一种元件激光损伤测量方法及装置

    公开(公告)号:CN106289727A

    公开(公告)日:2017-01-04

    申请号:CN201610599309.6

    申请日:2016-07-27

    CPC classification number: G01M11/00

    Abstract: 本发明提供一种元件激光损伤测量方法及装置。测量时,对每一个预设测试点采用基本相同的能量和能量密度的激光脉冲进行逐次多发次辐照,并实时监测测试点的光学图像以判断该测试点是否产生功能性损伤,同时在线获取每一次辐照时的激光能量密度值;然后根据测试点的功能性损伤判定结果及在线激光能量密度值计算生成元件的功能性损伤测量曲线。这种元件激光损伤测量方法的测量结果准确度高、收敛速度快,多次测量所得测量曲线之间的偏差较小,还能有效降低不同测量人员之间及测量次序等人为因素对最终测量结果的影响。

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