公开(公告)号：CN104303261A

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201380025232.6

申请日：2013-05-22

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 田川幸治 ,  菱沼宣是 ,  朝山淳哉 ,  小川义正

IPC: H01J65/00 ,  H01J61/36 ,  H01J61/54

CPC classification number: H01J61/06 ,  H01J61/54 ,  H01J65/046

Abstract: 本发明提供一种准分子灯，由发光管(1)、外部电极(4)和内部电极(5)构成，发光管由在内部封入有发光气体的发光部(2)和在发光部的两端部形成的密封部(3)构成，外部电极配置在上述发光部的外表面上，内部电极配置在该发光部的内部，上述准分子灯的特征在于，上述外部电极的端部延伸并卷绕在上述发光部的密封部侧的根部上。由此，灯的启动性大幅改善，即使在灯电压低的情况下也能使灯可靠地启动。

公开(公告)号：CN101131228B

公开(公告)日：2010-10-13

申请号：CN200710141093.X

申请日：2007-08-16

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 菱沼宣是 ,  远藤真一

IPC: F21S2/00 ,  H01L21/00 ,  F21W131/403

Abstract: 提供一种准分子灯装置，可以适于应对基板的大型化，并且可以降低运转成本，可以切实地进行基板表面的处理。本发明涉及的准分子灯装置的特征在于包括：容纳准分子灯的灯罩；气体供给用配管，设置在灯罩内，位于与准分子灯平行且交互的位置，设有气体喷出口；以及气体供给单元，向气体供给用配管中导入含水蒸气的惰性气体，通过上述气体供给单元，绝对湿度控制为预定值的惰性气体被供给到上述气体供给用配管中。此外上述绝对湿度换算成重量绝对湿度为0.5～6.5g/kg。

公开(公告)号：CN101807510A

公开(公告)日：2010-08-18

申请号：CN201010105514.5

申请日：2010-01-28

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 菱沼宣是 ,  田川幸治

IPC: H01J61/38

Abstract: 本发明提供一种低压水银灯，其抑制320nm左右以下的光的射出，并射出波长在320nm～350nm左右的区域的紫外线，适用作将与液晶一并填充的单体聚合的光源。在发光管内部具有一对电极的低压水银灯中，其特征在于，由下述部件构成：由石英玻璃构成的发光管；由设于该发光管的内表面的、含有5wt％以下的过渡金属氧化物的硬质玻璃构成的玻璃层；以及设于该玻璃层的内表面的荧光体层。

公开(公告)号：CN100517589C

公开(公告)日：2009-07-22

申请号：CN200410094959.2

申请日：2004-11-19

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 松野博光 ,  菱沼宣是 ,  菅原宽

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  C23C16/48 ,  C23C8/06

Abstract: 本发明是提供与以往的利用被激活的氧的处理不同的、抑制了对被处理物的氧化影响的处理装置。其目的在于提供一种利用真空紫外光的处理装置，该处理装置能够实现在使用被激活的氧进行的处理中无法得到充分的处理速度的处理，例如注入离子的抗蚀剂的灰化/除去等。该处理装置，具备放射真空紫外光的光源、和具备该光源的放电容器及/或处理空间，并配置有导入气体的导入口，通过照射光激活该被导入的气体，其特征在于，该被激活性的气体是NmHn，其中，N为氮原子、H为氢原子、m、n为任意的自然数；具备将自上述光源放射的真空紫外光照射于该NmHn气体的机构。

公开(公告)号：CN1229851C

公开(公告)日：2005-11-30

申请号：CN00104921.6

申请日：2000-03-30

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 菱沼宣是 ,  杉冈晋次 ,  福田悟

IPC: H01J65/04

CPC classification number: H01J61/52 ,  H01J65/046

Abstract: 提供一种能可靠地防止冷却流体泄漏，并能可靠地冷却介质阻挡层放电灯的介质阻挡层放电灯装置。在具有通过同轴地配置外侧管(3)和内侧管(2)形成的中空圆筒状的放电空间(P)的介质阻挡层放电灯(1)，和在由内侧管(2)形成的空间中流动着冷却流体的介质阻挡层放电灯装置中，其特征在于上述内侧管(2)有向放电空间(4)外伸出的圆筒状延长管部(2A)，该延长管部2A的端部(2A1)的外周面紧密接触地保持在与流动着冷却流体的导管(11)连接的连接机构(8)上。