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公开(公告)号：CN104487925A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201380039055.7
申请日：2013-07-26
Applicant: 夏普株式会社
Inventor： 美崎克纪
CPC classification number: G06F3/044 , B29C59/00 , G06F1/16 , G06F2203/04103 , G06F2203/04107 , G06F2203/04111 , H05K1/0306 , H05K3/064 , H05K2201/0326 , H05K2201/10128
Abstract: 本发明提供削减了工序数量的触摸面板的制造方法。触摸面板(1)的制造方法包括：对第一透明导电膜进行图案化而形成包括传感电极(14、15)的一部分的层的工序；对与上述第一透明导电膜相比电阻低的高导电膜进行图案化而形成包括配线(171)的层的工序；对遮光膜进行图案化而形成包括遮光部(11)的层的工序；和在形成包括上述遮光部(11)的层后，对绝缘膜进行图案化而形成包括层间绝缘膜(121)和平坦化膜(122)的层的工序。对上述遮光膜进行图案化的工序和对上述绝缘膜进行图案化的工序，在对上述第一透明导电膜进行图案化的工序与对上述高导电膜进行图案化的工序之间进行。
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公开(公告)号：CN104380229A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201380033454.2
申请日：2013-06-28
Applicant: 夏普株式会社
Inventor： 美崎克纪
CPC classification number: G06F3/044 , G02F1/13338 , G06F3/0412 , G06F2203/04107 , G06F2203/04111
Abstract: 得到防止配线的腐蚀，提高可靠性的触摸面板的结构。触摸面板包括：基板(10)；形成于上述基板(10)上，由氧化物导电膜构成的传感电极；与上述传感电极电连接的配线(161)；和覆盖上述配线(161)而形成的保护膜(14)。上述保护膜(14)包括：由氮化硅构成的第一保护膜(141)；形成于上述第一保护膜(141)上，与上述第一保护膜(141)相比折射率小的由氮化硅构成的第二保护膜(142)；和形成于上述第二保护膜(142)上，与上述第二保护膜(142)相比折射率大的由氮化硅构成的第三保护膜(143)，上述第二保护膜(142)的厚度为上述第一保护膜(141)和上述第三保护膜(143)的厚度的总和以上。
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公开(公告)号：CN104011632A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201280063649.7
申请日：2012-12-17
Applicant: 夏普株式会社
Inventor： 美崎克纪
Abstract: 本发明能够得到灵敏度高的触摸面板的结构。触摸面板(1)具备：绝缘性的基板(10)；沿第一方向形成的第一遮光部；沿与上述第一方向交叉的第二方向形成的第二遮光部；沿上述第一方向配置的多个第一岛状电极(110)；沿上述第二方向配置的多个第二岛状电极(120)；与上述多个第一岛状电极(110)接触，沿上述第一方向形成的第一金属膜(141)；与上述多个第二岛状电极(120)接触，沿上述第二方向形成的第二金属膜(152)；和至少在上述第一金属膜(151)和上述第二金属膜(152)在俯视时交叉的部位形成，将上述第一金属膜(151)和上述第二金属膜(152)相互绝缘的绝缘膜(152)。
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公开(公告)号：CN103392198A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201280010385.9
申请日：2012-02-21
Applicant: 夏普株式会社
Inventor： 美崎克纪
IPC: G09F9/30 , G02F1/1333 , G02F1/1343 , G02F1/1345 , G06F3/044 , H01L21/768 , H01L23/522 , B32B9/00
CPC classification number: H01B1/16 , G02F1/13338 , G02F1/13439 , G06F3/044
Abstract: 驱动基板具备：绝缘性基板（10）；设置在该基板（10）上的含有ITO或IZO的内部连接端子（12b）；和一个端部与该连接端子（12b）重叠并连接，并且另一个端一侧被引出到绝缘性基板（10）的外边缘侧的引出配线（14），在该驱动基板中，引出配线（14）的与内部连接端子接触的接触部由含有氮化钛（TiN）的阻挡金属层（15A）构成，其氮浓度为35atoms/cm2以上且65atoms/cm2以下。
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公开(公告)号：CN103053027A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201180037969.0
申请日：2011-05-26
Applicant: 夏普株式会社
Inventor： 美崎克纪
IPC: H01L29/786 , G02F1/1368 , H01L21/306 , H01L21/308 , H01L21/336 , H01L21/768 , H01L23/522
CPC classification number: H01L33/0041 , G02F1/136 , G02F1/136227 , H01L21/32134 , H01L21/76805 , H01L27/1225 , H01L27/124 , H01L29/41733 , H01L29/458
Abstract: 本发明的目的在于，在薄膜晶体管基板中获得漏极电极与像素电极间的良好的接触。漏极电极(25d)具有由第一导电膜(25dp)和设置在第一导电膜(25dp)的上层且包含铝的第二导电膜(25dq)层叠而成的结构，第二导电膜(25dq)与第一接触孔(27a)分离，由此在两者之间形成与第一接触孔(27a)连通的空隙部(28a)，像素电极(29)被设置成与漏极电极(25d)中的第二导电膜(25dq)不接触。
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公开(公告)号：CN111863836B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202010355875.9
申请日：2020-04-29
Applicant: 夏普株式会社
Inventor： 美崎克纪
IPC: H01L27/12 , H01L21/77 , H10K59/12 , G02F1/1368
Abstract: 一种有源矩阵基板及其制造方法，有源矩阵基板在基板上具备薄膜晶体管。薄膜晶体管在基板上具备：栅极电极；第1无机绝缘膜，其覆盖栅极电极；第2无机绝缘膜，其设置在第1无机绝缘膜上，在俯视时与栅极电极重叠的区域具有开口；源极电极和漏极电极，其与栅极电极在俯视时重叠，配置在上述第2无机绝缘膜上；以及半导体膜，其在第1无机绝缘膜的开口中与栅极电极在俯视时重叠，覆盖源极电极和漏极电极。在第1无机绝缘膜中，关于俯视时与第1无机绝缘膜的开口重叠的第1区域和除了该第1区域以外的第2区域各自的面，第1区域的相对于第1无机绝缘膜设置有上述第2无机绝缘膜的一侧的面的位置比第2区域的该一侧的面的位置低。
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公开(公告)号：CN110462843B
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN201880022608.0
申请日：2018-03-29
Applicant: 夏普株式会社
Inventor： 美崎克纪
Abstract: TFT基板(106)具有电介质基板(1)和在电介质基板上排列的多个天线单位区域(U)。多个天线单位区域各自具有：TFT(10)；贴片电极(15)，其电连接到TFT的漏极电极(7D)；辅助电容电极(7C)，其与漏极电极电连接；第1辅助电容相对电极(3C)，其隔着电介质层(4)与辅助电容电极相对；以及第2辅助电容相对电极(15C)，其位于辅助电容电极的与第1辅助电容相对电极相反的一侧，隔着其它电介质层(11)与辅助电容电极相对。
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公开(公告)号：CN111211178B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN201911116965.6
申请日：2019-11-15
Applicant: 夏普株式会社
Inventor： 美崎克纪
IPC: H01L31/0216 , H01L31/115 , H01L31/18 , H01L27/146
Abstract: 有源矩阵基板(1)在基板(101)上具备第一电极(14a)、光电转换元件(15)、以及第二电极(14b)。第一电极(14a)、光电转换元件(15)、以及第二电极(14b)被在第二电极上具有第一开口(105a)的第一无机绝缘膜(105)覆盖。在第一无机绝缘膜(105)上设置有具有第二开口(106a)的第一有机绝缘膜(106)，第二开口(106a)的内侧的第一有机绝缘膜(106a)的表面被具有俯视观察时与第一开口(105a)重叠的第三开口(117a)的第二无机绝缘膜(117)覆盖。在第二无机绝缘膜(117)上设置有在第一开口(105a)中与第二电极(14b)接触的导电膜(17)。
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公开(公告)号：CN110462842B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN201880022591.9
申请日：2018-03-30
Applicant: 夏普株式会社
Inventor： 美崎克纪
IPC: H01L29/786 , H01Q3/44 , H01Q13/22
Abstract: TFT基板(105A)具有电介质基板(1)和在电介质基板上排列的多个天线单位区域(U)。多个天线单位区域各自具有TFT(10)和电连接到TFT的漏极电极(7D)的贴片电极(7PE)。TFT基板具有：源极金属层(7)，其包含TFT的源极电极(7S)、漏极电极、连接到源极电极的源极总线(SL)、以及贴片电极；栅极金属层(3)，其形成在源极金属层上，包含TFT的栅极电极(3G)和连接到栅极电极的栅极总线(GL)；栅极绝缘层(4)，其形成在源极金属层与栅极金属层；以及导电层(19)，其形成在栅极金属层上，在栅极金属层与导电层之间不具有绝缘层。
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公开(公告)号：CN109616769B
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN201811125824.6
申请日：2018-09-26
Applicant: 夏普株式会社
Inventor： 美崎克纪
Abstract: 本发明使扫描天线的成本降低、及提供能够使扫描天线的成本降低的TFT基板。TFT基板(101)分别具有多个天线单元区域(U)，该多个天线单元区域(U)具有TFT(10)、及与TFT的漏极电极(7D)电连接的贴片电极(15)。TFT基板具有：包含TFT的源极电极(7S)的源极金属层(7)；形成于源极金属层上、且包含TFT的栅极电极(3G)的栅极金属层(3)；TFT的半导体层(5)；以及形成在半导体层与栅极金属层之间的栅极绝缘层(4)，源极金属层还包含贴片电极。TFT基板还具有配置在非发送接收区域(R2)的源极端子部(ST)，栅极金属层还包含源极端子部的源极端子用上部连接部(3sA)。
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