公开(公告)号：CN105009013A

公开(公告)日：2015-10-28

申请号：CN201480008754.X

申请日：2014-01-08

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 泉孝宪

IPC: G05D1/02 ,  B61B13/00 ,  B65G1/00

CPC classification number: B61L23/00 ,  B61B3/00 ,  B61B3/02 ,  B61B13/00 ,  B61L11/00

Abstract: 本发明提供一种能够防止输送台车的误进入的输送系统。在输送系统(1)中，具备：轨道(R)，其遍布多个区域铺设；FOUP输送车(10)，其沿着轨道(R)行驶；光罩输送车(20)，其宽度以及高度的至少一方与FOUP输送车(10)不同；光学传感器(15)，其设置于FOUP输送车(10)，配置于与光罩输送车(20)在行驶方向不重叠的位置，并且检测前方的障碍物；以及被检测部件(30)，其在多个区域中的朝向仅允许光罩输送车(20)进入的特定区域的进入区域，配置于允许光罩输送车(20)进入特定区域且被设置于FOUP输送车(10)的光学传感器(15)检测出的位置。

公开(公告)号：CN105984701A

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201610099007.2

申请日：2016-02-23

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 泉孝宪

IPC: B65G35/00

CPC classification number: B66C7/12 ,  B66C7/02 ,  B66C9/02 ,  B66C9/04 ,  H01L21/67733 ,  B65G35/00

Abstract: 本发明提供能够在横竖的轨道上悬垂行驶的搬运台车。搬运台车在正交或者倾斜交叉的第一轨道和第二轨道上行驶，第一、第二轨道均在中央具备开口且在其两侧具备踏面。搬运台车具备：上部的台车部；下部的搬运部，其保持物品；以及从台车部朝下伸向搬运部的支柱。台车部沿着第一轨道在支柱的前后具备至少一对第一行驶单元，第一行驶单元具备用于在第一轨道的踏面行驶的第一行驶轮、和沿着第一轨道位于第一行驶轮的前后的第一辅助轮，沿着第二轨道在支柱的前后具备至少一对第二行驶单元，第二行驶单元具备用于在第二轨道的踏面行驶的第二行驶轮、和沿着第二轨道位于第二行驶轮的前后的第二辅助轮，还具备使至少一对第一行驶单元和至少一对第二行驶单元这两者中的一方升降的升降机构。

公开(公告)号：CN102422408A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201080020516.2

申请日：2010-04-13

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 鹿田延秀 ,  泉孝宪

IPC: H01L21/673 ,  G03F1/82

CPC classification number: H01L21/67386 ,  G03F1/00 ,  G03F1/82 ,  H01L21/67359 ,  H01L21/67393

Abstract: 在洗净装置中缩短洗净动作时间。开盒器(21)是用于向具有盒罩(5)和开闭自如的底盖(7)的中间掩模盒(1)内供给清洁气体以及从中排出而进行洗净的装置，并具备载物台(25)、升降驱动机构(41)、锁机构(13)、以及给排部(49)。载物台(25)能够将底盖(7)从盒罩(5)上卸下以及将其安装于盒罩(5)。升降驱动机构(41)能够移动载物台(25)。锁机构(13)使锁部件(15)动作，该锁部件(15)将底盖(7)不能脱落地固定于盒罩(5)以及解除固定。给排部(49)在完成锁部件(15)将底盖(7)固定于盒罩(5)的动作之前，开始进行洗净。

公开(公告)号：CN102939257A

公开(公告)日：2013-02-20

申请号：CN201080065425.0

申请日：2010-05-25

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 泉孝宪

IPC: B66C15/00 ,  B66C11/04 ,  B66C13/06

CPC classification number: H01L21/67733 ,  B66C13/06 ,  H01L21/67766

Abstract: 本发明的目的在于防止移动部或者升降装置等从桥式行车向侧方突出而与周围的固定装置或者桥式行车发生干涉。防止从由行驶部、使物品升降的升降装置、具备支承行驶部的基体以及支承升降装置并向侧方移动的移动部的侧方移动机构构成的桥式行车突出。使移动部在向行驶部的侧方突出的状态与后退至行驶部的下部的状态之间移动。并且，在移动部后退至行驶部的下部后的状态下，将移动部或者升降装置与基体或者行驶部卡合。

公开(公告)号：CN101088905B

公开(公告)日：2010-06-23

申请号：CN200710111808.7

申请日：2007-06-15

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 泉孝宪

IPC: B66C17/00 ,  B65G1/00

CPC classification number: H01L21/67766 ,  H01L21/67769

Abstract: 将行驶轨道(20)、(21)上下设置，并设置桥式吊车(32)从上层的行驶轨道(20)可接近的暂存部(28)、(26)和从下层的行驶轨道(21)可接近的暂存部(29)。而且，设置与行驶轨道(20)、(21)相连接的升降路。能够增加暂存部的数量，并且桥式吊车能够接近上下任意的暂存部。

公开(公告)号：CN101139037A

公开(公告)日：2008-03-12

申请号：CN200710148274.5

申请日：2007-09-04

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 泉孝宪

IPC: B65G1/04

CPC classification number: B65G1/0407 ,  B65G1/045 ,  B65G37/02 ,  H01L21/67769

Abstract: 在本发明的自动仓库(2)中设有一对旋转搁架(6、7)，在它们之间配置有柱(14)、一对升降台(16、16)以及一对SCARA型臂(18、19)。SCARA型臂(18)将多个臂从下向上堆积，使机械手(20)能够在较高的位置进行操作，SCARA型臂(19)从上向下配置多个臂，使机械手(20)能够在较低的位置进行操作。由于能够遍及自动仓库的全高来收纳物品，所以收纳效率提高。

公开(公告)号：CN106005923B

公开(公告)日：2019-06-25

申请号：CN201610132980.X

申请日：2016-03-09

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 泉孝宪

IPC: B65G35/00

CPC classification number: B61B3/00

Abstract: 本发明提供行走台车系统以及行走台车的行走方法。使悬垂式的行走台车在轨道与轨道交叉的交叉点的间隙行走。行走台车具备行走车轮和交叉点辊，该交叉点辊沿着行走方向安装在行走车轮的前后双方，并且沿着在水平面内与行走方向正交的方向安装在与行走车轮不同的位置，交叉点辊与行走车轮的在水平面内的轴间距离都比沿着行走方向的间隙的宽度长，并且将导轨或行走台车构成为：交叉点辊在交叉点支承于导轨，在交叉点以外从导轨避让，在行走车轮通过间隙的期间，使前后的交叉点辊都与导轨接触，由前后的交叉点辊支承行走台车的重量。

公开(公告)号：CN105984701B

公开(公告)日：2019-05-31

申请号：CN201610099007.2

申请日：2016-02-23

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 泉孝宪

IPC: B65G35/00

CPC classification number: B66C7/12 ,  B66C7/02 ,  B66C9/02 ,  B66C9/04 ,  H01L21/67733

Abstract: 本发明提供能够在横竖的轨道上悬垂行驶的搬运台车。搬运台车在正交或者倾斜交叉的第一轨道和第二轨道上行驶，第一、第二轨道均在中央具备开口且在其两侧具备踏面。搬运台车具备：上部的台车部；下部的搬运部，其保持物品；以及从台车部朝下伸向搬运部的支柱。台车部沿着第一轨道在支柱的前后具备至少一对第一行驶单元，第一行驶单元具备用于在第一轨道的踏面行驶的第一行驶轮、和沿着第一轨道位于第一行驶轮的前后的第一辅助轮，沿着第二轨道在支柱的前后具备至少一对第二行驶单元，第二行驶单元具备用于在第二轨道的踏面行驶的第二行驶轮、和沿着第二轨道位于第二行驶轮的前后的第二辅助轮，还具备使至少一对第一行驶单元和至少一对第二行驶单元这两者中的一方升降的升降机构。

公开(公告)号：CN102939257B

公开(公告)日：2014-12-03

申请号：CN201080065425.0

申请日：2010-05-25

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 泉孝宪

IPC: B66C15/00 ,  B66C11/04 ,  B66C13/06

CPC classification number: H01L21/67733 ,  B66C13/06 ,  H01L21/67766

Abstract: 本发明的目的在于防止移动部或者升降装置等从桥式行车向侧方突出而与周围的固定装置或者桥式行车发生干涉。防止从由行驶部、使物品升降的升降装置、具备支承行驶部的基体以及支承升降装置并向侧方移动的移动部的侧方移动机构构成的桥式行车突出。使移动部在向行驶部的侧方突出的状态与后退至行驶部的下部的状态之间移动。并且，在移动部后退至行驶部的下部后的状态下，将移动部或者升降装置与基体或者行驶部卡合。

公开(公告)号：CN102026858B

公开(公告)日：2013-06-26

申请号：CN200980117729.4

申请日：2009-05-14

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 本田则明 ,  泉孝宪

IPC: B61B3/02 ,  B61B13/06 ,  B65G1/00 ,  B66C11/06 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/6773 ,  B61B3/02 ,  B65G37/02 ,  B65G2201/0297 ,  B66C11/04 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736

Abstract: 本发明提供一种天车，当升降时输送物品难以与盖掉落防止部件发生冲突。天车，以悬挂的状态收纳、输送在侧面能够装卸地设置有盖(4a)的输送物品，其具备：天车主体、升降机构、盖掉落防止部件(62)和动力传递机构(82)。升降机构设置于天车主体，能够对FOUP(4)进行升降。盖掉落防止部件(62)与盖(4a)的正面接近配置。动力传递机构(82)在对FOUP(4)的升降时使盖掉落防止部件(62)从盖(4a)的正面退避。