层叠基板的测定方法、层叠基板及测定装置

    公开(公告)号:CN107430065B

    公开(公告)日:2020-05-19

    申请号:CN201680019642.3

    申请日:2016-03-25

    Abstract: 本发明提供一种测定方法,所述方法对依次具有基底基板、吸收层及被测层的层叠基板进行测定,被测层具有单一或多层被测单层,所述方法具有下述步骤:通过从被测层所处的这侧照射包含波长短于界限波长的光的入射光、并测定反射光,从而取得界限波长以下的波长中的相互独立的2n(n为被测层中包含的被测单层的层数,为1以上的整数)个以上的反射光关联值的步骤,以及,使用2n个以上的反射光关联值,针对被测层中包含的各被测单层,计算与被测单层有关的值的步骤;作为界限波长,使用将吸收层的消光系数k以波长λ(单位为nm)的函数k(λ)的形式表示时的一次微分dk(λ)/dλ的绝对值成为消光微分界限值以下的波长范围内的最大波长。

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