公开(公告)号：CN111830785A

公开(公告)日：2020-10-27

申请号：CN202010291525.0

申请日：2020-04-14

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 浦野宏之 ,  竹村胜也 ,  饭尾匡史 ,  本田和也

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004 ,  G03F7/09 ,  G03F7/11 ,  G03F7/16 ,  G03F7/20 ,  G03F7/32 ,  C08G73/10 ,  C08G73/14

Abstract: 本发明涉及树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、表面保护膜及电子零件。本发明的课题目的为提供一种正型感光性树脂组成物，能形成微细的图案且可获得高分辨率，且即使在低温硬化时，机械特性仍良好。该课题的解决方法为一种正型感光性树脂组成物，其特征为含有：(A-1)碱可溶性树脂，至少包含选自于聚酰亚胺结构、聚苯并噁唑结构、聚酰胺酰亚胺结构、它们的前驱体结构中的1种以上的结构；(A-2)树脂，至少包含选自于不具碱可溶性基团而在分子末端具有至少具有1个以上的氮原子的杂环骨架的聚酰亚胺结构、聚苯并噁唑结构、聚酰胺酰亚胺结构、它们的前驱体结构中的1种以上的结构；(B)特定感光剂；及(D)溶剂。

公开(公告)号：CN110790928A

公开(公告)日：2020-02-14

申请号：CN201910708540.8

申请日：2019-08-01

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 竹村胜也 ,  饭尾匡史 ,  浦野宏之 ,  本田和也

IPC: C08G73/10 ,  C08J5/18 ,  G03F7/039 ,  C08L79/08

Abstract: 本发明的目的在于提供一种聚合物，其易溶于广泛使用且安全的有机溶剂，可溶于碱性水溶液，且能够作为可形成精细图案并能够得到高分辨率的正型光敏树脂组合物的基础树脂而使用。所述聚合物具有聚酰胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰亚胺结构单元，其特征在于，所述聚合物选自聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑、聚苯并噁唑前体，所述聚合物包含二胺与下述通式(3)所表示的四羧酸二酐及下述通式(4)所表示的二羧酸或二羧酸卤化物中的任意一种以上的反应生成物，所述二胺含有下述通式(1)所表示的二胺及通式(2)所表示的二胺中的任意一种以上。[化学式1][化学式2][化学式3] [化学式4]。