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公开(公告)号：CN119955091A
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202411571755.7
申请日：2024-11-06
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及聚合物、正型及负型感光性树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、表面保护膜、及电子零件。本发明课题为提供可溶于碱水溶液、可形成微细图案且可获得高分辨率且即使于低温硬化时其机械特性仍良好的可使用作为正型及负型感光性树脂组成物的基础树脂的聚合物。该课题解决手段为一种聚合物，含有通式(1)及/或(2)的结构单元与通式(3)及/或(4)的结构单元。#imgabs0#X1为4价有机基团，R1～R4为1价有机基团或氢原子且至少1者为1价有机基团，L为2价有机基团或2价原子。#imgabs1#X2为2价有机基团，R1～R4及L同前。#imgabs2#X3为4价有机基团，s为0或1，Z为2价键结基团。#imgabs3#X4为2价有机基团，s及Z同前。
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公开(公告)号：CN119439625A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202411047002.6
申请日：2024-08-01
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: [课题]提供一种负型感光性树脂组合物、图案形成方法、固化覆膜形成方法、层间绝缘膜、表面保护膜和电子部件，所述负型感光性树脂组合物可溶于碱水溶液，能够形成微细的图案且能够得到高分辨率，并且，即便在低温下进行固化的情况下，断裂伸长率、拉伸强度之类的机械特性也良好，进而，高温高湿试验前后的密合力不会劣化。[解决手段]一种负型感光性树脂组合物，其特征在于，包含(A)聚合物、(B)光产酸剂、(C)交联剂、(D)溶剂，所述(A)聚合物包含下述通式(1)和/或(2)所示的结构单元，且包含下述通式(3)和/或(4)所示的结构单元。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN111830785B
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202010291525.0
申请日：2020-04-14
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/004 , G03F7/09 , G03F7/11 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/32 , C08G73/10 , C08G73/14
Abstract: 本发明涉及树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、表面保护膜及电子零件。本发明的课题目的为提供一种正型感光性树脂组成物，能形成微细的图案且可获得高分辨率，且即使在低温硬化时，机械特性仍良好。该课题的解决方法为一种正型感光性树脂组成物，其特征为含有：(A‑1)碱可溶性树脂，至少包含选自于聚酰亚胺结构、聚苯并噁唑结构、聚酰胺酰亚胺结构、它们的前驱体结构中的1种以上的结构；(A‑2)树脂，至少包含选自于不具碱可溶性基团而在分子末端具有至少具有1个以上的氮原子的杂环骨架的聚酰亚胺结构、聚苯并噁唑结构、聚酰胺酰亚胺结构、它们的前驱体结构中的1种以上的结构；(B)特定感光剂；及(D)溶剂。
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公开(公告)号：CN115113484A
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202210288306.6
申请日：2022-03-22
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及正型感光性树脂组成物、正型感光性干薄膜及其制造方法、图案形成方法。本发明的课题是为了提供在碱水溶液中为可溶，不会损及保护被膜的机械特性、密接性等优良的特征并能获得高分辨率，且即使在低温硬化时，机械特性、对基板的密接性仍良好的正型感光性树脂组成物、正型感光性干薄膜。该课题的解决手段是一种正型感光性树脂组成物，其特征为含有：(A)含有选自聚酰亚胺结构、聚酰胺结构、聚苯并噁唑结构、聚酰胺酰亚胺结构、它们的前驱物结构中的至少1种以上的结构的碱可溶性树脂，(B)具有环化聚合而成的结构单元的高分子化合物，及(C)因光而产生酸并使其对碱水溶液的溶解速度增加的感光剂，且具有重氮醌结构的化合物。
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公开(公告)号：CN113527101B
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN202011486319.1
申请日：2020-12-16
Applicant: 信越化学工业株式会社 , 国际商业机器公司
Abstract: 本发明的技术问题在于提供一种化合物、使用该化合物得到的聚酰亚胺树脂及其制造方法，所述化合物能够衍生出聚酰亚胺，该聚酰亚胺能够用作不损害机械强度、溶解性等优异的特征，可形成微细的图案且能够获得高分辨率的光敏性树脂组合物的基础树脂。所述化合物的特征在于，由下述通式(1)表示。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN115113482A
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202210286300.5
申请日：2022-03-22
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及负型感光性树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、及表面保护膜。本发明的课题是为了提供在碱水溶液中为可溶，可形成微细的图案并能获得高分辨率，且即使在低温硬化时，断裂延伸率、拉伸强度等机械特性仍良好的负型感光性树脂组成物。该课题的解决手段是一种负型感光性树脂组成物，其特征为含有：(A)含有选自聚酰亚胺结构、聚酰胺结构、聚苯并噁唑结构、聚酰胺酰亚胺结构、它们的前驱物结构中的至少1种以上的结构的碱可溶性树脂，(B)具有环化聚合而成的结构单元的高分子化合物，(C)因光而产生酸的化合物，及(D)热交联剂。
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公开(公告)号：CN110790928B
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN201910708540.8
申请日：2019-08-01
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种聚合物，其易溶于广泛使用且安全的有机溶剂，可溶于碱性水溶液，且能够作为可形成精细图案并能够得到高分辨率的正型光敏树脂组合物的基础树脂而使用。所述聚合物具有聚酰胺、聚酰胺酰亚胺或聚酰亚胺结构单元，其特征在于，所述聚合物选自聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑、聚苯并噁唑前体，所述聚合物包含二胺与下述通式(3)所表示的四羧酸二酐及下述通式(4)所表示的二羧酸或二羧酸卤化物中的任意一种以上的反应生成物，所述二胺含有下述通式(1)所表示的二胺及通式(2)所表示的二胺中的任意一种以上。[化学式1][化学式2][化学式3][化学式4]。
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公开(公告)号：CN113527680A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202011486388.2
申请日：2020-12-16
Applicant: 信越化学工业株式会社 , 国际商业机器公司
Abstract: 本发明的技术问题在于提供一种聚合物，该聚合物能够用作可溶于碱性水溶液、可形成微细图案、可获得高分辨率，并且即使在低温下进行固化时机械特性仍良好的正型光敏性树脂组合物及负型光敏性树脂组合物的基础树脂。此外，还提供使用了所述聚合物的正型光敏性树脂组合物及负型光敏性树脂组合物。所述聚合物的特征在于，含有下述通式(1)和/或(2)表示的结构单元。式中，T1、T2任选彼此相同或不同，表示‑CO‑、‑SO2‑中的任意一种，X1为4价有机基团，l为0或1。式中，T1、T2、l与所述T1、T2、l相同，X2为2价有机基团。
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公开(公告)号：CN105315467A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510454091.0
申请日：2015-07-29
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 提供了带有有机硅结构的聚合物，其包含衍生自双(4-羟基-3-烯丙基苯基)衍生物的重复单元并具有3,000-500,000的Mw。包含所述聚合物的化学增幅型负型抗蚀剂组合物克服了将涂层从Cu或Al的金属配线、电极和SiN基材剥离的剥离问题。
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公开(公告)号：CN113527680B
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202011486388.2
申请日：2020-12-16
Applicant: 信越化学工业株式会社 , 国际商业机器公司
Abstract: 本发明的技术问题在于提供一种聚合物，该聚合物能够用作可溶于碱性水溶液、可形成微细图案、可获得高分辨率，并且即使在低温下进行固化时机械特性仍良好的正型光敏性树脂组合物及负型光敏性树脂组合物的基础树脂。此外，还提供使用了所述聚合物的正型光敏性树脂组合物及负型光敏性树脂组合物。所述聚合物的特征在于，含有下述通式(1)和/或(2)表示的结构单元。式中，T1、T2任选彼此相同或不同，表示‑CO‑、‑SO2‑中的任意一种，X1为4价有机基团，l为0或1。式中，T1、T2、l与所述T1、T2、l相同，X2为2价有机基团。
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