用于喷墨头的衬底、使用所述衬底的喷墨头及其制造方法

    公开(公告)号:CN1732086A

    公开(公告)日:2006-02-08

    申请号:CN200380107491.X

    申请日:2003-12-25

    Abstract: 为了提高具有与用于喷墨头的衬底中的油墨相接触的部分的保护层与树脂层之间的粘着性,从而在长时间内确保质量上的可靠性,本发明提供了用于喷墨头的衬底,所述衬底包括构成生热部分的生热电阻器、与所述生热电阻器电连接的电极布线;以及设在所述生热电阻器和所述电极布线的上方的上部保护层,其特征在于,在形成其中Ta层被层压在由TaCr合金所形成的层上的上部保护层之后,选择性地对所述Ta层形成图案以及选择性地去除所述Ta层,从而在通过所述去除露出由所述TaCr合金所形成的层的部分中形成液体流径元件。

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