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公开(公告)号：CN107251192B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201680011970.9
申请日：2016-02-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 为了提供用于在反转工艺中形成期望的图案的图案化方法。图案化方法包括反转工艺。光固化性组合物至少包含聚合性化合物(A)组分和光聚合引发剂(B)组分。所述(A)组分的摩尔分数加权平均分子量为200以上且1000以下。所述(A)组分的大西参数(OP)为3.80以上。所述(A)组分的大西参数(OP)为N/(NC‑NO)的摩尔分数加权平均值，其中N表示分子中的原子总数，NC表示该分子中的碳原子数，并且NO表示该分子中的氧原子数。
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公开(公告)号：CN107112208B
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN201580069521.5
申请日：2015-12-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , H01L21/3065
Abstract: 一种压印用光固化性组合物，至少具有聚合性化合物(A)和光聚合引发剂(B)，其中聚合性化合物(A)包含20重量％以上的多官能(甲基)丙烯酸系单体，且光固化性组合物的光固化物的玻璃化转变温度为90℃以上。
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公开(公告)号：CN106537557B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201580037057.1
申请日：2015-06-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , B32B27/00 , C09J4/02 , C09J11/06
Abstract: 在纳米压印过程中，光固化产物经常与基板分离并且由于光固化产物与基板之间的粘合性不足而附着至模具。这导致图案分离的缺陷。一种用于在基板与光固化性组合物之间形成粘着层的粘着层组合物，其包括具有至少两个官能团的化合物(A)和溶剂(B)。所述官能团包括：至少一个能够结合至基板的官能团，其选自由羟基、羧基、硫醇基、氨基、环氧基和(封端的)异氰酸酯基组成的组；和至少一个氢供给性基团，其作为能够结合至光固化性组合物的官能团。
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公开(公告)号：CN107112208A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580069521.5
申请日：2015-12-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , H01L21/3065
CPC classification number: G03F7/0002 , C08F2/50 , G02B5/1857 , H01L21/0271 , H01L21/0337
Abstract: 一种压印用光固化性组合物，至少具有聚合性化合物(A)和光聚合引发剂(B)，其中聚合性化合物(A)包含20重量％以上的多官能(甲基)丙烯酸系单体，且光固化性组合物的光固化物的玻璃化转变温度为90℃以上。
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公开(公告)号：CN107112206A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580058890.4
申请日：2015-10-05
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B05D1/26 , B05C5/00 , B05C11/10 , B05D3/06 , B82Y10/00 , G03F7/00 , G03F7/0002
Abstract: 一种液体喷出装置，其包括容纳纳米压印用液体的容纳部，并且还包括与容纳部连通且喷出纳米压印用液体的喷出口。容纳部具有吸附或吸收选自由颗粒、金属离子和水组成的组中的至少之一的吸着介质。当纳米压印用液体从喷出口喷出时，吸着介质不从喷出口喷出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106537557A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201580037057.1
申请日：2015-06-26
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , B32B27/00 , C09J4/02 , C09J11/06
Abstract: 在纳米压印过程中，光固化产物经常与基板分离并且由于光固化产物与基板之间的粘合性不足而附着至模具。这导致图案分离的缺陷。一种用于在基板与光固化性组合物之间形成粘着层的粘着层组合物，其包括具有至少两个官能团的化合物(A)和溶剂(B)。所述官能团包括：至少一个能够结合至基板的官能团，其选自由羟基、羧基、硫醇基、氨基、环氧基和(封端的)异氰酸酯基组成的组；和至少一个氢供给性基团，其作为能够结合至光固化性组合物的官能团。
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公开(公告)号：CN106574007B
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN201580041479.6
申请日：2015-07-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F20/20 , C08F2/46 , H01L21/027 , H01L21/3065
Abstract: 一种光固化性组合物，其包括聚合性化合物；和光聚合引发剂，其中所述光固化性组合物包括由以下示出的通式(1)表示的化合物作为所述聚合性化合物，其中通式(1)中，Ar表示可具有取代基的单价芳香族基团，R1表示可具有取代基的烷基或氢原子，R2表示可具有取代基的具有(m+n)价的烷基，m为2以上的整数，和n为1以上的整数。
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公开(公告)号：CN107112209A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580069607.8
申请日：2015-12-15
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02 , C08F2/50
Abstract: 本发明涉及一种在冷凝性气体氛围中的压印用光固化性组合物。所述组合物至少包括聚合性化合物组分(A)和光聚合引发剂组分(B)，并且满足要求(1)：ECG值大于或等于2.30GPa，其中ECG表示通过使所述压印用光固化性组合物在包含浓度为90体积％以上的冷凝性气体的氛围中在200mJ/cm2曝光量下曝光而制备的光固化膜的折合模量(GPa)。
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公开(公告)号：CN106574007A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201580041479.6
申请日：2015-07-22
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C08F20/20 , C08F2/46 , H01L21/027 , H01L21/3065
CPC classification number: C08F220/18 , B05D3/06 , B05D3/12 , C08F2/48 , C08F222/10 , C08F222/1006 , C08F2222/102 , G02B1/04 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/029 , H01L21/0273 , H01L21/0274 , H01L21/4846 , H05K3/06 , H05K3/064
Abstract: 一种光固化性组合物，其包括聚合性化合物；和光聚合引发剂，其中所述光固化性组合物包括由以下示出的通式(1)表示的化合物作为所述聚合性化合物，其中通式(1)中，Ar表示可具有取代基的单价芳香族基团，R1表示可具有取代基的烷基或氢原子，R2表示可具有取代基的具有(m+n)价的烷基，m为2以上的整数，和n为1以上的整数。
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公开(公告)号：CN107849375B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN201680046613.6
申请日：2016-07-29
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C09D11/023 , C09D11/03 , C09D11/101
Abstract: 一种光固化性墨，其包括包含聚合性化合物和光聚合引发剂的油性液体、和包含水的水性液体。当将光固化性墨以15000rpm以上的旋转速度搅拌3分钟、然后使其在25℃下放置一小时以上时，由水性液体形成的液滴分散在油性液体中而在油性液体与水性液体之间没有层分离。
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