一对落下防止体的间隔。构成为，能够用间隔调整用驱动部将一对落下防止体的间隔调整为退避用间隔、大型用间隔和小型用间隔的任一种间隔，所述退避用间隔比大型输送物的排列方向上的宽度宽幅，所述大型用间隔比该退避用间隔窄幅且与大型输送物的排列方向上的宽度对应，所述小型用间隔比该大型用间隔窄幅且与小型输送物的排列方向上的宽度对应。

公开(公告)号：CN102765573B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201110291047.4

申请日：2011-09-14

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 中川雅之

IPC: B65G1/04

CPC classification number: H01L21/67733 ,  Y10S414/14

Abstract: 一种搬运装置，设有能够保持着收纳容器(4)而行走的行走保持体(10)和防止基板(5)从收纳容器(4)的开口(6)跳出的防跳出机构(9)，防跳出机构(9)具有能够移动到与接触基板(5)的侧面接触的接触位置和脱离基板(5)的侧面的脱离位置的接触体(26)，接触体(26)的接触位置设定为：接触体(26)在基板出入方向(D)上位于基板(5)的开口侧端部与中央部之间。本发明既能够防止基板跳出，又能够实现行走时在基板出入方向上的小型化。

公开(公告)号：CN104418236A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201410434065.7

申请日：2014-08-29

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 衣川知孝

IPC: B66C1/36

CPC classification number: H01L21/67733 ,  B25J15/0052 ,  B65G47/907 ,  B66C1/663

Abstract: 本发明涉及运送装置。运送装置具备：大型用驱动部，使一对大型用支撑部的各个移动至大型用支撑位置和大型用退避位置；和小型用驱动部，使一对小型用支撑部的各个移动至小型用支撑位置和小型用退避位置。小型用退避位置设定为一对小型用支撑部比由一对大型用支撑部支撑的被支撑部位于更上方的高度，一对小型用支撑部在横宽方向上设于一对大型用支撑部之间。

公开(公告)号：CN103201198B

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：CN201180052964.5

申请日：2011-10-28

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 太田达司 ,  福岛正纯 ,  伊藤靖久

IPC: B65G1/00 ,  B65G47/52

CPC classification number: B65G47/00 ,  B65G37/02 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67769

Abstract: 本发明的搬运系统为了在多个处理装置（4）间搬运物品（18）设置有通过处理装置（4）的装卸口（6）的上部的高架行驶车（12）的轨道（10）和沿高架行驶车（12）的轨道（10）行驶并具备升降机（14）的高架行驶车（12）。还设置有局域轨道（20），其被配置成比高架行驶车（12）的轨道（10）低的高度等级、至少延伸到高架行驶车（12）的轨道（10）的正下方、且俯视观察时该局域轨道朝向与高架行驶车（12）的轨道（10）成直角的方向；局域台车（22），其沿局域轨道（20）行驶并具备升降物品（18）的升降机（38）；缓冲区（26、50、60），其被配置在局域轨道（20）的下部并能够与局域台车（22）之间交接物品（18）并且至少延伸到高架行驶车（12）的轨道（10）的正下方。

公开(公告)号：CN104395207A

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：CN201380034416.9

申请日：2013-06-18

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 太田达司

IPC: B65G1/04

CPC classification number: H01L21/67733 ,  B65G2201/0297 ,  B66C13/18 ,  B66C19/00 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67288 ,  H01L21/67736

Abstract: 本发明提供桥式行驶车系统以及桥式行驶车系统中的移载控制方法。为使桥式行驶车(4)不将本地台车(8)的轨道(10)等误检测为障碍物。桥式行驶车(4)具备升降机(22)和监视下方的障碍物的第一传感器(38)，本地台车(8)具备升降机(27)并沿上述轨道(10)行驶。缓冲区(12)从上述轨道(10)通过铅垂向下的支柱(32)垂下，并且在装货港(16、17)的正上方部不设置缓冲区(12)的部件。在上述轨道(10)，设置有对装货港(16、17)附近处并且与处理装置(13)相反的一侧的通路侧区域的障碍物进行监视的第二传感器(36)，向桥式行驶车(4)以及本地台车(8)发送障碍物检测信号。若桥式行驶车(4)以及本地台车(8)接收到第二传感器(36)的障碍物检测信号，则使升降机(22、27)停止，并且桥式行驶车(4)不通过第一传感器(38)监视通路侧区域的障碍物。

公开(公告)号：CN102576688B

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201080042327.5

申请日：2010-10-14

Applicant: 昕芙旎雅有限公司

Inventor： 溝河巧 ,  落合光敏

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67769 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/68707 ,  Y10S414/14

Abstract: 本发明的目的在于提供一种无需对现有的装载部进行更新(更换)等的载体移载促进装置。载体移载促进装置(1)相对于用于载置传送盒(8)的装载部(6)进行设置。该载体移载促进装置(1)具有：临时载置台(2)，其用于临时载置传送盒(8)；载体移载台车(3)，其在装载部(6)的载置台(61)与临时载置台(2)的上方沿水平方向行进并且使传送盒(8)升降，从而在载置台(61)与临时载置台(2)之间进行传送盒(8)的移载；支承构件(4)，其用于支承临时载置台(2)及载体移载台车(3)；控制器(5)，在载置台(61)或临时载置台(2)与OHT(7)之间交接传送盒(8)的过程中，该控制器控制载体移载台车(3)的动作，以避免载体移载台车(3)与传送盒(8)接触。

公开(公告)号：CN102869587B

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201080065275.3

申请日：2010-12-28

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 衣川知孝 ,  柴田优 ,  小川大介

IPC: B65G1/04 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G1/065 ,  B65G1/0464 ,  B65G2201/0297 ,  B66C19/00 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/68707

Abstract: 中间搁架（5）配置在比物品交接部（4）靠上方且比顶棚输送车（2）靠下方，中间移载装置（6）通过使移载装置用把持部（7）相对于中间搁架（5）及物品交接部（4）升降而自如移载物品（W），所述中间移载装置（6）在与顶棚输送车（2）及物品交接部（4）上下重叠的状态下，遍及交接部用移载位置、中间搁架用移载位置、避免顶棚输送车（2）在与物品交接部（4）或中间搁架（5）之间移载物品时的干涉的交接时退避位置及临时放置时退避位置，以受导引支承体（17）导引支承的状态沿着行进方向移动自如地设置，导引支承体（17）构成为形成空间，当顶棚输送车（2）移载物品（W）时把持部（3）及物品（W）能够在上下方向上通过所述空间。

公开(公告)号：CN102939257B

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：CN201080065425.0

申请日：2010-05-25

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 泉孝宪

IPC: B66C15/00 ,  B66C11/04 ,  B66C13/06

CPC classification number: H01L21/67733 ,  B66C13/06 ,  H01L21/67766

Abstract: 本发明的目的在于防止移动部或者升降装置等从桥式行车向侧方突出而与周围的固定装置或者桥式行车发生干涉。防止从由行驶部、使物品升降的升降装置、具备支承行驶部的基体以及支承升降装置并向侧方移动的移动部的侧方移动机构构成的桥式行车突出。使移动部在向行驶部的侧方突出的状态与后退至行驶部的下部的状态之间移动。并且，在移动部后退至行驶部的下部后的状态下，将移动部或者升降装置与基体或者行驶部卡合。