公开(公告)号：CN220393887U

公开(公告)日：2024-01-26

申请号：CN202321650841.8

申请日：2023-06-27

Applicant: 厦门大学

Inventor： 罗晴

IPC: C23C14/35

Abstract: 本实用新型提供一种磁控溅射靶材结构，包括：靶材基材；滑杆，所述滑杆分别固定安装于所述靶材基材的顶部的两侧，所述滑杆的外侧面的底部固定安装有固定板；限位板，所述限位板固定安装于所述滑杆的顶部，所述限位板的底部设置有弹簧，所述弹簧套设于所述滑杆的外侧面；压板，所述压板设置于所述弹簧的底部，所述压板滑动连接于所述滑杆的外侧面。优选的，所述压板的底部设置有遮挡板，所述遮挡板卡接于所述滑杆的外侧面。所述压板的顶部固定安装有连接框。本实用新型提供的一种磁控溅射靶材结构，通过滑杆、限位板、弹簧、固定板、压板、连接框、提板等结构相互进行配合，在进行使用的时候，方便使用者对遮挡板进行调节，增加了工作效率。

公开(公告)号：CN217104053U

公开(公告)日：2022-08-02

申请号：CN202123055674.6

申请日：2021-12-07

Applicant: 厦门大学

Inventor： 罗晴

IPC: C23C14/35

Abstract: 本实用新型提供一种磁控溅射专用的屏蔽罩结构，包括：罩体；第一螺纹环，所述第一螺纹环固定连接于所述罩体的外表面；第二螺纹环，所述第二螺纹环螺纹连接于第一螺纹环的外表面的顶部；遮挡板，遮挡板固定连接于第二螺纹环的内表面的顶部。本实用新型提供的磁控溅射专用的屏蔽罩结构，通过在罩体外部设置第一螺纹环，第二螺纹环沿着第一螺纹环向上，同时通过第一环形槽内部的连接件，便可与连接杆连接在一起，第二螺纹环、遮挡板和第一螺纹环之间配合，可将连接杆下方的第一连接槽遮挡起来，从而对溅射出来的带电粒子进行遮挡，避免其之间溅射出来同时连接件对托盘等进行支撑，随着第二螺纹环的转动进行位置调整，位置调整方便。

公开(公告)号：CN212819773U

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN202021083204.3

申请日：2020-06-12

Applicant: 厦门大学

Inventor： 罗晴

IPC: B01J4/02 ,  B01J4/00 ,  B01J37/34

Abstract: 本实用新型公开了一种磁控溅射方法制备Pd基催化剂用原料滴定设备，包括底板、控制管、软管、储料瓶和活动盖，所述储料瓶的下端面外侧环形阵列固定有支撑柱，且支撑柱共设有四个，所述储料瓶通过支撑柱固定在底板的上端面一侧中间处，所述储料瓶的下端面中间处连通安装有直角管，所述直角管的上侧中间处活动安装有活动阀，所述活动盖的外侧环形阵列固定有固定扣，所述活动盖通过固定扣活动安装在储料瓶的上端，所述储料瓶的一侧等距刻有刻度，所述控制管的下端中间处固定有支撑块，所述控制管的上端中间处固定有磁阀，所述控制管的两端分别连通安装有螺纹管和连接管。本实用新型有利于对Pd基催化剂制备进行磁控溅射的优点。

公开(公告)号：CN212819752U

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN202021081901.5

申请日：2020-06-12

Applicant: 厦门大学

Inventor： 罗晴

IPC: B01J3/03 ,  C23C14/35

Abstract: 本实用新型公开了一种磁控溅射方法制备Pd基催化剂用高真空设备用密封结构，包括底座、外壳、第一支撑板和第二支撑板，所述底座的顶端面焊接有第一支撑板和第二支撑板，且第一支撑板和第二支撑板背离底座的一端焊接有顶板,所述外壳通过第二转轴转动安装在第二支撑板上，所述外壳内转动安装有第一转轴，且第一转轴上嵌入固定有搅拌杆，所述外壳的顶端面嵌入固定有进料管，且进料管上转动安装有第二盖板，第二盖板通过第二卡箍限位固定在进料管上，所述外壳的底端面嵌入固定有出料管，出料管上转动安装有第一盖板，且第一盖板通过第一卡箍限位固定在出料管上。本实用新型具备操作便捷，密闭性更佳和实用性更佳的优点。