-
公开(公告)号：CN105493236B
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201480047347.X
申请日：2014-08-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/50
CPC classification number: C08F2/50 , C09D4/00 , G02B1/12 , G03F7/0002 , G03F7/031 , H01L21/31144 , H01L21/31155 , C08F2220/1875 , C08F2220/185 , C08F2222/1013 , C08F2222/102
Abstract: 一种光压印用固化性组合物，其至少包括聚合性化合物组分(A)和光聚合引发剂组分(B)，并满足式(1)和(2)：0.800≤Er10/Er200(1)，2.55GPa≤Er10(2)，其中，Er10表示通过使光压印用固化性组合物的膜曝光于10mJ/cm2的光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)；和Er200表示通过使光压印用固化性组合物的膜曝光于200mJ/cm2的光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)。
-
公开(公告)号：CN105340061B
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201480036474.X
申请日：2014-06-19
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/44 , C08F20/50
CPC classification number: B29C59/005 , B29C59/002 , B29C59/022 , B29C59/026 , B29C2059/023 , B29K2033/08 , B29K2105/0005 , C08F2/44 , C08F2/50 , C08L33/08 , G03F7/0002 , C08F2220/1875 , C08F2222/1013
Abstract: 使用冷凝性气体工艺的压印方法具有抗蚀固化膜的表面粗糙的问题。这通过用于在含冷凝性气体的气氛中进行压印的光固化性组合物来解决。所述光固化性组合物含有组分(A)(甲基)丙烯酸酯单体、组分(B)光聚合引发剂和组分(C)脱模剂。在5度(摄氏)和1大气压下所述组分(C)在所述冷凝性气体中的饱和溶解度为5重量％以下，所述冷凝性气体在5度(摄氏)和1大气压下为液态。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105340062B
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201480036784.1
申请日：2014-06-19
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/44 , C08F2/50
CPC classification number: B29C59/026 , B29C33/62 , B29C59/002 , B29C59/005 , B29K2033/08 , B29K2105/0005 , C08F2/44 , C08F2/50 , C08F220/18 , C08F222/1006 , C08K2201/00 , C08L33/08 , G03F7/0002 , H01L21/0271 , H01L21/266 , C08F2220/1875 , C08F2222/1013
Abstract: 在冷凝性气体气氛中的压印方法中，将模具与抗蚀剂固化膜分离(脱模)所需的力(脱模力)大。用于在含冷凝性气体的气氛中进行压印的光固化性组合物包括组分(A)，其为(甲基)丙烯酸酯单体；组分(B)，其为光聚合引发剂；和组分(C)，其为脱模剂。在5度(摄氏)和1个大气压下组分(C)在冷凝性气体中的饱和溶解度为50重量％以上，冷凝性气体在5度(摄氏)和1个大气压下为液态。
-
公开(公告)号：CN107251192A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201680011970.9
申请日：2016-02-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 为了提供用于在反转工艺中形成期望的图案的图案化方法。图案化方法包括反转工艺。光固化性组合物至少包含聚合性化合物(A)组分和光聚合引发剂(B)组分。所述(A)组分的摩尔分数加权平均分子量为200以上且1000以下。所述(A)组分的大西参数(OP)为3.80以上。所述(A)组分的大西参数(OP)为N/(NC‑NO)的摩尔分数加权平均值，其中N表示分子中的原子总数，NC表示该分子中的碳原子数，并且NO表示该分子中的氧原子数。
-
公开(公告)号：CN105189448B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201480026291.X
申请日：2014-05-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C07C217/08 , C08F2/50 , H01L21/027
CPC classification number: C08F2/50 , C07C217/08 , C07C217/40 , G02B1/12 , G03F7/0002 , H01L21/02118 , H01L21/3081 , H01L21/311 , H05K3/0076 , H05K3/0079 , H05K3/0082 , H05K3/30 , H05K2203/0548
Abstract: 提供了一种化合物，其增大光固化性组合物的光固化速度并且降低固化物与模具的脱模力。一种化合物由通式(1)表示：其中Rf表示至少一部分由氟取代的烷基，RO表示氧化烯基或氧化烯基的重复结构，N表示氮原子，RA表示烷基，和RB表示烷基或氢原子。
-
公开(公告)号：CN105659358A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201480051516.7
申请日：2014-09-05
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , B81C1/00 , G03F7/20
Abstract: 一种膜的生产方法，其包括：将光固化性组合物配置在基板上的配置步骤；使所述光固化性组合物和模具彼此接触的模具接触步骤；用光照射所述光固化性组合物从而形成固化产物的光照射步骤；和使所述固化产物和所述模具彼此脱离的脱模步骤，其中所述方法进一步包括在所述光照射步骤之前将所述模具与所述基板彼此对准的对准步骤，其中所述光固化性组合物至少包含作为组分(A)的聚合性化合物和作为组分(B)的光聚合引发剂，并且其中当所述聚合性化合物在0.12mW/cm2的照度和11.0秒的曝光时间的条件下曝光时，所述聚合性化合物具有50％以上的聚合转化率。
-
公开(公告)号：CN105493236A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201480047347.X
申请日：2014-08-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/50
CPC classification number: C08F2/50 , C09D4/00 , G02B1/12 , G03F7/0002 , G03F7/031 , H01L21/31144 , H01L21/31155 , C08F2220/1875 , C08F2220/185 , C08F2222/1013 , C08F2222/102
Abstract: 一种光压印用固化性组合物，其至少包括聚合性化合物组分(A)和光聚合引发剂组分(B)，并满足式(1)和(2)：0.800≤Er10/Er200(1)，2.55GPa≤Er10(2)，其中，Er10表示通过使光压印用固化性组合物的膜曝光于10mJ/cm2的光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)；和Er200表示通过使光压印用固化性组合物的膜曝光于200mJ/cm2的光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)。
-
-
-
-
-
-
Search Results
27
records
(took 0.029 seconds)
