公开(公告)号：CN105984701B

公开(公告)日：2019-05-31

申请号：CN201610099007.2

申请日：2016-02-23

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 泉孝宪

IPC: B65G35/00

CPC classification number: B66C7/12 ,  B66C7/02 ,  B66C9/02 ,  B66C9/04 ,  H01L21/67733

Abstract: 本发明提供能够在横竖的轨道上悬垂行驶的搬运台车。搬运台车在正交或者倾斜交叉的第一轨道和第二轨道上行驶，第一、第二轨道均在中央具备开口且在其两侧具备踏面。搬运台车具备：上部的台车部；下部的搬运部，其保持物品；以及从台车部朝下伸向搬运部的支柱。台车部沿着第一轨道在支柱的前后具备至少一对第一行驶单元，第一行驶单元具备用于在第一轨道的踏面行驶的第一行驶轮、和沿着第一轨道位于第一行驶轮的前后的第一辅助轮，沿着第二轨道在支柱的前后具备至少一对第二行驶单元，第二行驶单元具备用于在第二轨道的踏面行驶的第二行驶轮、和沿着第二轨道位于第二行驶轮的前后的第二辅助轮，还具备使至少一对第一行驶单元和至少一对第二行驶单元这两者中的一方升降的升降机构。

公开(公告)号：CN106057621B

公开(公告)日：2018-08-07

申请号：CN201510658912.2

申请日：2015-10-12

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 于伟波 ,  庄瑞萍 ,  吕祯祥 ,  古绍延

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01L21/263 ,  H01J37/00 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67207 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L22/14 ,  H01L22/20 ,  H05F3/04 ,  H05F3/06

Abstract: 本发明提供了用于处理半导体晶圆的方法。该方法包括在封闭的放电室中对半导体晶圆实施放电工艺。该方法还包括在放电工艺之后通过使用第处理模块处理半导体晶圆。在放电工艺期间,基于半导体晶圆的表面的特性来调节施加在半导体晶圆上的带电粒子。本发明的实施例还涉及在半导体制造中控制晶圆表面上的表面电荷的方法。

公开(公告)号：CN108001979A

公开(公告)日：2018-05-08

申请号：CN201711026972.8

申请日：2017-10-27

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 新山隆志 ,  堀井高宏

IPC: B65G35/06

CPC classification number: H01L21/67715 ,  B61B3/02 ,  B61J1/06 ,  B65G43/10 ,  B65G47/61 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67775 ,  B65G35/06

Abstract: 物品搬运设备具备搬运装置，前述搬运装置具有与保管装置连结的连结部，并且对物品进行搬运。连结部相对于第一路径被配置于第一侧，并且对象路径相对于第一路径被配置于第二侧，基于搬运装置的物品的搬运路径被配置成，相对于第一路径在俯视时交叉，从连结部相对于第一路径延伸至第二侧。在搬运路径的相对于第一路径被配置于第二侧的部分上，设定有第一移载部，前述第一移载部借助在对象路径上行进的搬运车来移载物品。

公开(公告)号：CN105593142B

公开(公告)日：2018-01-30

申请号：CN201480055679.2

申请日：2014-10-06

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 富田大地

IPC: B65G1/04 ,  B65G1/00 ,  B66C15/00 ,  B61B3/02 ,  B61B13/06

CPC classification number: H01L21/67733 ,  B61B3/02 ,  B66C13/085 ,  B66C13/18 ,  B66C15/045 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67736

Abstract: 实现一种顶棚输送车，所述顶棚输送车即使在将较大的物品作为输送对象的情况下，也能够在抑制顶棚输送车的大型化的同时适当地检测升降体的下方的障碍物。障碍物检测部（S1）在比被位于输送用位置的升降体（30）支承的物品（B）靠上方、并且在俯视观察中位于物品（B）的存在范围内的部位处，相对于主体部（21）以检测光等的发射方向向物品（B）的外侧倾斜的状态被固定。控制部构成为，在使升降体（30）在输送用位置与交接用位置（Pd）之间升降的情况下，在升降体（30）位于对象范围内的期间中，不进行基于障碍物检测部（S1）的检测信息的障碍物（W）的有无的判别，在不位于对象范围内的期间中，判别障碍物（W）的有无。将障碍物检测部（S1）的检测光等对被升降体（30）支承的物品（B）发挥检测作用的范围作为检测作用范围，对象范围被设定为包含检测作用范围。

公开(公告)号：CN107239073A

公开(公告)日：2017-10-10

申请号：CN201710196847.5

申请日：2017-03-29

Applicant: 株式会社大福 ,  北阳电机株式会社

Inventor： 前岛洋治 ,  西川直 ,  田中芳孝

IPC: G05D1/02

CPC classification number: B65G43/00 ,  B65G1/0421 ,  B65G35/08 ,  B65G47/681 ,  B65G2201/0297 ,  G05D1/0289 ,  G05D1/03 ,  G05D2201/0216 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  G05D1/024 ,  G05D1/0214 ,  G05D1/0242 ,  G05D1/0259 ,  G05D1/0276 ,  G05D2201/02

Abstract: 由输送控制装置执行以下步骤：合流点附近区域进入探测控制步骤，探测对设定在输送路径所包含的各合流点附近的合流点附近区域的进入；障碍物探测步骤，探测在该输送台车的周边是否存在障碍物；无线通信步骤，若探测到对各合流点附近区域的进入，则使用按每个合流点设定为不同值的共同的频带及共同的识别代码在其他输送台车与本地进行无线通讯；以及合流点通过控制步骤，当由障碍物探测步骤探测到在所述合流点附近区域存在其他输送台车时启动无线通信步骤，在通过无线通信步骤与其他输送台车的信号交换成立后按照按每个对该合流点的进入路径设定的优先次序通过合流点。

公开(公告)号：CN104960820B

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201510235972.3

申请日：2010-10-15

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 和田吉成

IPC: B65G1/04 ,  B65G35/00

CPC classification number: B61B3/02 ,  B65G1/0464 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/6773 ,  H01L21/67733

Abstract: 目的是提供一种行进部能够沿着设定移动路径平顺地行进、并且能够准确地进行物品的交接的顶棚输送车。在具备分别接触在导轨（4）的左右的横侧部上而将行进部（16）沿着设定移动路径导引的一对导引体（40）的顶棚输送车中，具备：一对接触体（41），能够沿着与行进部（16）的行进方向正交的横宽方向进行相互远离的移动和相互接近的移动而支承在行进部（16）上；切换部（42），为了切换为使一对接触体（41）分别接触在导轨（4）的左右的横侧部上而将行进部（16）的相对于导轨（4）的横宽方向上的位置定位保持在物品移载位置上的保持状态、以及使一对接触体（41）从导轨（4）离开的保持解除状态，使上述一对接触体分别移动，以使其相互离开及相互接近。

公开(公告)号：CN105984687A

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201610150834.X

申请日：2016-03-16

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 柳东奎 ,  金在允

IPC: B65G1/04

CPC classification number: H01L21/67733 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67769 ,  B65G1/04

Abstract: 本发明提供在天花板上存储和处理物品的装置，其包括：内部轨道，悬挂在天花板；存储系，悬挂在所述天花板，并且具有第一列搁架与第二列搁架及出入库端口，其中所述第一列搁架与第二列搁架相互面对地配置在所述内部轨道的两侧方，出入库端口连接于所述第一列搁架与第二列搁架中的其中之一；及内部搬送机器人，可移动地连接于所述内部轨道，并且在所述第一列搁架及所述第二搁架中其中之一与所述出入库端口之间搬送物品。所述内部搬送机器人包括：双方向滑动单元，沿着所述第一列搁架及所述第二列搁架中的其中之一方向滑动夹持所述物品的所述夹持单元；及升降驱动单元，沿着所述第一列搁架及所述第二列搁架的高度方向升降驱动所述双方向滑动单元。

公开(公告)号：CN103548130B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201280024471.5

申请日：2012-04-20

Applicant: 村田机械株式会社

Inventor： 富永忠正

IPC: H01L21/677 ,  B65G1/00 ,  B65G1/04

CPC classification number: B65B31/04 ,  H01L21/67393 ,  H01L21/67733 ,  H01L21/67736 ,  H01L21/67769

Abstract: 本发明提供载入机装置、搬运系统、以及容器搬出方法。防止装入搬运车的密闭容器的内部气体的浓度的降低。载入机装置是用于将具有气孔的容器（27）搬运到高架搬运车（59）的外侧输送单元（49）的装置，具备输送机（47）、净化装置（73）、和储料控制器（101）。输送机（47）延伸至外侧输送单元（49）。净化装置（73）配置于外侧输送单元（49）的附近，具有供气喷嘴（79），其用于通过与气孔连接来向容器（27）中供给净化气体，和第一升降机构（87），其使供气喷嘴（79）接近离开供气端口（65）。储料控制器（101）是控制净化装置（73）向容器（27）中的净化气体的供给单元，基于高架搬运车（59）到达外侧输送单元（49）来停止净化装置（73）的向容器（27）的净化气体的供给。

公开(公告)号：CN105722769A

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201480063670.6

申请日：2014-10-31

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 和田吉成

IPC: B65G1/04 ,  B23Q1/48

CPC classification number: H01L21/67733 ,  B65G47/902 ,  B65G47/905 ,  B65G2201/0297 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/6773

Abstract: 实现一种直线运动转动装置，该直线运动转动装置能够实现物品支承部沿第1方向的移动和绕其移动轴心的转动这两者，同时能够抑制大型化及重量的增加。直线运动转动装置具备：支承部（23），该支承部（23）将一体地设有物品支承部（S）的被操作部件（24）绕移动轴心（X1）转动自如地支承并沿第1方向（D1）移动自如地支承；直线移动体（21a），该直线移动体（21a）借助驱动部（M1）而沿着第1方向（D1）移动。被操作部件（24）在沿着移动轴心（X1）的方向观察，在从移动轴心（X1）离开的部分处与直线移动体（21a）连结。直线运动转动装置具备向直线运动状态和转动状态切换自如的动作状态切换部（L），在所述直线运动状态中，限制被操作部件（24）绕移动轴心（X1）的转动并容许被操作部件（24）沿第1方向（D1）的移动，在所述转动状态中，容许被操作部件（24）绕移动轴心（X1）的转动并限制被操作部件（24）沿第1方向（D1）的移动。

公开(公告)号：CN104159838B

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201380012771.6

申请日：2013-02-28

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 柴田润次 ,  大森和哉

IPC: B65G45/22 ,  B60S3/04 ,  B65G1/00

CPC classification number: B08B5/023 ,  B05B15/68 ,  B08B5/02 ,  B08B15/02 ,  B65G45/22 ,  G05D7/0629 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67733

Abstract: 提供一种清洁室中的设置较有利的顶棚输送车（3）的清扫装置。清扫装置具备空气喷出装置（C），将顶棚输送车（3）清扫，将沿着配设在清洁室内的顶棚侧的行进轨道（2）行进自如的顶棚输送车（3）在被从外部空间（Z1）遮蔽的遮蔽空间（Z2）中设为行进停止状态，所述空气喷出装置（C）对顶棚输送车（3）喷出空气。